Velké mostové stojany – vysoká stabilita pro měření nadměrně velkých vzorků

Stabilita je pro kontrolu s vysokým rozlišením u komponent, jako jsou křemíkové wafery, elektronika a velké automobilové díly, klíčovým faktorem. Přizpůsobitelný velký mostový stojan je konstruován tak, aby zajišoval preciznost a přesnost měření prováděných pomocí mikroskopu OLS5100. Vyznačuje se následujícími vlastnostmi:

• Použití žuly tlumící vibrace poskytuje výjimečnou stabilitu
• Motorizované stolky o rozměru až 400 × 400 mm umožňují provádění kontrol velkých vzorků o hmotnosti až 20 kg
• Manuální posun v ose Z o velikosti 150 mm zvyšuje množství velkých a vysokých objektů, jejichž kontrolu je možné provádět

Stáhnout brožuru

Přizpůsobitelné pracovní stanice s vysokou stabilitou – maximalizace preciznosti měření

Dosažení optimální preciznosti měření v nanometrovém měřítku při kontrole vzorků, jako jsou elektronické komponenty, vyžaduje vybavení, které je schopno minimalizovat vliv vnějších vibrací.

Naše pracovní stanice s vysokou stabilitou umožňují provádět precizní kontroly v nanometrovém měřítku. Pracovní stanice zahrnují:

• Stabilní stojany mikroskopu
• Aktivní antivibrační jednotky – integrované nebo stolní
• Boxy s řízeným prostředím
• Samostatné stojany pro osobní počítače a monitory eliminující přenos vibrací z počítače do mikroskopu.

Tyto komponenty pracovních stanic lze využít k vytvoření na klíč dodaného řešení nebo je lze zakoupit jednotlivě podle vašich požadavků.

Stáhnout brožuru

Stabilní vrchní kamenný podstavec – optimalizované pracovní prostředí

Dosažení vhodných podmínek prostředí pro optimální preciznost při provádění kontrol v nanometrovém měřítku u elektronických komponent a jiných předmětů může být obtížně řešitelným úkolem.

Vrchní kamenný podstavec pomáhá zajistit, že operátor je schopen získávat spolehlivá měření s vysokým rozlišením.

• Je navržen pro mikroskop OLS51000 CUS TM a zajišuje vysokou stabilitu mikroskopu při kontrolách objemných a těžkých objektů
• Vyrovnávací nohy umožňují snadno nastavit výšku v rozmezí 0–50 mm v případě nerovných ploch
• Rám z nerezavějící oceli a vrchní deska odolná proti poškrábání chrání podstavec před poškozením

Aktivní antivibrační jednotky mohou být bezproblémově integrovány do stojanu mikroskopu – což představuje vysoce kompaktní řešení – nebo je možné použít antivibrační stolní jednotku, podle vašich potřeb provádění kontrol.

Aktivní antivibrační stolní jednotka – eliminuje malé vibrace, čímž napomáhá vyšší preciznosti

Při použitích, která vyžadují rozlišení v nanometrovém měřítku, jako je například kontrola waferů, mohou přesnost měření ovlivnit i lehké kročeje či minimální hluk.

Aktivní antivibrační stolní jednotka je navržena tak, aby eliminovala vnější vibrace, a zároveň se vyznačuje několika vlastnostmi, které zvyšují stabilitu a preciznost měření:

• Aktivní šířka pásma 0,6−200 Hz
• Izolační výkonnost o hodnotě minimálně 25 dB při 5 Hz nebo 40 dB při > 10 Hz zajišuje vynikající stabilitu
• Nosnost až do 150 kg zajišující stabilitu mikroskopu při kontrolách těžkých objektů, například automobilových dílů

Box s řízeným prostředím – výkonný nástroj pro kontroly prováděné v čistých prostorách

Ochranný kryt mikroskopu zajišuje vhodné pracovní prostředí, které zlepšuje přesnost měření a omezuje hluk vznikající skenováním při použití standardních systémů LEXT. Abychom pomohli uživatelům udržet efektivní pracovní postup kontroly za použití ochranného krytu, je box s řízeným prostředím vybaven několika inovativními charakteristikami konstrukčního provedení:

• Velká přední a boční dvířka umožňují snadný přístup k LEXT EAF, což umožňuje rychlý ruční posun v ose Z nebo nastavení výšky bloku a účinné umístění vzorku
• Elegantní zeštíhlená konstrukce je opatřena průhlednými okny, která umožňují monitorování pracovního postupu
• Box s řízeným prostředím chrání systém LEXT před prachem, což je při provádění kontrol v čistých prostorách užitečné
• Box lze přišroubovat přímo k vyhrazenému stolu – tím se zvýší stabilita mikroskopu a přesnost měření
• Kompatibilní se všemi standardními modely LEXT
• Podobné řešení je k dispozici také pro větší systém LEXT OLS5100 CUS TM

Mikroporézní podtlakové upínače – optimální upevnění choulostivých vzorků

Přesná kontrola tenkých a pružných objektů, například tenkých vrstev pro RFID, fotovoltaických panelů a křemíkových substrátových disků, vyžaduje úchyty, které zajišují rovnoměrnou upínací sílu a způsobují jen minimální deformaci vzorků.

Mikroporézní podtlakový upínač zachovává během kontroly rovinnost a neporušenost choulostivých vzorků. Toho je dosaženo pomocí rovnoměrného sání zajišovaného mikropóry namísto sacími otvory nebo drážkami.

• Mikroporézní podtlakový upínač minimalizuje pohyb vzorku, a zvyšuje tak opakovatelnost měření
• Je navržen speciálně pro kontrolu křemíkových waferů
• Umožňuje účinnou kontrolu tenkostěnných substrátů, například papírů, fólií, waferů a desek plošných spojů

Stáhnout brožuru

Otočný podtlakový držák waferů – stabilní a bezpečné upevnění disku

Aby byla zajištěna účinná kontrola waferů, musí držáky vzorků poskytovat snadnou navigaci po vzorku a stabilní upevnění vzorku.

Podtlakový držák waferů je vybaven několika vlastnostmi, které pracovní postup kontroly substrátových disků zefektivňují:

• Rovnoměrně rozložená podtlaková síla zajišuje maximální stabilitu waferu a optimální přesnost měření
• Díky možnosti otáčení waferu je navigace po vzorku snadnější a rychlejší
• Stupňovité provedení s 30 mm širokými drážkami pro pohodlné umístění vzorků
• Držák lze upevnit přímo na stolek o rozměru 300 mm nebo pomocí adaptérové destičky na stolek o rozměru 200 mm
• Navržen pro kontroly 4palcových, 6palcových, 8palcových a 12palcových waferů

Otočný držák waferů – zefektivnění kontroly disků

Otočný držák waferů poskytuje přímočarou a hospodárnou alternativu pro upevnění vzorků tam, kde není vyžadováno podtlakové sání.

• Otáčení waferů zlepšuje navigaci po vzorku a urychluje kontrolu
• Stupňovité provedení s 30 mm širokými drážkami zjednodušuje umístění vzorků
• Do držáku lze umístit 4palcové, 6palcové, a 8palcové wafery
• Pro mikroskopy DSX nabízíme také vyhrazené držáky na 8palcové wafery

Upínače se závitovými otvory – snadná kontrola s přizpůsobenými upínači

Často jsou požadovány přizpůsobené upínače, do kterých lze během kontroly upevnit trubky, kostky a jiné nepravidelné objekty.

K upevnění široké škály vzorků lze využít vložku se závitovými otvory o rozměru 150 mm × 110 mm × 5,5 mm, opatřenou 68 rovnoměrně rozloženými závitovými otvory M3.