Vue d’ensemble

Le microscope confocal laser OLS5000 mesure avec précision la forme et la rugosité de surface à l’échelle submicronique. L’acquisition des données se fait quatre fois plus rapidement qu’avec le modèle précédent, ce qui augmente considérablement la productivité.

	1. Imagerie précise Voyez bien la forme de n’importe quelle surface.
	2. Rapidité Obtenez des données fiables quatre fois plus rapidement qu’avec notre modèle précédent.
	3. Convivialité Il vous suffit de placer votre échantillon et d’appuyer sur le bouton Start (Démarrer).
	4. Distance de travail plus grande pour des échantillons plus grands Mesurez des échantillons d’une hauteur allant jusqu’à 210 mm.

Imagerie précise

Imagerie précise à haute résolution

Grâce à sa capacité de réaliser des mesures 3D précises sur un large éventail de types d’échantillons, ce système fournit des données fiables pour l’assurance de la qualité et le contrôle des processus.

Excellente résolution latérale

Le laser violet d’une longueur d’onde de 405 nm et les objectifs dédiés à ouverture numérique élevée permettent de voir des motifs et des défauts fins impossibles à détecter avec les microscopes optiques classiques, les interféromètres à lumière blanche ou les microscopes à laser rouge.

Type rouge (658 nm : ligne et espace de 0,26 μm)

Type violet (405 nm : ligne et espace de 0,12 μm)

Valeurs de mesure uniformes

Des objectifs LEXT dédiés peuvent mesurer avec précision les zones périphériques qui seraient autrement déformées.

Valeurs de mesure uniformes

Objectifs classiques

Objectifs LEXT

Nouveau scanner MEMS

Le nouveau scanner MEMS effectue un balayage X-Y précis avec une faible distorsion du tracé de balayage et très peu d’aberrations optiques.

Technologie de balayage 4K

La technologie de balayage 4K balaie 4096 pixels dans la direction de l’axe X, soit quatre fois plus que notre modèle précédent.
Le microscope OLS5000 peut détecter des pentes quasi verticales ainsi que des incréments très faibles sans correction d’image.

Voyez la forme réelle

Comme les microscopes laser classiques utilisent des techniques de traitement d’images standards comme le lissage pour éliminer le bruit, ils suppriment parfois en même temps des irrégularités de très faible hauteur.
Le microscope OLS5000 utilise l’algorithme Smart Judge d’Olympus pour détecter automatiquement uniquement les données fiables. Cette fonction renforce l’exactitude des mesures sans éliminer les données d’irrégularités de très faible hauteur.

Autres technologies de mesure en haute résolution

Algorithme PEAK
Système confocal double
Garantie du bruit quadr. (bruit de mesure)
Précision et répétabilité garanties
Algorithme de correspondance hybride
Mécanisme d’amortissement hybride
Balayage HDR

Les informations figurant sur cette page, y compris la garantie d’exactitude, sont basées sur les conditions établies par Olympus.

Vitesse

Obtenez rapidement des réponses : balayage à haute vitesse

L’algorithme de balayage du microscope améliore la qualité des données, réduit la durée du balayage et simplifie le flux de travaux, ce qui se traduit par une plus grande productivité.

Algorithme PEAK

Échantillon VLSI standard de 80 nm de hauteur (MPLFLN10XLEXT)

Le microscope OLS5000 intègre un algorithme PEAK pour l’affichage des données en 3D. Cet algorithme fournit des données très précises, quel que soit le grossissement, et réduit le temps d’acquisition de données.

Limitation du balayage

Lors de la mesure de la forme des incréments sur un échantillon contenant des plans quasi verticaux, comme un composant électronique ou un système microélectromécanique, il est possible de réduire le temps d’acquisition des données en limitant la plage de balayage dans la direction Z.
Un incrément de 700 μm peut être mesuré en 15 secondes environ sans nuire à la précision (lorsque l’objectif MPLAPON20x est utilisé).

Autres technologiques accélérant le processus

Balayage par bande
Acquisition des données en 1 ligne

Les informations figurant sur cette page, y compris la garantie d’exactitude, sont basées sur les conditions établies par Olympus.

Simplicité

Travaillez efficacement : procédures d’utilisation simples

Comme le système collecte automatiquement les données, il n’est plus nécessaire d’effectuer des réglages compliqués. Même les utilisateurs n’ayant qu’une formation de base peuvent obtenir des résultats précis.

Simplifiez la zone de mesure

La fonction d’analyse simple mesure l’incrément, la largeur de la ligne, la rugosité de surface, la superficie et le volume uniquement dans les zones de mesure spécifiées. Les causes des écarts entre les résultats de mesure, comme la position du bord et le seuil réglé pour les plans de référence dans l’analyse du volume, sont automatiquement détectées pour que les résultats soient stables et indépendants du niveau de compétence de l’utilisateur.

Hauteur

Mesure de la différence de hauteur des incréments et de la distance entre deux régions spécifiées

Angle

Mesure de la différence d’angle entre deux régions spécifiées

Volume

Mesure de la superficie/du volume dans la région spécifiée; les plans de référence sont détectés automatiquement afin qu’aucun réglage de seuil ne soit nécessaire

Rugosité

Mesure de la rugosité de surface dans la région spécifiée

Largeur

Mesure de la largeur par détection automatique des bords de la région spécifiée

Sphère

Mesure du rayon et de la hauteur à partir du plan de référence sur la base d’une reconnaissance automatique de la forme circulaire dans la région spécifiée

Correction d’image automatique

Le traitement Smart Judge élimine automatiquement le bruit de mesure sans nuire à la précision des données, tandis que le traitement Smart Leveling détecte le plan horizontal principal (plan de référence) à la hauteur zéro. Activez les deux d’un simple clic.

Gagnez du temps grâce aux modèles

Toutes les opérations et procédures incluses dans un rapport peuvent être enregistrées dans un modèle.
L’utilisation de ce modèle en cas de répétitions des mêmes mesures permet d’obtenir un rapport d’analyse sur le prochain ensemble de données pour lequel s’appliqueront les mêmes procédures.
La capacité du système à préciser des opérations de traitement et des points de mesure sans l’intervention de l’utilisateur permet de réaliser une analyse rapide et précise avec très peu d’écarts.

Gagnez du temps grâce aux modèles 1

Gagnez du temps grâce aux modèles 2

Gagnez du temps grâce aux modèles 3

Gagnez du temps grâce aux modèles 4

Effectuez l’inspection et prenez des mesures.

Générez le rapport et enregistrez le modèle.

Ouvrez le modèle enregistré lors de l’acquisition suivante.

Générez instantanément un rapport basé sur le modèle.

Autres technologies facilitant l’utilisation du système

Cartographie macro en temps réel
Mise au point automatique en continu
Smart Scan II
Fonction macro

Les informations figurant sur cette page, y compris la garantie d’exactitude, sont basées sur les conditions établies par Olympus.

Grand échantillon

Flexible : peut accueillir de grands échantillons

Compatible avec des échantillons d’une hauteur allant jusqu’à 210 mm

La monture d’extension, destinée au microscope OLS5000, prend en charge des échantillons d’une hauteur allant jusqu’à 210 mm, tandis que l’objectif à très grande distance de travail facilite la mesure des concavités d’une profondeur allant jusqu’à 25 mm.
Dans les deux cas, il suffit de placer l’échantillon sur la platine.

Bielle

Outil

Tête de piston

Objectifs à grande distance de travail LEXT dédiés

Olympus propose une gamme d’objectifs allant de x10 à x100 capables de réduire les aberrations à une échelle de 405 nm. Cette gamme comporte également des objectifs à faible puissance et à grande distance de travail. Olympus garantit les performances de mesures pour tous les objectifs LEXT dédiés. Vous pouvez ainsi choisir l’objectif le mieux adapté à votre échantillon.

Échantillon de rugosité standard 528 de Rubert & Co., Ltd. (Pt = 1,5 μm)

Objectif général (x50)

Objectif dédié LEXT (x50)

Objectifs à très grande distance de travail

Notre gamme d’objectifs LEXT dédiés comprend un objectif x10 et des objectifs à grande distance de travail qui améliorent les performances de mesure du microscope.

Les informations figurant sur cette page, y compris la garantie d’exactitude, sont basées sur les conditions établies par Olympus.

Applications

Automobile / Traitement des métaux
Matériaux
Composants électroniques
Autres

Automobile / Traitement des métaux

Texture intérieure / Mesure de la rugosité de surface (MPLAPON20XLEXT / assemblage 3 × 3)

Buse d’injecteur de carburant (reproduction) / Mesure de la rugosité de surface (LMPLFLN50XLEXT)

Bague de piston / Mesure de la rugosité de surface (MPLAPON50XLEXT)

Roulement à billes / Mesure du profil (MPLAPO50XLEXT)

Matériaux

Corrosion sur l’acier inoxydable / Mesure de la hauteur (MPLAPON20XLEXT / assemblage 3 × 3)

Plaque de cuivre / Mesure de la rugosité de surface (MPLAPON50XLEXT)

Plaque de diffusion / Mesure du profil (MPLAPON50XLEXT / assemblage 3 × 3)

Éponge / Mesure du profil (MPLAPON20XLEXT / assemblage 3 × 3)

Composants électroniques

Bosse de nickel / Mesure de la hauteur (MPLAPON20XLEXT)

Sonde à ultrasons de systèmes microélectromécaniques (MPLAPON50XLEXT)

Résine photosensible / Mesure de la hauteur (MPLAPON100XLEXT)

Fil de connexion (MPLAPON100XLEXT)

Autres

Micro-aiguille / Mesure du profil (MPLAPON50XLEXT / assemblage 6 × 6)

Peau (reproduction) / Mesure de la rugosité de surface (MPLAPON20XLEXT / assemblage 5 × 5)
Image reproduite avec l’aimable autorisation du Laboratoire de design fonctionnel, Faculté des sciences de la mode, Bunka Gakuen University

Meule / Mesure de profil (MPLAPON20XLEXT)

Alvéole de la bille d’un stylo à bille / Mesure de la rugosité de surface (LMPLFLN20XLEXT)

Caractéristiques techniques

Unité principale

Modèle		OLS5000-SAF	OLS5000-SMF	OLS5000-LAF	OLS5000-EAF	OLS5000-EMF
Grossissement total		De x54 à x17 280
Champ d’observation		De 16 μm à 5120 μm
Principe de mesure	Système optique	Microscope laser à balayage laser confocal de type réflexion Microscope laser CID à balayage laser confocal de type réflexion Couleur Couleur-CID
Principe de mesure	Élément de réception de la lumière	Laser : photomultiplicateur (2 canaux) Couleur : caméra couleur CMOS
Mesure de la hauteur	Résolution d’affichage	0,5 nm
Mesure de la hauteur	Gamme dynamique	16 bits
Mesure de la hauteur	Répétabilité σ_n-1^{1 2 *5}	x5 ：0,45 μm ; x10 ：0,1 μm ; x20 : 0,03 μm ; x50 : 0,012 μm ; x100 : 0,012 μm
Mesure de la hauteur	Exactitude ^{1 3 *5}	0,15+L/100 μm (L : longueur mesurée [μm])
Mesure de la hauteur	Précision d’une image assemblée ^{1 3 *5}	x10 ：5,0+L/100 μm ; x20 ou plus : 1,0+L/100 μm (L : longueur assemblée [μm])
Mesure de la hauteur	Bruit de mesure (quadr.) ^{1 4 *5}	1 nm
Mesure de la largeur	Résolution d’affichage	1 nm
Mesure de la largeur	Répétabilité 3σ_n-1 ^{1 2 *5}	x5 : 0,4 μm ; x10 : 0,2 μm ; x20 : 0,05 μm ; x50 : 0,04 μm ; x100 : 0,02 μm
Mesure de la largeur	Précision ^{1 3 *5}	Valeur de la mesure +/–1,5 %
Mesure de la largeur	Précision d’une image assemblée ^{1 3 *5}	x10 : 24+0,5L μm ; x20 : 15+0,5L μm ; x50 : 9+0,5L μm ; x100 : 7+0,5L μm (L : longueur assemblée [mm])
Nombre maximal de points de mesure dans une seule mesure		4096 × 4096 pixels
Nombre maximal de points de mesure		36 Mpx
Configuration de la platine XY	Module de mesure de la longueur	•	S. O.	S. O.	•	S. O.
Configuration de la platine XY	Plage de fonctionnement	Motorisée – 100 × 100 mm	Manuelle – 100 × 100 mm	Motorisée – 300 × 300 mm	Motorisée – 100 × 100 mm	Manuelle – 100 × 100 mm
Hauteur maximale de l’échantillon		100 mm	30 mm	37 mm	210 mm	140 mm
Source de lumière laser	Longueur d’onde	405 nm
Source de lumière laser	Puissance maximale	0,95 mW
Source de lumière laser	Classe laser	Classe 2 (CEI 60825-1:2007, CEI 60825-1:2014)
Source de lumière en couleurs		DEL blanche
Puissance électrique		240 W	240 W	278 W	240 W	240 W
Poids	Corps du microscope	Env. 31 kg	Env. 32 kg	Env. 50 kg	Env. 43 kg	Env. 44 kg
Poids	Boîtier de commande	Env. 12 kg

*1 Valeur garantie si utilisation à température constante et environnement à température constante (température : 20 ˚C ± 1 ˚C ; humidité : 50 % ± 1 %) selon les spécifications ISO554(1976) et JIS Z-8703(1983).
*2 Pour x20 ou plus, si la mesure est prise avec des objectifs de la série MPLAPON LEXT.
*3 Si la mesure est prise avec un objectif LEXT dédié.
*4 Valeur habituelle si la mesure est prise avec l’objectif MPLAPON100XLEXT. Peut différer de la valeur garantie.
*5 Valeur garantie par le système de certificat Olympus.

** La licence SE de Windows 10 a été certifiée pour le contrôleur de microscope (PC) fourni par Olympus. Par conséquent, les conditions de licence de Microsoft s’appliquent et vous les acceptez. Veuillez consulter la page Web suivante pour voir les conditions de licence de Microsoft.
https://www.microsoft.com/en-us/Useterms/Retail/Windows/10/UseTerms_Retail_Windows_10_japanese.htm

Caractéristiques techniques des objectifs

Série	Modèle	Ouverture numérique (O. N.)	Distance de travail (mm)
Objectif UIS2	MPLFLN2.5x	0,08	10,7
Objectif UIS2	MPLFLN5X	0,15	20
Objectif dédié LEXT (x10)	MPLFLN10xLEXT	0,3	10,4
Objectif dédié LEXT (haute performance)	MPLAPON20xLEXT	0,6	1
	MPLAPON50XLEXT	0,95	0,35
	MPLAPON100XLEXT	0,95	0,35
Objectif dédié LEXT (grande distance de travail)	LMPLFLN20xLEXT	0,45	6,5
	LMPLFLN50xLEXT	0,6	5
	LMPLFLN100xLEXT	0,8	3,4
Objectif à très grande distance de travail	SLMPLN20x	0,25	25
	SLMPLN50x	0,35	18
	SLMPLN100x	0,6	7,6
Objectif à très distance de travail pour LCD	LCPLFLN20xLCD	0,45	8.3-7.4
	LCPLFLN50xLCD	0,7	3.0-2.2
	LCPLFLN100XLCD	0,85	1.2-0.9

Logiciel d’application

Logiciel de base	OLS50-BSW	Application d’acquisition des données
Logiciel de base	OLS50-BSW	Application d’analyse (analyse simple)
Progiciel pour platine motorisée*1	OLS50-S-MSP
Application d’analyse avancée*2	OLS50-S-AA
Application de mesure d’épaisseur de film	OLS50-S-FT
Application de mesure de bords automatique	OLS50-S-ED
Application d’analyse de particules	OLS50-S-PA
Application d’analyse multidonnées	OLS50-S-MA
Application d’analyse d’angles de surface de sphère/cylindre	OLS50-S-SA

*1 Inclut les fonctions d’acquisition de données par assemblage automatique et d’acquisition de données sur plusieurs zones.
*2 Inclut l’analyse de profil, l’analyse de différence, l’analyse de la hauteur d’un incrément, l’analyse de surface, l’analyse de surface/volume, l’analyse de rugosité de ligne, l’analyse de rugosité de surface et l’analyse d’histogramme.