Nástroje pro pozorování a analýzu

• Špičkové analytické nástroje
• Pokročilý design vyhovující práci v čistých prostorech

Špičkové analytické nástroje

Díky univerzálním možnostem pozorování mikroskopů řady MX63 dosáhnete zřetelných a ostrých snímků, ze kterých mohou uživatelé spolehlivě vypozorovat vady ve vzorcích. Nové techniky osvětlení a možnosti pořizování snímků v softwaru PRECiV pro obrazovou analýzu poskytují uživatelům více možností pro vyhodnocování vzorků a dokumentování zjištěných nálezů.

Neviditelné se stává viditelným: pozorování a záznam MIX

Technika pozorování MIX přináší unikátní možnost pozorování kombinací tmavého pole s další metodou pozorování, jako je světlé pole, fluorescenční pozorování nebo pozorování v polarizovaném světle. Pozorování technikou MIX umožňuje uživatelům vidět vady, které by byly klasickými mikroskopy jen těžko pozorovatelné. Kruhový osvětlovač s LED diodou používaný pro pozorování ve tmavém poli nabízí funkci směrového tmavého pole, se kterou je v daný okamžik osvětlen pouze jeden kvadrant. To omezuje halaci vzorku a usnadňuje vizualizaci povrchové textury vzorku.

Struktura polovodičového wafru

Usazenina fotorezistu na polovodičovém wafru

Kondenzor

Snadné vytváření panoramatických snímků: okamžitá funkce MIA

Díky funkci MIA (Multiple Image Alignment) mohou uživatelé snadno a rychle spojit snímky dohromady jednoduše pomocí otočných voličů XY na ručním stolku – není zapotřebí motorizovaný stolek. Software PRECiV využívá funkci rozeznání vzorů k vytvoření panoramatických snímků a nabízí tak uživatelům širší zorné pole.

Obraz mince s použitím okamžité funkce MIA

Vytváření snímků se zaostřením na každý jeho bod: EFI

Funkce EFI (Extended Focus Imaging) softwaru PRECiV zachycuje snímky vzorků, jejichž výška přesahuje hloubku ostrosti objektivu, a automaticky je poskládá dohromady tak, aby vznikl jeden snímek, který je celý zaostřený. Funkce EFI, kterou lze používat jak s ruční, tak i s motorizovanou osou Z, vytváří výškovou mapu pro snadnou vizualizaci struktury. Podle potřeby můžete také vytvořit obraz EFI v režimu offline pomocí nástroje PRECiV Desktop.

Knoflíková nerovnost na integrovaném obvodu

Zachycení světlého i tmavého pole za použití HDR

Za použití pokročilého zpracování obrazu dokáže funkce osvětlení s širokým dynamickým rozsahem (HDR) přizpůsobit rozdíly v jasu obrazu a omezit tak vznik světelné reflexe. HDR přináší zlepšení vizuální kvality digitálních snímků, které umožňuje vytvářet profesionální zprávy.

Od základního měření po pokročilou analýzu

Měření je základem pro řízení kvality a procesů i pro provádění kontroly. S ohledem na tuto skutečnost nabízí i základní balíček softwaru PRECiV kompletní nabídku funkcí pro interaktivní měření, při kterém se veškeré výsledky měření ukládají společně s obrazovými soubory pro potřeby další dokumentace. Navíc řešení PRECiV Materials Solution nabízí intuitivní rozhraní orientované na pracovní postupy pro komplexní analýzu snímků. Analýzu obrazu lze rychle a přesně spustit jediným kliknutím na tlačítko. Díky výrazné úspoře času při provádění opakujících se úkonů se může obsluha soustředit na právě prováděnou inspekci.

> Získejte o softwaru PRECiV další informace

Efektivní tvorba protokolů

Vytvoření protokolu může častokrát trvat déle než samotné pořízení snímku a provedení měření. Software PRECiV nabízí možnost intuitivního vytváření protokolů, díky níž lze opakovaně generovat chytré a propracované protokoly na základě předem definovaných šablon. Provádění úprav je snadné a protokoly lze exportovat do formátů programů Microsoft Word nebo PowerPoint. Kromě toho funkce tvorby protokolů PRECiV umožňuje digitálně měnit měřítko a zvětšovat obrazy. Soubory protokolů mají rozumnou velikost, aby bylo možné data snadno sdílet prostřednictvím e-mailu.

> Získejte o softwaru PRECiV další informace

Pokročilý design vyhovující práci v čistých prostorech

Řada MX63 je navržena pro práci v čistých prostorech a nabízí funkce, se kterými omezíte riziko kontaminování nebo poškození vzorků. Systém se pyšní ergonomickým designem, se kterým je práce pro uživatele pohodlná i po delší době. Řada MX63 splňuje mezinárodní požadavky a normy, včetně standardu SEMI S2/S8, CE a UL.

Volitelná integrace nakladače wafrů – Systém AL120*

Volitelný nakladač wafrů je možné připevnit k výrobkům řady MX63 a bezpečně s jejich pomocí přenášet silikonové i kompozitní polovodičové wafry z pouzdra na pracovní stolek mikroskopu bez nutnosti používat pinzetu či hůlky. Díky proslulé efektivitě a spolehlivosti produktů můžete bezpečně a účinně provádět inspekci předních i zadních makro snímků a nakladač vám pomůže zlepšit produktivitu v laboratoři.

MX63 v kombinaci s nakladačem wafrů AL120 (200mm verze)

*AL120 není v EMEA k dispozici.

Rychlé a čisté inspekce

Mikroskopy řady MX63 umožňují kontrolu wafrů bez obav ze znečištění. Všechny motorizované součásti jsou umístěny ve stíněném pouzdře a rám mikroskopu, tubusy, kryt na ochranu před výdechem i ostatní části jsou ošetřeny antistatickým filmem. Otáčení motorizovaných otočných držáků objektivů je rychlejší a bezpečnější než v případě ručně ovládaných otočných držáků, což umožňuje snížit prodlevu mezi kontrolami; obsluha má přitom ruce pod úrovní wafru, což snižuje riziko znečištění.

Návrh systému umožňující efektivní pozorování

Pracovní stolek XY nabízí možnost hrubého i jemného posunu, a to díky kombinaci integrované spojky a otočných voličů XY. Pracovní stolek pomáhá zefektivnit pozorování i rozměrnějších vzorků, jako například wafrů o velikosti 300 mm.
Široký rozsah náklonu pozorovacího tubusu umožňuje obsluze zaujmout u mikroskopu pohodlnou polohu.

Kompatibilita s wafry všech velikostí

Intuitivní ovládání mikroskopu: pohodlí a snadné používání

Nastavení mikroskopu je jednoduché a uživatelé tak mohou snadněji provádět nastavení a reprodukovat nastavení systému.

Rychlé zaostření s asistentem zaostření

Vsunutím asistenta zaostření do optické dráhy můžete snadno a přesně zaostřit na nízkokontrastní vzorky, jako jsou například holé wafry.

Levý obrázek: Mřížka indikuje, že je obraz rozostřený. / Obrázky uprostřed: Mřížka pomáhá se zaostřením. / Pravý obrázek: Snadné vytvoření snímku se zaostřením na všechny body.

Snadné obnovení nastavení mikroskopu: kódovaný hardware

Kódované funkce integrují hardwarová nastavení řady MX63 se softwarem pro obrazovou analýzu PRECiV. Metoda pozorování, intenzita osvětlení a zvětšení jsou automaticky zaznamenány softwarem a ukládány spolu s příslušnými obrazy. Jelikož lze nastavení snadno reprodukovat, může každý pracovník obsluhy provádět stejné kontroly kvality i při minimálním zaškolení.

Ergonomické ovládací prvky pro rychlejší a pohodlnější práci

Ovládací prvky pro změnu objektivu a úpravu zarážky apertury jsou k dispozici ve spodní části vpředu na mikroskopu, takže uživatelé nemusí svoji ruku vzdalovat od ovládacích prvků pro zaostření ani odvracet hlavu od okuláru.

Rychlejší průběh pozorování díky správci intenzity světla a automatické kontrole apertury

U tradičních mikroskopů musí uživatelé upravovat intenzitu světla a aperturu před každým pozorováním. Řada MX63 umožňuje uživatelům nastavit intenzitu světla a podmínky apertury pro jednotlivá přiblížení a metody pozorování. Toto nastavení je možné snadno znovu použít a uživatelé tak nemusí věnovat tolik času přípravou optimální kvality snímku.

Správce intenzity světla

Automatické řízení apertury

Plně přizpůsobitelný

Řada MX63 je navržena tak, aby zákazníkovi umožnila vybrat si různé optické komponenty, vyhovující potřebám konkrétních kontrol a oblastí použití. Systém dokáže využívat všechny metody pozorování. Uživatelé si také mohou vybrat z řady různých balíčků PRECiV pro analýzu obrazu tak, aby balíček vyhovoval konkrétním potřebám pořizování a analýzy obrazů.

Dva systémy pro široký rozsah velikostí vzorků

Systém MX63 dokáže zpracovat wafry do velikosti až 200 mm a systém MX63L wafry do velikosti až 300 mm se stejným využitím místa, jako u systému MX63. Modulární design usnadňuje přizpůsobení mikroskopu vašim konkrétním požadavkům

IČ kompatibilita

Pozorování v infračerveném světle je možné provádět při použití IČ objektivů – operátoři tak mohou nedestruktivním způsobem kontrolovat vnitřní části čipů s integrovanými obvody usazených na desce plošných spojů, přičemž se využívá schopnost křemíku propouštět infračervené záření. IČ objektivy s pěti až 100násobným zvětšením jsou dostupné s korekcí chromatické aberace od viditelné vlnové délky až po blízkou IČ oblast. Zejména u objektivů se zvětšením 20x a více lze aberaci způsobenou vrstvou křemíku korigovat korekčním kroužkem a získat tak zřetelný obraz.

Série MX63 se používá v řadě aplikací mikroskopie pracující s odraženým světlem. Tyto aplikace jsou příkladem některých způsobů používání systému za účelem průmyslových inspekcí.

IČ obraz elektrodové části

IR (infračervený obraz) se používá k hledání vad uvnitř IC čipů a dalších zařízení vyrobených metodou silikonu na skle.

Film
(vlevo: světlé pole / vpravo: polarizované světlo)

Polarizované světlo se používá k odhalení struktury materiálu a stavu krystalů. Jedná se o vhodnou techniku pro pozorování wafrů a struktur LCD.

Pevný disk
(vlevo: světlé pole / vpravo: DIC)

Diferenciální interferenční kontrast (DIC) se používá k zobrazení vzorků s nepatrnými výškovými rozdíly. Jedná se o ideální řešení pro vzorky s drobnými rozdíly ve výšce, jako jsou magnetické hlavy, média pevných disků a leštěné wafry.

Vzor integrovaného obvodu na polovodičovém wafru
(vlevo: tmavé pole / vpravo: MIX (světlé pole + tmavé pole))

Tmavé pole se používá pro detekci drobných škrábanců nebo nedostatků ve vzorku nebo pro kontrolu vzorků se zrcadlenými povrchy, jako jsou wafry. Osvětlení MIX umožňuje uživatelům prohlížet vzory i barvy.

Usazenina fotorezistu na polovodičovém wafru
(vlevo: fluorescence / vpravo: MIX (fluorescence + tmavé pole))

Fluorescence se používá pro vzorky, které emitují světlo po osvětlení speciálně navrženou filtrační kostkou. Tato vlastnost se používá ke zjišťování kontaminace a usazenin fotorezistu. Osvětlení MIX umožňuje pozorovat jak usazeniny fotorezistu, tak i IC obrazce.

Barevný filtr LCD
(vlevo: procházející světlo / vpravo: MIX (procházející světlo + světlé pole))

Tato technika pozorování je vhodná pro průhledné vzorky, jako jsou LCD, plasty a skleněný materiál.Osvětlení MIX umožňuje sledovat jak barvu filtru, tak i vzorec obvodů.