“MIX观察” 清晰观察到晶圆片上的污染物和光阻残留物
利用明场、简易偏振光、荧光照明以及暗场照明组合获得前所未有的图像
晶圆片上的电路图案
常规荧光观察方法可检测到污染物以及光阻残留物，但无法确定污染物和光阻残留物的位置
这一问题可通过被称为MIX观察的先进观察方法解决，并由此实现更加细致入微的缺陷分析
| 样品
半导体晶圆片
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“消除光晕” 可获得高反光电子部件的最佳曝光效果
即便易于发生反光的样品也可被清晰捕捉，并以接近人眼观察的方式呈现
| 样品
印刷电路板
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"大尺寸载物台" 可支持6英寸晶圆片和大尺寸印刷电路板的检测
150x100mm载物台行程可灵活应对大尺寸样品
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