3D测量激光共焦显微镜 LEXT OLS4000
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概览
LEXT OLS4000 3D激光测量显微镜是专门为纳米级影像、3D测量和粗糙度测量设计的。其倍率范围为108x-17,280x，足以满足现今所有研究人员的需求。
精益求精的测量性能
轻松检测尖锐角
采用了高N.A. 的专用物镜及能最大限度发挥405 nm 激光性能的专用光学系统，LEXT OLS4000可以精确的测量一直以来无法测量的有尖锐角的样品。
 有尖锐角的样品（剃刀） |  LEXT 专用物镜 |
克服反射率的差异
LEXT OLS4000 采用了新开发的双共焦系统。由于配置了2 个共焦光学系统，那些一直以来使用激光显微镜难以测量的、含有不同反射率材料的样品，也能在LEXT OLS4000上获得鲜明的影像。
 反射率有差异的样品（金刚石电镀工具） |  双共焦系统 |
多层模式有利于透明层的测量
过去，激光显微镜焦点的位置都会设置在样品上反射光强度最大的区域。但是，这样的设计有时候会很难识别透明样品的正确形状，因为激光光束会直接穿过样品。LEXT OLS4000 全新的多层模式则可以识别多层样品各层上反射光强度的峰值区域，并将各层设为焦点，这样即可实现对透明样品上表面的观察和测量，而且也可以对多层样品的各层进行分析和厚度测量。
观察／测量透明材料的上表面
一般而言，使用激光扫描显微镜，很难对如金属基板上的透明膜等样品进行测量。而多层模式则可实现对此类透明膜样品的顶层进行观察和测量。
金属材料的表面涂层 传统模式 |  多层模式 |
分析透明材料的各个层
多层模式也可以对透明样品的各层进行分析。例如，即使该样品是玻璃基板上的透明树脂涂层，也可测量出透明材料下那层的形状和粗糙度，当然也可以测量出表面覆膜的厚度。
金属基板上的聚酰亚胺覆膜 |
稳定测量环境
 | 为了排除来自外部的影响，稳定测量，LEXT OLS4000 机座内置了由螺旋弹簧和阻尼橡胶组成的"混合减震机构"。所以，可以把LEXT OLS4000 放在普通的桌子进行测量作业，不需要专用的防震平台。 |
 受到来自外部的 振动的影响 |  混合减震机构减轻 振动带来的影响 |
全球首创的两项性能保证
表示测量仪器的测量精度的，有2个指标。一个是测量值与真正值的接近程度（正确性），另一个则是多次测量值的偏差程度（重复性）。LEXT OLS4000是世界首台保证了"正确性"和"重复性"的激光显微镜
2个性能保证
OLS4000从镜头制造到成品全部在奥林巴斯工厂完成，并按照一系列标准严格检查后出厂。交付产品时的校正和最后的调整，由选拔出来的技术人员在实际使用环境中执行。
更加真实的再现微小凹凸
微分干涉观察是超越了激光显微镜的分辨率、可以观察到纳米以下微小凹凸的观察方法。LEXT OLS4000 通过安装在物镜上方的DIC 分光棱镜，将照明光横向分为两束光线来照射样品。获取由样品直接反射回来的两束光线的差，生成明暗对比，从而实现对微小凹凸的立体观察。LEXT OLS4000 采用了微分干涉观察，即使是低倍率的动态观察，也能得到接近电子显微镜分辨率的影像。
 有DIC（高分子薄膜） |  无DIC（高分子薄膜） |
对应大范围观察
在高倍率影像观察中，视场范围会变窄。LEXT OLS4000 搭载了拼接功能，最多可拼接500 幅影像，从而能得到高分辨率和广视场范围的影像数据。不仅如此，LEXT OLS4000 还能对该广视场影像进行3D 显示和3D 计测。
 拼接前的影像 |  拼接后的亮度影像 |
 拼接后的3D 影像 |
理想的操作环境
通过ID 管理来强化自定义和安全性
 登录系统画面 | 操作员可以使用自己的ID 登录系统，对影像数据库和操作环境进行自定义。报告和影像上会显示ID 号码，这样，谁、何时创建或拍摄等信息便一目了然。此外，还可以对每个ID 设置级别，管理者可以自由分配各操作员的操作范围和功能范围。 |
即使是初次使用者也能安心操作的向导功能
LEXT OLS4000 搭载了详细的向导功能，即使是初次使用者也能立即操作仪器，不需要在阅读使用说明书或培训上花费时间。也可以对向导功能进行自定义。
向导功能
自动测量功能* 实现高效连续的测量
每个对象反复进行固定方式的测量时，可以准确而高效地工作。如果重复测量的次数很多，就更需要该功能了。自动测量功能（可选项）通过预先设置条件，从样品的校准到获得测量结果，一系列操作都能轻松完成
* 自动测量功能是可选功能。
自动测量功能
不会在观察中"迷路"的宏观图。
一直以来，由于高倍率观察时的视场变窄，经常会有不知道在观察样品的哪一部分等情况发生。LEXT OLS4000 搭载了宏观图功能，始终显示低倍率观察时的大范围影像，在影像上指出"现在在这里"。
宏观图功能
避免接触和损坏样品、自动调整影像的电动物镜转换器
 电动物镜转换器 | 为了避免切换物镜时损坏样品，LEXT OLS4000 搭载了标准配置的电动物镜转换器。切换物镜时，物镜转换器自动退避，不会接触样品。不仅如此，电动物镜转换器还能同时自动对准焦点和影像中心，调整合适的亮度，实现了轻松的倍率变换操作。 |
能提供熟练操作者描绘水平的INR 算法
奥林巴斯根据长年积累的经验和技术，成功的在设备中嵌入了相当于熟练操作者水平的异常值判断基准。这就是新搭载在LEXT OLS4000 中的INR(Intelligent Noise Reduction) 算法。初次操作仪器的操作员也能轻松获得与熟练操作者一样水平的影像。
 使用INR算法 |  不使用INR算法 |
实现了创建报告时必需的快速和简明易懂
激光显微镜可以代替相关人员，快速而清楚地把观察和测量结果制作成报告。LEXT OLS4000在测量结束后，只要一个点击就可以完成创建报告任务。同时，LEXT OLS4000 还备有充实的编辑功能，可以自由自在地定制各种报告模板。
 报告用户界面 |  报告完成版本 |
卓越的粗糙度分析能力
将激光纳入表面粗糙度测量仪的标准中
 粗糙度测量画面 | 作为表面粗糙度测量仪的新标准，奥林巴斯开发了LEXT OLS4000。对LEXT OLS4000 进行了与接触式表面粗糙度测量仪同样的校正，并在LEXT OLS4000上配置了几乎所有必要的粗糙度参数和滤镜。这样，对于使用接触式表面粗糙度测量仪的用户来说，能得到操作性和互换性良好的输出结果。另外，还搭载了粗糙度专用模式，可以用自动拼接功能测量样品表面直线距离最长为100 mm 的粗糙度。 |
OLS4000与接触式表面粗糙度测量仪的测量截面曲线比较（截面全长1.6 mm）
 LEXT OLS4000 测量所得的截面曲线， λs=2.5 μm 未处理 |  LEXT OLS4000 测量所得的截面曲线， 采用λs=2.5 μm 处理 |  接触式表面粗糙度测量仪测量所得的截面曲线 |
参数一览
LEXT OLS4000 轮廓曲线参数一览
LEXT OLS4000 表面粗糙度测量参数一览（符合ISO25178）
微细粗糙度
使用接触式表面粗糙度测量仪，无法测量比触针的针尖直径更细微的凹凸。而激光显微镜有着微小的激光焦斑直径，所以能够对微细形状进行高分辨率的粗糙度测量。
接触式表面粗糙度测量仪
激光显微镜
非接触
使用接触式表面粗糙度测量仪测量柔软的样品时，样品容易受到触针损伤而变形。另外，带有粘性的样品会粘在触针上，无法得到正确的测量结果。而非接触式的激光显微镜，不会被样品的表面状态所影响，可以准确的测量样品的表面粗糙度。
柔软的样品
带有粘性的样品
细微处也可以测量
使用接触式表面粗糙度测量仪，其触针无法进入微小领域，所以不能对微小领域进行测量。而激光显微镜可以正确定位，能轻松测量出特定微小领域的粗糙度。
焊线