独自の技術により、解像度、作動距離、フラットネスを相反することなく向上させたレンズを開発しました。高NAかつ3mmの作動距離の実現により、中心から周辺の視野と画質が改善され、自動半導体検査のスループットが大幅に向上します。MXPLFLN シリーズとしては、20倍と50倍の明視野レンズをご用意しました。 |
MXPLFLN50X
当社の50倍の対物レンズで初めてNA0.8かつ作動距離3mmを実現。LMPLFLN100X対物レンズと比較し、MXPLFLN50Xは同等のWDで、4倍の観察範囲が得られる
MXPLFLN20X
当社の20倍の対物レンズで初めてNA0.6かつ作動距離3mmを実現。高解像度と高フラットネスの両立により、均質な画像が得られ、画像貼り合わせに最適
倍率 | 20 |
---|---|
NA | 0.6 |
W.D. (mm) | 3 |
対物視野数 | 26.5 |
浸液 | 空気(乾燥系) |
スプリング | X |
補正環 | X |
補正環(Note) | X |
絞り | X |
色収差補正 | Semi-apochromat (FL) |
同焦点距離 | 45 |
瞳位置 | -8.0 |
ねじの種類 | W20.32 × 0.706 (RMS) |
明視野 (落射) | ○ |
明視野 (透過) | ○ |
暗視野(落射) | X |
暗視野(透過) | X |
微分干渉(落射) | ○ |
微分干渉(透過) | X |
位相差 | X |
レリーフコントラスト | X |
偏光 | △ |
蛍光 (B, G励起) | ○ |
UV蛍光 (365 nm) | X |
多光子励起 | X |
TIRF | X |
赤外 | X |
白色干渉 | X |
オートフォーカス | ○ |
倍率 | 50 |
---|---|
NA | 0.8 |
W.D. (mm) | 3 |
対物視野数 | 26.5 |
浸液 | 空気(乾燥系) |
スプリング | X |
補正環 | X |
補正環(Note) | X |
絞り | X |
色収差補正 | Semi-apochromat (FL) |
同焦点距離 | 45 |
瞳位置 | -8.0 |
ねじの種類 | W20.32 × 0.706 (RMS) |
明視野 (落射) | ○ |
明視野 (透過) | ○ |
暗視野(落射) | X |
暗視野(透過) | X |
微分干渉(落射) | ○ |
微分干渉(透過) | X |
位相差 | X |
レリーフコントラスト | X |
偏光 | △ |
蛍光 (B, G励起) | ○ |
UV蛍光 (365 nm) | ○ |
多光子励起 | X |
TIRF | X |
赤外 | X |
白色干渉 | X |
オートフォーカス | ○ |
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