Přehled

Laserový konfokální mikroskop OLS5000 přesně měří tvar a drsnost povrchu na submikronové úrovni.Pořizování dat je oproti našemu předchozímu modelu čtyřikrát rychlejší a přináší výrazné zvýšení produktivity.

	1.Přesné zobrazování Zachyťte tvar jakéhokoli povrchu.
	2.Rychlé Získejte spolehlivá data čtyřikrát rychleji, než tomu bylo v případě našeho předchozího modelu.
	3.Snadná obsluha Stačí umístit vzorek a stisknout tlačítko Start.
	4.Delší pracovní vzdálenost pro větší vzorky Měřte vzorky až do výšky 210 mm.

Přesné zobrazování

Přesné zobrazování ve vysokém rozlišení

Díky schopnosti provádět přesná 3D měření na široké škále typů vzorků poskytuje systém spolehlivá data za účelem zajištění kvality a řízení procesů.

Vynikající laterální rozlišení

Fialový laser s vlnovou délkou 405 nm a dedikované objektivy s vysokou NA umožňují zachytit jemné vzory a defekty, které konvenční optické mikroskopy, světelné interferometry ani mikroskopy na bázi červeného laseru nedokážou detekovat.

Červený typ (658 nm:0,26 μm čára a prostor)

Fialový typ (405 nm:0,12 μm čára a prostor)

Jednotné hodnoty měření

Dedikované objektivy LEXT dokážou přesně měřit periferní oblasti, které by jinak byly zkresleny.

Jednotné hodnoty měření

Konvenční objektivy

Objektivy LEXT

Nově vyvinutý skener MEMS

Nový skener MEMS provádí přesné skenování X–Y s nízkým zkreslením skenovací plochy a minimálními optickými odchylkami.

Technologie skenování 4K

Technologie skenování 4K skenuje ve směru osy X 4096 pixelů, tj. čtyřikrát více než náš předchozí model.
Mikroskop OLS5000 dokáže detekovat sklony, které jsou téměř vertikální, i velmi nízké kroky, a to bez korekce obrazu.

Zachycení skutečného tvaru

Protože konvenční laserové mikroskopy používají standardní techniky zpracování obrazu, např. vyhlazování, aby eliminovaly šum, někdy se pak spolu s šumem vytratí i přesně změřené jemné výškové nepravidelnosti.
Mikroskop OLS5000 využívá algoritmus Smart Judge od společnosti Olympus, který automaticky detekuje pouze spolehlivá data a umožňuje přesné měření bez ztráty údajů o jemné výškové nepravidelnosti.

Další technologie měření s vysokým rozlišením

Algoritmus PEAK
Duální konfokální systém
Záruka šumu Sq (šum měření)
Přesnost a opakovatelnost jsou zaručeny
Hybridní porovnávací algoritmus
Hybridní tlumicí mechanismus
HDR skenování

Informace na této stránce, včetně záruky přesnosti, vycházejí z podmínek stanovených společností Olympus.

Rychlost

Získejte odpovědi rychle:vysokorychlostní skenování

Algoritmus skenování mikroskopu poskytuje vylepšenou kvalitu dat a vyšší rychlost, což zkracuje dobu skenování, zefektivňuje pracovní postup a vede k vyšší produktivitě.

Algoritmus PEAK

Výška vzorku standardní VLSI 80 nm (MPLFLN10XLEXT)

Mikroskop OLS5000 obsahuje algoritmus PEAK pro konstrukci dat 3D.Tento algoritmus poskytuje vysoce přesná data od malých zvětšení po velká a zkracuje dobu pořizování dat.

Přeskočení skenování

Při měření tvaru stupňů na vzorku obsahujícím téměř svislé roviny, jako je například elektronická součástka nebo MEMS, lze dobu pořizování dat zkrátit omezením rozsahu skenování ve směru Z.
700μm krok lze změřit za přibližně 15 sekund, aniž by došlo ke snížení přesnosti (při použití objektivu MPLAPON20x).

Další technologie zvyšující rychlost

Pásmové skenování
Jednosměrný sběr dat

Informace na této stránce, včetně záruky přesnosti, vycházejí z podmínek stanovených společností Olympus.

Jednoduchost

Efektivní práce:jednoduché provozní postupy

Systém obsahuje automatický sběr dat, takže obtížné úpravy nastavení již nejsou zapotřebí.Přesné výsledky tak mohou obdržet i uživatelé s minimálním zaškolením.

Zjednodušení oblasti měření

Funkce jednoduché analýzy měří krok, šířku čáry, drsnost povrchu, plochu a objem pouze v určených oblastech měření.Příčiny odchylek ve výsledcích měření, jako je poloha okraje a práh referenčních rovin při objemové analýze, jsou automaticky detekovány tak, aby výsledky měření byly stabilní a nebyly ovlivněny úrovní dovedností obsluhy.

Výška

Měření rozdílu výšky kroku a vzdálenosti mezi dvěma stanovenými oblastmi.

Úhel

Měření rozdílu v úhlu mezi dvěma stanovenými oblastmi.

Objem

Měření plochy/objemu ve stanovené oblasti;referenční roviny jsou detekovány automaticky, takže není nutné žádné nastavování prahu.

Drsnost

Měření drsnosti povrchu ve stanovené oblasti.

Šířka

Měření šířky automatickým detekováním hran ve stanovené oblasti.

Koule

Měření R a výšky z referenční roviny na základě automatického rozpoznání kruhového tvaru ve stanovené oblasti.

Automatická korekce obrazu

Technologie Smart Judge automaticky eliminuje šum měření, aniž by byla ohrožena přesnost dat, zatímco Smart Leveling detekuje hlavní horizontální rovinu (referenční rovinu) v poloze nulové výšky.Aktivujte obě možnosti jediným kliknutím.

Ušetřete čas pomocí šablon

Všechny operace a postupy obsažené ve zprávě lze uložit jako šablonu.
Použití této šablony při opakování stejných měření umožňuje získat analytickou zprávu o další sadě dat, která používá stejné postupy.
Schopnost specifikovat operace zpracování a měřicí body bez zásahu operátora umožňuje rychlou a přesnou analýzu s minimální odchylkou.

Ušetřete čas pomocí šablon 1

Ušetřete čas pomocí šablon 2

Ušetřete čas pomocí šablon 3

Ušetřete čas pomocí šablon 4

Proveďte kontrolu a měření.

Vytvořte report a uložte šablonu.

Během příštího pořizování otevřete uloženou šablonu.

Okamžitě vytvořte report na základě dané šablony.

Další technologie, které usnadňují používání systému

Makro mapování v reálném čase
Nepřetržité automatické ostření
Inteligentní skenování II
Funkce makro

Informace na této stránce, včetně záruky přesnosti, vycházejí z podmínek stanovených společností Olympus.

Velký vzorek

Flexibilita:pojme větší vzorky

Kompatibilní se vzorky do výšky 210 mm

Prodlužovací rám pro mikroskop OLS5000 pojme vzorky s výškou až 210 mm, zatímco objektiv s extrémně dlouhou pracovní vzdáleností umožňuje měření výdutí až do hloubky 25 mm.
V obou případech stačí umístit vzorek na stolek.

Spojovací tyč

Nástroj

Hlava pístu

Účelové objektivy LEXT s dlouhou pracovní vzdáleností

Společnost Olympus nabízí řadu objektivů 10x až 100x, které jsou schopny redukovat odchylky v měřítku 405 nm.V této řadě jsou také k dispozici objektivy s malým zvětšením a dlouhou pracovní vzdáleností.Měřicí výkon všech dedikovaných objektivů LEXT je zaručen, takže si můžete vybrat ten objektiv, který se nejlépe hodí k pozorovanému vzorku.

Vzorek standardní drsnosti 528 od společnosti Rubert & Co.,Ltd.(Pt = 1,5 μm)

Univerzální objektiv (50x)

Dedikovaný objektiv LEXT (50x)

Objektivy s extrémně dlouhou pracovní vzdáleností

Naše řada dedikovaných objektivů LEXT zahrnuje objektiv 10x a objektivy s velkou pracovní vzdáleností, což zvyšuje měřicí výkon mikroskopu.

Informace na této stránce, včetně záruky přesnosti, vycházejí z podmínek stanovených společností Olympus.

Aplikace

Automobilový průmysl / zpracovávání kovů
Materiály
Elektronické součásti
Ostatní

Automobilový průmysl / zpracovávání kovů

Vnitřní textura / měření drsnosti plochy (MPLAPON20XLEXT / 3 × 3 spojované)

Tryska vstřikovače paliva (replika) / měření drsnosti plochy (LMPLFLN50XLEXT)

Pístní kroužek / měření drsnosti plochy (MPLAPON50XLEXT)

Ložisková kulička / měření profilu (MPLAPO50XLEXT)

Materiály

Koroze na nerezové oceli / měření výšky (MPLAPON20XLEXT / 3 × 3 spojované)

Měděná deska / měření drsnosti plochy (MPLAPON50XLEXT)

Difuzní deska / měření profilu (MPLAPON50XLEXT / 3 × 3 spojované)

Houba / měření profilu (MPLAPON20XLEXT / 3 × 3 spojované)

Elektronické součásti

Ni bump / měření výšky (MPLAPON20XLEXT)

Ultrazvukový převodník MEMS (MPLAPON50XLEXT)

Fotorezist / měření výšky (MPLAPON100XLEXT)

Bondovací drát (MPLAPON100XLEXT)

Ostatní

Mikrojehla / měření profilu (MPLAPON50XLEXT / 6 × 6 spojované)

Kůže (replika) / měření drsnosti povrchu (MPLAPON20XLEXT / 5 × 5 spojované)
S laskavým svolením Laboratoře funkčního designu, Fakulta módy, Bunka Gakuen University

Brusný kámen / měření profilu (MPLAPON20XLEXT)

Sedlo kuličkového pera / měření drsnosti povrchu (LMPLFLN20XLEXT)

Specifikace

Hlavní jednotka

Model		OLS5000-SAF	OLS5000-SMF	OLS5000-LAF	OLS5000-EAF	OLS5000-EMF
Celkové zvětšení		54× až 17 280×
Zorné pole		16 μm až 5120 μm
Princip měření	Optický systém	Reflexní konfokální laserový skenovací laserový mikroskop Reflexní konfokální laserový skenovací laserový DIC mikroskop Barva Barva – DIC
Princip měření	Světlo přijímající prvek	Laser:Fotonásobič (2ch) Barva:Barevná kamera CMOS
Měření výšky	Rozlišení displeje	0.5nm
Měření výšky	Dynamický rozsah	16 bitů
Měření výšky	Opakovatelnost σ_{n – 1}^{1 2 *5}	5x：0,45 μm, 10x：0,1 μm, 20x : 0,03 μm, 50x : 0,012 μm, 100x : 0,012 μm
Měření výšky	Přesnost ^{1 3 *5}	0,15 + L / 100 μm (L: měřená délka [μm])
Měření výšky	Přesnost u spojeného snímku ^{1 3 *5}	10x：5,0 + L / 100 μm, 20x nebo vyšší : 1,0 + L / 100 μm (L:délka spoje [μm])
Měření výšky	Šum měření (šum Sq) ^{1 4 *5}	1 nm
Měření šířky	Rozlišení displeje	1 nm
Měření šířky	Opakovatelnost 3σ_{n – 1} ^{1 2 *5}	5x :0,4 μm, 10x :0,2 μm, 20x :0,05 μm, 50x :0,04 μm, 100x :0,02 μm
Měření šířky	Přesnost ^{1 3 *5}	Hodnota měření ± 1,5 %
Měření šířky	Přesnost u spojeného snímku ^{1 3 *5}	10x :24 + 0,5L μm, 20x :15 + 0,5L μm, 50x :9 + 0,5L μm, 100x :7 + 0,5L μm (L:délka spojování [mm])
Maximální počet měřicích bodů v jednom měření		4096 × 4096 pixelů
Maximální počet měřicích bodů		36 Mpx
Konfigurace stolku XY	Modul měření délky	•	NA	NA	•	NA
Konfigurace stolku XY	Operační rozsah	100 × 100 mm motorizovaný	100 × 100 mm manuální	300 × 300 mm motorizovaný	100 × 100 mm motorizovaný	100 × 100 mm manuální
Maximální výška vzorku		100 mm	30 mm	37 mm	210 mm	140 mm
Zdroj světla laseru	Vlnová délka	405 nm
Zdroj světla laseru	Maximální výkon	0,95 mW
Zdroj světla laseru	Třída laseru	Třída 2 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014)
Barevný světelný zdroj		Bílá LED
Elektrické napájení		240 W	240 W	278 W	240 W	240 W
Hmotnost	Tělo mikroskopu	Cca31 kg	Cca32 kg	Cca50 kg	Cca43 kg	Cca44 kg
Hmotnost	Řídící jednotka	Cca12 kg

*1 Zaručeno při použití při konstantní teplotě a v prostředí konstantní teploty (teplota:20 ˚C ±1 ˚C, vlhkost:50 % ±1 %) specifikováno v normě ISO 554:1976, JIS Z-8703:1983.
*2 Pro 20x nebo vyšší, pokud se měří objektivy řady MPLAPON LEXT.
*3 Při měření účelovým objektivem LEXT.
*4 Typická hodnota při měření objektivem MPLAPON100XLEXT. Může se lišit od garantované hodnoty.
*5 Garantováno v rámci certifikačního systému Olympus.

** Licence OS Windows 10 byla certifikována pro řídící jednotku (PC) poskytovaný společností Olympus.Proto jsou použity podmínky společnosti Microsoft a vy udělujete souhlas s těmito podmínkami. Licenční podmínky společnosti Microsoft naleznete dále.
https://www.microsoft.com/en-us/Useterms/Retail/Windows/10/UseTerms_Retail_Windows_10_japanese.htm

Specifikace objektivu

Řada	Model	Numerická apertura (NA)	Pracovní vzdálenost (WD) (mm)
Objektiv UIS2	MPLFLN2.5x	0,08	10,7
Objektiv UIS2	MPLFLN5x	0,15	20
Účelový objektiv LEXT (10x)	MPLFLN10xLEXT	0,3	10,4
Dedikovaný objektiv LEXT (vysoce výkonný typ)	MPLAPON20xLEXT	0,6	1
	MPLAPON50xLEXT	0,95	0,35
	MPLAPON100xLEXT	0,95	0,35
Dedikovaný objektiv LEXT (typ pro velké pracovní vzdálenosti)	LMPLFLN20xLEXT	0,45	6,5
	LMPLFLN50xLEXT	0,6	5
	LMPLFLN100xLEXT	0,8	3,4
Objektiv pro ultra velké pracovní vzdálenosti	SLMPLN20x	0,25	25
	SLMPLN50x	0,35	18
	SLMPLN100x	0,6	7,6
Velká pracovní vzdálenost pro objektiv LCD	LCPLFLN20xLCD	0,45	8.3-7.4
	LCPLFLN50xLCD	0,7	3.0-2.2
	LCPLFLN100xLCD	0,85	1.2-0.9

Software aplikace

Standardní software	OLS50-BSW	Aplikace pro pořizování dat
Standardní software	OLS50-BSW	Aplikace pro analýzu (základní analýza)
Balíková aplikace pro motorizovaný stolek*1	OLS50-S-MSP
Aplikace pro pokročilou analýzu*2	OLS50-S-AA
Aplikace pro měření tloušťky filmu	OLS50-S-FT
Aplikace pro automatické měření hran	OLS50-S-ED
Aplikace pro částicovou analýzu	OLS50-S-PA
Aplikace pro analýzu více dat	OLS50-S-MA
Aplikace pro analýzu zakřivení povrchu koule/válce	OLS50-S-SA

*1 Včetně funkcí sběru dat automatického spojování a více oblastí.
*2 Včetně analýzy profilu, analýzy rozdílů, analýzy krokové výšky, analýzy povrchu, analýzy plochy a objemu, analýzy drsnosti čar, analýzy drsnosti plochy a analýzy histogramu.