Podavač waferů AL120 zajišťuje rychlý a bezpečný přesun křemíkových i sloučeninových waferů z kazety na stolek mikroskopu. Tento podavač waferů je navržený tak, aby zvyšoval výrobní kapacitu, a ve spojení s naším mikroskopem na kontrolu polovodičů MX63 tvoří spolehlivé řešení pro kontrolu waferů.
Schopnost přizpůsobit se různým velikostem destiček je klíčová pro rozšiřování zařízení na výrobu waferů.Řada AL120 sestává ze tří modelů založených na průměru waferů: model 200 mm, konvertibilní model 150 mm / 200 mm a model 150 mm, určený pro wafery o rozměru 150 mm nebo méně. Každý systém je navržen tak, aby vykonával přesun waferu a kontrolu waferu mikroskopem. Pro všechny velikosti waferů je k dispozici také funkce kontroly horní a spodní strany v makroskopickém měřítku.
Rozměr a tloušťka waferu
Aby systém naplňoval potřeby výrobců tenkých waferů, je provedení ramena modelu AL120-LMB-90 schopno manipulovat s kazetou naplněnou 90 µm wafery.
Kontrola v makroskopickém měřítku s funkcí otočení v úhlu 360 stupňů (simulace) |
|
Součástí návrhu systému AL120 jsou pokročilé funkce, které maximalizují bezpečnost waferu. Poloha waferu je soustavně monitorována systémem 3 senzorů, aby bylo zajištěno bezpečné a správné vyjmutí, přesun, vložení a vyložení waferu. Tyto funkce brání poškození způsobenému vložením více waferů do jedné drážky a vyzvednutí z nechtěné drážky.
Podavač waferů AL120 pracuje v propojení s našimi speciálními mikroskopy pro kontrolu waferů řady MX™, které poskytují výjimečné rozlišení obrazu a zřetelnost v celé škále pozorovacích metod, včetně světlého pole, tmavého pole, diferenciálního interferenčního kontrastu (DIC) a pozorování v blízké infračervené oblasti (NIR). Motorizovaný karusel objektivů je vzájemně propojen s aperturní clonou, díky čemuž lze pro každý objektiv nastavit optimální osvětlení a kontrast. Na základě zvláštní objednávky lze manipulátor waferů uzpůsobit i pro jiné modely mikroskopů.
* V některých oblastech není motorizovaný stolek dostupný.
Technické parametry podavače waferů AL120*1 | ||||||||
Typ 200 mm | Konvertibilní typ 200 mm / 150 mm | Typ 150 mm | ||||||
AL120-
LMB8- 90 |
AL120-
LMB86- 180 |
AL120-
LMB8 |
AL120-
LMB6- 150 |
AL120-
L6- 150 | ||||
Rozměr waferu (norma SEMI) | 200 mm | 200 mm / 150 mm |
150 mm /
125 mm / 100 mm | |||||
Minimální tloušťka waferu | 90 µm | 180 µm | 400 µm | 150 µm | ||||
Typ kazety | norma SEMI 25 (26) drážek | |||||||
Počet kazet | 1 | |||||||
Návod kontroly | Vše / Vzorkování | |||||||
Sekvence kontroly | Mikro (mikroskop) | ANO | ANO | ANO | ANO | ANO | ||
Makro horní strany | ANO | ANO | ANO | ANO | ||||
Makro zadní strany | ANO | ANO | ANO | ANO | ||||
2. Makro zadní strany | ANO | ANO | ANO | ANO | ||||
Orientace waferu (každých 90°) | Bezkontaktní (O.F./zářez) | Bezkontaktní (O.F.) | ||||||
Kompatibilní model mikroskopu | Mikroskop MX63 pro kontrolu polovodičů a plochých displejů | |||||||
Rozměry (mm) | 640 (Š) x 620 (H) x 378 (V) pouze tělo, 1100 (Š) x 620 (H) x 378 (V) s mikroskopem | 570 (Š) x 620 (H) x 401 (V) pouze tělo, 983 (Š) x 620 (H) x 401 (V) s mikroskopem | ||||||
Hmotnost (kg) (pouze hlavní tělo) | 44 | 44 | 44 | 40 | 37 | |||
Přívodní sítě (spotřeba energie/podtlak) | AC100 V – 120 V, 1 A, nebo AC 220 V – 240 V, 0,5 A 50/60 Hz, -67 až -80 kPa, 20 litrů/min nebo vyšší |
*1 Všechny typy waferů musí být vyzkoušeny předem, obraťte se, prosíme, na místní pobočku spol. Evident.
您即将被转换到我们的本地网站。