Suporte de ponte grande – Alta estabilidade para medição de amostras extragrandes

A estabilidade é um fator-chave para a inspeção de alta resolução de componentes como wafers de silício, componentes eletrônicos ou peças de automóveis de grande porte. O suporte de ponte grande personalizável foi projetado para garantir a precisão e exatidão das medições feitas com o microscópio OLS5100. Recursos:

• Propriedades de amortecimento de vibração do granito para fornecer estabilidade excepcional
• Platinas motorizadas de até 400 × 400 mm possibilitam a inspeção de amostras grandes de até 20 kg de massa
• Acionamento Z manual de 150 mm aumenta o número de objetos grandes e altos que podem ser inspecionados

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Estações de trabalho personalizáveis de alta estabilidade – Maximizando a precisão da medição

Alcançar a precisão ideal de medição durante a inspeção em escala nanométrica de amostras, como componentes eletrônicos, requer equipamentos que possam minimizar o efeito de vibrações externas.

Nossas estações de trabalho de alta estabilidade possibilitam uma inspeção precisa em escala nanométrica. As estações de trabalho incluem:

• Suportes estáveis para microscópio
• Unidades antivibração ativas – integradas ou de mesa
• Caixas de controle ambiental
• Suportes separados para PCs e monitores para eliminar a vibração do PC para o microscópio.

Esses componentes da estação de trabalho podem ser usados para personalizar uma solução integral completa ou adquiridos individualmente com base nas suas necessidades.

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Suporte superior de pedra estável – Ambiente de trabalho otimizado

Alcançar condições ambientais adequadas para precisão ideal ao realizar inspeção em escala nanométrica de componentes eletrônicos ou outros objetos pode ser um desafio.

O suporte superior de pedra ajuda a garantir que os operadores possam obter medições confiáveis em alta resolução.

• Projetado para o microscópio OLS51000 CUS TM para proporcionar alta estabilidade ao microscópio durante a inspeção de objetos volumosos e pesados
• Pés niveladores possibilitam um fácil ajuste de altura de 0 a 50 mm para superfícies irregulares
• A estrutura de aço inoxidável e o tampo da mesa resistente a riscos protegem contra danos

As unidades antivibração ativas podem ser integradas perfeitamente no suporte do microscópio, uma solução altamente compacta, ou equipadas com uma unidade de mesa antivibração, dependendo das suas necessidades de inspeção.

Unidade de mesa antivibração ativa – Elimine pequenas vibrações para obter uma maior precisão

Para aplicações que exigem resolução em escala nanométrica, como inspeção de wafer, mesmo passos leves ou ruídos baixos podem afetar a precisão da medição.

A unidade de mesa antivibração ativa foi projetada para eliminar vibrações externas e tem vários recursos que aumentam a estabilidade e a precisão da medição:

• Largura de banda ativa de 0,6 a 200 Hz
• Desempenho de isolamento mínimo de 25 dB a 5 Hz ou 40 dB a > 10 Hz oferece excelente estabilidade
• Capacidade de carga de até 150 kg, o que proporciona estabilidade ao microscópio durante a inspeção de objetos pesados, como peças de automóveis

Caixas de controle ambiental – Uma ferramenta poderosa para inspeção de salas limpas

A blindagem do microscópio fornece um ambiente de trabalho que aumenta a precisão da medição e reduz o som do escaneamento ao usar os sistemas LEXT padrão. Para ajudar os usuários a manter fluxos de trabalho de inspeção eficientes com blindagem, a caixa de controle ambiental tem vários recursos de design inovadores:

• Grandes portas frontais e laterais fornecem fácil acesso ao LEXT EAF, permitindo o movimento Z manual rápido ou o ajuste do bloco de altura e a colocação eficiente de amostras
• O design elegante e simplificado conta com janelas transparentes para possibilitar o monitoramento do fluxo de trabalho
• A caixa de controle ambiental protege o sistema LEXT contra poeira, tornando-o extremamente útil para inspeção em salas limpas
• A caixa pode ser parafusada diretamente na mesa dedicada, aumentando a estabilidade do microscópio e a precisão da medição
• Compatível com todos os modelos LEXT padrão
• Uma solução semelhante também está disponível para o sistema LEXT OLS5100 CUS TM maior

Mandril a vácuo microporoso – Fixação ideal para amostras delicadas

A inspeção precisa de itens finos e flexíveis, como filmes RFID, painéis solares e wafers de silício, exigem suportes de amostra que forneçam força de fixação uniforme e deformação mínima da amostra.

O mandril a vácuo microporoso mantém a planicidade e a integridade de amostras delicadas durante a inspeção. Isso é obtido usando sucção uniforme através de microporos em vez de orifícios ou ranhuras de sucção.

• O mandril a vácuo microporoso minimiza o movimento da amostra, aumentando a repetibilidade da medição
• Projetado principalmente para inspeção de wafer de silício
• Possibilita a inspeção eficiente de substratos de paredes finas, como papéis, folhas, wafers e placas de circuito impresso

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Suporte de wafer a vácuo rotativo – Fixação de wafer estável e segura

Os suportes de amostra devem fornecer uma fácil navegação de amostra e fixação estável para garantir uma inspeção eficiente do wafer de silício.

O suporte de wafer a vácuo tem vários recursos que simplificam os fluxos de trabalho de inspeção de wafer:

• Força do vácuo distribuído uniformemente para garantir a máxima estabilidade do wafer e uma ótima precisão de medição
• A rotação de wafers torna a navegação de amostra mais fácil e rápida
• Design escalonado com ranhuras de 30 mm de largura para colocação conveniente de amostras
• O suporte pode ser fixado diretamente em uma platina de 300 mm ou em uma platina de 200 mm usando uma placa adaptadora
• Projetado para inspeção de wafers de 4 pol., 6 pol., 8 pol. e 12 pol.

Suporte de wafer rotativo – Inspeção de wafers simplificada

O suporte de wafer rotativo oferece uma alternativa simples e econômica para fixação de amostras onde a sucção a vácuo não é necessária.

• A rotação de wafers melhora a navegação da amostra e acelera a inspeção
• O design escalonado com ranhuras de 30 mm de largura simplifica a colocação da amostras
• O suporte pode acomodar wafers de 4 pol., 6 pol., e 8 pol.
• Também oferecemos um suporte de wafer de 8 pol. dedicado para microscópios DSX

Fixações para orifício de parafuso – Inspeção fácil com fixações personalizadas

Muitas vezes, são necessárias fixações personalizadas para segurar tubos, cubos ou outros objetos irregulares durante a inspeção.

Apresentando 68 furos de rosca M3 uniformemente distribuídos e medindo 150 mm × 110 mm × 5,5 mm, o acessório com furos para parafusos pode acomodar uma ampla variedade de recursos personalizados para fixação versátil de amostras