パワーコントロールユニットの検査

パワーコントロールユニット（PCU）は、電気自動車の駆動に用いられる電力を制御する機器です。 PCUの内部には、たくさんのパワー半導体が使用されています。 半導体ウェーハの欠陥が発生する原因としては、劣化した製造機器、不十分な調整、ヒューマンエラー、コンタミネーションがあります。

当社のソリューション

DSX1000デジタルマイクロスコープは、ウェーハ検査向けの多用途ソリューションです。 1台のシステムで、幅広い観察方法から適切なものを選択し、低倍率で欠陥を検出してから高倍率で欠陥の種類を特定できます。

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半導体パターンの欠陥、 フィルムの不均一、ライン幅の測定

正しい性能を確保するため、半導体パターンの寸法は正確に測定する必要があります。 OLS5100 3D測定レーザー顕微鏡では、パターンの寸法を容易かつ正確に測定できます。

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半導体配線パターンの幅と高さの測定