检测动力控制单元

动力控制单元（PCU）是一种控制用于驱动电动汽车的电力的装置。 PCU内部使用多个功率半导体。 半导体晶圆上的缺陷可能是由于制造设备退化、调整不当、人为错误或污染造成的。

我们的解决方案

DSX1000数码显微镜是一种用于晶圆检查的多功能解决方案。 使用一个系统，您可以从一系列观察方法中进行选择，使用低倍率检测缺陷，然后使用高倍率识别缺陷类型。

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半导体图案缺陷、薄膜不均匀性和线宽测量

必须正确测量半导体图案尺寸，以确保适当的性能。 OLS5100激光扫描显微镜使您能够轻松准确地测量图案尺寸。

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半导体布线图案宽度和步长的测量