Soluções em microscopia para
fabricação de unidade de controle de energia

Inspeção da unidade de controle de energia

A unidade de controle de energia (PCU) é um dispositivo que controla a energia elétrica usada para dirigir um veículo elétrico. Vários semicondutores de energia são usados dentro da PCU. Defeitos em wafers semicondutores podem ocorrer devido à degradação do equipamento de fabricação, ajuste inadequado, erro humano ou contaminação.

Nossa solução

O microscópio digital DSX1000 é uma solução versátil para inspeção de wafer. Com um sistema, você pode selecionar entre uma variedade de métodos de observação para detectar defeitos usando baixa ampliação e, em seguida, identificar os tipos de defeito usando alta ampliação.

Microscópio digital série DSX

Microscópio digital série DSX

Defeitos no padrão do semicondutor, irregularidades da película e medição da largura da linha

Defeitos no padrão do semicondutor, irregularidades da película e medição da largura da linha

As dimensões do padrão de semicondutores devem ser medidas adequadamente para ajudar a garantir o desempenho adequado. O microscópio de escaneamento a laser OLS5100 permite medir as dimensões do padrão com facilidade e precisão.

Microscópio de escaneamento a laser série OLS

Microscópio de escaneamento a laser série OLS

Medição da largura e do incremento do padrão de fiação do semicondutor

Medição da largura e do incremento do padrão de fiação do semicondutor

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