显微镜解决方案
自动300 mm晶圆搬送机 AL120-12
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概览
AL120-12はFOUPオープナー(Load
Port)対応とFOSB対応の2種類をラインアップに持つ300mmウェハローダです。ウェハ条件(薄ウェハ、反ウェハ)に影響されない搬送を実現し、後工程の本質を追及した高い信頼性と安全性を提供します。
イージーオペレーション
- 自由に設定できる検査モード、後工程向け専用に操作性を考慮した装置デザインなど、使い勝手を重視しました。
- FOUPオープナー(Load Port)対応とFOSB仕様の2機種をラインアップしています。
- 半導体顕微鏡MX61Lと組み合わせで高分解能、高品質の観察を実現します。
- 検査装置中心に配置した操作ユニがエルゴノミーで快適な操作が可能です。
高い信頼性、操作性能の継承
- 前機種で得た信頼性と安全性を継承し、安全に300mmウエハの自動検査が可能です。
- ウエハ条件(薄ウエハ・反ウエハ)に影響されない搬送系を実現しました。
技术规格
300mmウエハローダ AL120-12 仕様 |
| AL120-LMB12-LP3 | AL120-LMB12-F |
ウエハサイズ | 300mm(SEMI M1.15 t=775μm)オプション:200mm |
カセット | ●FOUP(Front Opening Unified Pods)
●SEMI:E47.1-0200 規格品
●FIMS-FOSB, FOSB | ●FOSB(Front Opening Shipping Box)
●SEMI:M31-0999規格品 |
カセット数 | 1カセット(ロード、アンロード兼用) |
カセット設置高さ | 900 mm |
ロードポート | あり | なし |
搬送シーケンス | 表面マクロ、裏面マクロ、顕微鏡検査 |
検査モード | 全数検査、抜取検査 |
ウエハアライメント | 非接触センタリング |
ウエハ搬送方式 | 真空吸着メカニカル搬送 |
適合顕微鏡 | 半導体検査顕微鏡MX61L |
ユーティリティ | AC100V-120V, 220-240V 3.0/1.7A 50/60Hz
真空-67kPa ~-80kPa 圧空0.5MPa~0.6MPa | AC100V-120V, 220-240V 3.0/1.7A 50/60Hz
真空-67kPa ~-80kPa |
ステージ | XY手動吸着ステージXY粗微動、360度回転機構付き |
質量(顕微鏡を除く) | 約360kg | 約270kg |
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