A série AL120 de carregador de wafers proporciona uma transferência rápida e segura de wafers semicondutores compostos e de silício da cassete para a platina do microscópio. Projetado para aumentar a produtividade operacional do produto, o manipulador de wafers combina com o nosso microscópio para semicondutores MX63 para uma solução de inspeção de wafers confiável.

Precisão e flexibilidade

Acomoda vários tamanhos de wafers para a inspeção e manipulação de wafers

A capacidade para acomodar diferentes tamanhos de wafers é fundamental para expandir as instalações de fabricação de wafers. A série AL120 consiste em três modelos baseados no diâmetro do wafer, o modelo de 200 mm, o modelo conversível de 150 mm e 200 mm e o modelo de 150 mm para wafers com tamanho de 150 mm ou inferiores. Cada sistema é projetado para transferência de wafers e inspeção em microscópio. As inspeções macro do lado de cima e do lado de baixo também estão disponíveis para todos os tamanhos de wafers.

Espessura e tamanho de wafers

Compatível com inspeção e manipulação de wafers finos

Para atender às demandas dos fabricantes de wafers finos, o design do braço do modelo AL120-LMB-90 tem capacidade para lidar com uma cassete cheia de wafers de 90 µm.

Funcional

 Inspeção macro aprimorada de wafers semicondutores

Inspeção macro com uma função de rotação de 360 graus (simulação)

Uma função de autorrotação de 360 graus proporciona uma inspeção macro completa da parte superior e da superfície traseira do wafer, permitindo uma fácil identificação de defeitos e partículas. O joystick integrado controla a inclinação do wafer durante a inspeção macro do lado de cima. Os operadores podem ajustar o ângulo do wafer para otimizar os resultados da inspeção.

Manipulação de wafers com mais facilidade

• Para atender às diferentes demandas das rotinas de inspeção, o carregador de wafers AL120 é orientado por receitas com 10 configurações de sistema programáveis, incluindo tipos específicos de cassete, especificações do wafer e velocidades de transferência. A seleção rápida com um botão de comando permite que o operador carregue diferentes produtos instantaneamente.
• Os parâmetros do manipulador de wafers e as configurações de receitas estão visíveis no visor LCD. Os operadores podem confirmar as rotinas e os resultados antes de depois da inspeção.
• O carregador de wafers AL120 oferece centralização óptica, detecção de sulcos/áreas planas e alinhamento sem contato. Esses recursos reduzem o contato entre o wafer e o equipamento, melhorando a limpeza do wafer.

Confiável

Maximiza a segurança do wafer ao longo do processo de transferência do wafer

O design do AL120 inclui funções avançadas para maximizar a segurança do wafer. O sistema de 3 sensores monitora continuamente as posições do wafer para recuperação, transferência, carregamento e descarregamento seguros e adequados do wafer. Estes recursos evitam os danos do carregamento de mais de um wafer no suporte e de apanhá-los de suportes cruzados acidentalmente.

Plataforma de microscópio confiável para observação de wafers semicondutores

O carregador de wafers AL120 faz interface com a nossa série MX™ de microscópios dedicados à inspeção de wafers, que oferece resolução de imagem e clareza excepcionais em uma variedade de modos de observação, incluindo campo claro, campo escuro, contraste de interferência diferencial (DIC) e infravermelho próximo (NIR). O carrossel de objetivas e o diafragma de abertura motorizados são intertravados, permitindo a iluminação e o contraste ideais de cada lente objetiva. O manipulador de wafers também pode ser adaptado a outros modelos de microscópio mediante pedido especial.

Opções de platina ergonômicas para o conforto e a eficiência de trabalho do operador

• O destravamento rápido manual a vácuo da platina otimiza o conforto e a eficiência do operador. O controle X-Y e a rotação do wafer são padrão.
• Automatizando ainda mais o processo de inspeção, a platina motorizada* pode ser controlada por meio de um joystick ou por meio de rotinas pré-programadas. Um botão de comando conduz a platina para e da posição de carregar/descarregar e para a posição inicial.

* A platina motorizada pode não estar disponível em algumas regiões.

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