概述
Microscópio de varredura a laser 3D LEXT™ OLS5100Microscópio a laser para análise de materiaisFluxo de trabalho inteligente, experimentos mais rápidosConstruído para análise de falhas e pesquisa de engenharia de materiais, o microscópio a laser OLS5100 combina precisão de medição excepcional e desempenho óptico com ferramentas inteligentes que tornam o microscópio fácil de usar. Meça com precisão a forma e a rugosidade da superfície no nível de submícron de forma rápida e eficiente para simplificar seu fluxo de trabalho com dados nos quais você pode confiar. Assista ao vídeo |
Microscopia de varredura a laser fácilUsar o microscópio é fácil para usuários novatos e experientes, graças ao software cuidadosamente projetado.
As informações, incluindo a precisão garantida, nesta página da web são baseadas nas condições estabelecidas pela Evident |
Engenharia de materiais mais fácil e experimentos de análise de falhasO Smart Experiment Manager torna seus fluxos de trabalho de experimentos de observação em 3D submicrônico e análise de falhas mais simples, automatizando tarefas que antes eram demoradas.
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Totalmente personalizado de acordo com suas especificaçõesImplemente todos os recursos avançados do microscópio de escaneamento a laser OLS5100 para a análise de materiais de amostras grandes e pesadas. |
Serviço e suporte nos quais você pode confiarDesde a calibração até o treinamento, oferecemos um portfólio de serviços abrangente para ajudá-lo a manter o desempenho ideal do dispositivo. Os contatos de serviço da Evident são:
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优势特性
Vantagens do microscópio a laser | ||
1. Observação/medição tridimensional em submícron Observa as etapas na faixa de nanômetros e mede as diferenças de altura em nível de submícron. | ||
2. Medição de superfície rugosa em conformidade com a ISO25178 Mede a rugosidade da superfície de linear a plana | ||
3. Sem contato, não destrutivo e rápido Não é preciso preparar amostra: coloque a amostra na platina e ela estará pronta para ser medida. |
Dados confiáveis pressionando apenas um botãoSmart Scan II Usuários experientes e novatos podem adquirir dados de forma rápida e fácil com o recurso Smart Scan II. Coloque a amostra na platina, pressione o botão iniciar e o microscópio faz o resto.
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Garantia de desempenho de medição adaptada ao seu ambiente operacional | |
Garantia de exatidão e repetibilidade | |
Metrologia de superfícies além do campo de visão *Somente para o OLS5100-SAF/EAF |
Observação de alta resolução/alta ampliação fácil | ||
Foco automático contínuo O foco automático contínuo do microscópio mantém as suas imagens em foco ao mover a platina ou trocar as objetivas, minimizando a necessidade de ajustes manuais. O rastreamento de foco permanente permite que você realize observações de forma rápida e fácil. | ||
Dual DIC para observação em tempo real em escala nanométrica Detecte danos muito pequenos em sua amostra com a observação em tempo real em escala nanométrica. A observação com contraste de interferência diferencial (DIC) permite que você visualize contornos da superfície em escala nanométrica que normalmente estão além da capacidade de resolução de um microscópio a laser. Com o modo a laser com DIC, o microscópio OLS5100 pode obter imagens em tempo real comparáveis às de um microscópio eletrônico, mesmo ao usar uma objetiva de baixa potência de 5x ou 10x. | Superfície traseira de um wafer | Área de repouso do disco rígido |
Análise completaEstão disponíveis muitas funções de análise. As funções a seguir são apenas um exemplo. Faça o download do folheto ou entre em contato com o seu representante da Evident para obter mais informações. | |
Medição de rugosidade de área em conformidade com a ISO25178 O microscópio OLS5100 escaneia a superfície da amostra com um feixe de laser de 0,4 μm de diâmetro, permitindo medir facilmente a rugosidade da superfície de amostras que não podem ser medidas com medidores de rugosidade de superfície por contato. A capacidade de adquirir simultaneamente a imagem colorida, imagem a laser e dados da forma 3D de uma superfície que não pode ser medida com um medidor de rugosidade de superfície por contato amplia o escopo da análise. | |
Medição da etapa entre os pontos mais alto e mais baixo em um perfil de superfície | Ferramenta de assistência de medição de perfil/medição A função de medição de perfil exibe o perfil da superfície traçando arbitrariamente uma linha de medição na posição a ser medida em uma imagem. Ela também mede a etapa entre quaisquer dois pontos arbitrários, comprimento, área transversal e raio. Diferentemente das ferramentas de medição baseadas em contato, configurar as posições de medição é fácil. É possível verificar as linhas e pontos de medição na imagem, assim, até mesmo um local muito pequeno pode ser medido com precisão. Com a ferramenta de assistência de medição, o ponto a ser medido pode ser especificado corretamente usando os pontos mais alto, mais baixo, do meio e/ou médio. Quando um local é especificado nos dados adquiridos, os pontos das características são extraídos automaticamente de acordo com as condições especificadas. |
软件
Engenharia de materiais simples e gerenciamento de experimentos de análise de falhas | |
Gerenciar as condições do experimento ao testar novos materiais é complicado, portanto, o Smart Experiment Manager do microscópio a laser OLS5100 simplifica o processo, automatizando etapas importantes, como a criação do plano de experimento. |
Automatize fluxos de trabalho de rotina | |
Função macro Você pode automatizar todo o fluxo de trabalho de inspeção usando a ferramenta de produção macro. Crie e edite procedimentos facilmente e depois execute o arquivo macro registrado para obter resultados confiáveis. Combinado com o Smart Experiment Manager, você pode realizar avaliações de aprovação/reprovação com um único clique. |
Otimize a organização dos dados | |
Ordenação rápida de dados | |
Inserção automática de dados |
Organização de dados de condição de experiência fácil | |
Geração automática de nomes de arquivos Você pode clicar em cada célula no plano de experimento e o software gerará automaticamente um nome de arquivo que contém as condições de avaliação para proporcionar uma fácil manutenção de registros. Cada arquivo contém as imagens e dados associados. |
Resultados de medição rápidos | |
Avaliação da tolerância | |
Mapa de calor |
Análise multidados | |
Análise comparativa de dados |
规格
Unidade principal
Modelo | OLS5100-SAF | OLS5100-SMF | OLS5100-LAF | OLS5100-EAF | ||
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Ampliação total | 54x–17,280x | |||||
Campo de visão | 16 µm–5,120 µm | |||||
Princípio de medição | Sistema óptico |
Microscópio de varredura a laser confocal de tipo refletivo
Microscópio de contraste de interferência diferencial (DIC) a laser de varredura a laser confocal de tipo refletivo Cor Contraste de interferência diferencial (DIC) colorido | ||||
Princípio de medição | Elemento receptor de luz |
Laser: Fotomultiplicador (2 canais)
Cor: Câmera colorida CMOS | ||||
Medição da altura | Resolução da tela | 0,5 nm | ||||
Medição da altura | Variação dinâmica | 16 bits | ||||
Medição da altura | Repetibilidade σn-1*1 *2 *5 | 5X:0,45 μm, 10X:0,1 μm, 20X:0,03 μm, 50X: 0,012 μm, 100X: 0,012 μm | ||||
Medição da altura | Precisão *1 *3 *5 | 0,15+L/100 μm (L: Comprimento de medição [μm]) | ||||
Medição da altura | Precisão para imagem unida *1 *3 *5 | 10X:5,0+L/100 μm, 20X ou superior:1,0+L/100 μm (L: Comprimento de união [μm]) | ||||
Medição da altura | Ruído de medição (Ruído Sq) *1 *4 *5 | 1 nm (Tipo) | ||||
Medição da largura | Resolução da tela | 1 nm | ||||
Medição da largura | Repetibilidade 3σn-1 *1 *2 *5 | 5X:0,4 μm, 10X:0,2 μm, 20X:0,05 μm, 50X:0,04 μm, 100X:0,02 μm | ||||
Medição da largura | Precisão *1 *3 *5 | Valor de medição +/- 1,5% | ||||
Medição da largura | Precisão para imagem unida *1 *3 *5 | 10X:24+0,5L μm, 20X:15+0,5L μm, 50X:9+0,5L μm, 100X:7+0,5L μm (L: Comprimento de união [mm]) | ||||
Número máximo de pontos de medição em uma única medição | 4.096 píxeis × 4.096 píxeis | |||||
Número máximo de pontos de medição | 36 megapíxeis | |||||
Configuração da platina XY | Módulo de medição do comprimento | • | AN | AN | • | |
Configuração da platina XY | Intervalo operacional | 100 × 100 mm (3,9 × 3,9 pol.) Motorizada | 100 × 100 mm (3,9 × 3,9 pol.) Manual | 300 × 300 mm (11,8 × 11,8 pol.) Motorizada | 100 × 100 mm (3,9 × 3,9 pol.) Motorizada | |
Altura máxima da amostra | 100 × 100 mm (3,9 × 3,9 pol.) | 30 mm (1,2 pol.) | 30 mm (1,2 pol.) | 210 mm (8,3 pol.) | ||
Fonte de luz laser | Comprimento de onda | 405 nm | ||||
Fonte de luz laser | Saída máxima | 0,95 mW | ||||
Fonte de luz laser | Classe de laser | Classe 2 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014)*6 | ||||
Cor da fonte de luz | LED branco | |||||
Potência elétrica | 240 W | 240 W | 278 W | 240 W | ||
Massa | Corpo do microscópio | Aprox. 31 kg (68,3 lb) | Aprox. 32 kg (70,5 lb) | Aprox. 50 kg (110,2 lb) | Aprox. 43 kg (94,8 lb) | |
Massa | Caixa de controle | Aprox. 12 kg (26,5 lb) |
1* Garantido quando usado em temperaturas constantes e em ambientes de temperaturas constantes (temperatura: 20 °C±1 °C, umidade: 50%±10%) especificado na norma ISO554(1976), JIS Z-8703(1983).
*2 Para 20x ou superior, quando medido com as objetivas da série MPLAPON LEXT.
*3 Quando medido com a objetiva LEXT dedicada.
*4 Valor típico quando medido com a objetiva MPLAPON100XLEXT e pode diferir do valor garantido.
*5 Garantido ao abrigo do Sistema de certificado da Evident.
*6 O OLS5100 é um produto laser de Classe 2. Não olhe diretamente para o feixe.
** A licença do sistema operacional Windows 10 foi certificada para o controlador de microscópio fornecido pela Evident. Logo, os termos de licença da Microsoft se aplicam e você concorda com os termos. Consulte o seguinte para visualizar os termos de licença da Microsoft.
https://www.microsoft.com/en-us/Useterms/Retail/Windows/10/UseTerms_Retail_Windows_10_english.htm
Objetivas
Série | Modelo | Abertura numérica (AN) | Distância de trabalho (DT) (mm) |
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Lente objetiva UIS2 | MPLFLN2.5X | 0,08 | 10,7 |
MPLFLN5X | 0,15 | 20 | |
Lente objetiva LEXT dedicada (10X) | MPLFLN10XLEXT | 0,3 | 10,4 |
Lente objetiva LEXT dedicada (tipo de alto desempenho) | MPLAPON20XLEXT | 0,6 | 1 |
MPLAPON50XLEXT | 0,95 | 0,35 | |
MPLAPON100XLEXT | 0,95 | 0,35 | |
Lente objetiva dedicada LEXT (tipo distância de trabalho longa) | LMPLFLN20XLEXT | 0,45 | 6,5 |
LMPLFLN50XLEXT | 0,6 | 5,2 | |
LMPLFLN100XLEXT | 0,8 | 3,4 | |
Lente de distância de trabalho superlonga | SLMPLN20X | 0,25 | 25 |
SLMPLN50X | 0,35 | 18 | |
SLMPLN100X | 0,6 | 7,6 | |
Lente de distância de trabalho longa para LCD | LCPLFLN20XLCD | 0,45 | 8.3-7.4 |
LCPLFLN50XLCD | 0,7 | 3.0-2.2 | |
LCPLFLN100XLCD | 0,85 | 1.2-0.9 |
Software de aplicação
Software padrão | OLS51-BSW | |||
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Software padrão | Aplicativo de aquisição de dados | Aplicativo de análise (análise simples) | ||
Aplicação de embalagem de platina motorizada *1 | OLS50-S-MSP | |||
Aplicação de análise avançada*2 | OLS50-S-AA | |||
Aplicação de medição de espessura da película | OLS50-S-FT | |||
Aplicação automática de medição de limite | OLS50-S-ED | |||
Aplicação de análise de partículas | OLS50-S-PA | |||
Aplicativo experimental de assistência total | OLS51-S-ETA | |||
Aplicação de análise do ângulo de superfície da esfera/cilindro | OLS50-S-SA |
*1 Inclui funções de aquisição de dados de união automática e de múltiplas áreas.
*2 Inclui análise do perfil, análise de diferenças, análise da altura da etapa, análise da superfície, análise da área/volume, análise da rugosidade da linha, análise da rugosidade da área e análise de histogramas.
Microscópios a laser Evident
Exemplo de configuração do OLS5100-SAF
OLS5100-SAF
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OLS5100-EAF
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OLS5100-SMF
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OLS5100-LAF
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