半导体与平板显示器检测显微镜
Evidentの半導体ウェハ / FPD検査顕微鏡は、高速起動、使いやすさ、不具合分析、拡張性を提供し、高いレベルでの効率化を実現します。 当社の半導体検査顕微鏡ラインアップは、ウェハの安全に搬送するように設計されており、半導体の欠陥検査に最適です。自動ウェハ処理システムに加えて、半導体内部の小さな欠陥の詳細な解析にはデジタルマイクロスコープも選択できます。 半導体 / FPD検査顕微鏡のラインアップを以下でご覧ください。 |
半導体ウェハ検査用顕微鏡
AL120
AL120ウェハローダは、炭化ケイ素（SiC）やガリウムヒ素（GaAs）などのシリコンおよび化合物半導体ウェハを、強化された機能と柔軟性によりカセットから顕微鏡ステージに搬送する一方で、人間工学に基づく使いやすい設計で、半導体後工程での歩留まり、生産性向上に貢献します。
AL120-12
低コストのバックエンド検査に最適なAL120-12ウェハローダは、FOUPオープナー（Load Port）とFOSBの両方に対応する半導体検査用顕微鏡です。安全で人間工学に基づく設計により、オペレーターの安全を維持しながら、ウエハ条件（薄ウエハ、反ウエハ）に影響されない搬送を実現し、後工程の本質を追及した高い信頼性と安全性を提供します。
MX63 / MX63L
MX63およびMX63Lは、最大300mmサイズのウェハや液晶パネル、電子基板などのサンプルが検査できる大型の顕微鏡です。FPD、回路基板、その他の大型サンプルに対応するモジュール式設計により、用途に合わせて必要なコンポーネントを選択できます。
半導体 / FPD検査機器
顕微鏡用デジタルカメラ
当社の顕微鏡用デジタルカメラにより、サンプルを高画質で撮影できます。高い分解能と優れた色再現力を備えた当社のカメラは、鮮明なライブ画像をフル解像度で表示し、明確な観察とリアルタイムフォーカスを可能にします。
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