Главная/ Оборудование снятое с производства/ OLS5000

Loading...

Краткий обзор

Конфокальный лазерный микроскоп OLS5000 точно измеряет форму и шероховатость поверхности на субмикронном уровне. Скорость получения данных, увеличенная в четыре раза по сравнению с предыдущей моделью, обеспечивает более высокую производительность.

	1. Точная обработка изображений Измерение формы любой поверхности.
	2. Скорость Получение данных в четыре раза быстрее по сравнению с предыдущей моделью.
	3. Простота эксплуатации Просто разместите образец и нажмите кнопку пуска.
	4. Длинное рабочее расстояние для крупных образцов Измерение образцов высотой до 210 мм.

Точность

Высокое разрешение, точная обработка изображений

Обладая способностью проведения высокоточных трехмерных измерений широкого ряда типов образцов, система гарантирует получение достоверных данных для процедур контроля качества и технологического контроля.

Превосходное латеральное разрешение

Фиолетовый лазер с длиной волны 405 нм и специальные светосильные объективы позволяют рассмотреть сложные рельефы и обнаружить мелкие дефекты, невидимые для обычных оптических микроскопов, интерферометров белого цвета и микроскопов, использующих красный лазер.

Красный (658 нм: 0,26 мкм, плоские и объемные образцы)

Фиолетовый (405 нм: 0,12 мкм плоские и объемные образцы)

Стабильные значения измерений

Специальные объективы LEXT способны с высокой точностью выполнять измерения на периферийных зонах, которые зачастую искажаются.

Стабильные значения измерений

Обычные объективы

Объективы LEXT

Новый технологичный МЭМС-сканер

Новый МЭМС-сканер позволяет выполнять высокоточное двухплоскостное (X-Y) сканирование с низким уровнем искажений развертки и минимальными оптическими аберрациями.

Технология сканирования 4K

Технология сканирования 4K поддерживает разрешающую способность 4 096 пикселей — в 4 раза больше, чем в предыдущей модели — по оси X.
Микроскоп OLS5000 может выявлять почти вертикальные уклоны, а также мельчайшие возвышения без необходимости коррекции изображения.

Измерение истинной формы

Поскольку традиционные лазерные микроскопы используют стандартные методы обработки изображения (например, сглаживание для устранения шума), иногда вместе с шумом могут быть удалены точно измеренные незначительные перепады высоты.
Микроскоп OLS5000 использует алгоритм Smart Judge Olympus для автоматического выявления только достоверных данных, обеспечивая таким образом точность измерений без потери данных о перепадах высоты.

Другие технологии измерений в высоком разрешении

Пиковый алгоритм
Двойная конфокальная система
Гарантия измерения уровня шума Sq
Точность и повторяемость результатов измерений
Гибридный алгоритм сравнения с образцом
Гибридный механизм гашения вибраций
HDR-сканирование

Информация на этой странице, включая заявление о гарантии точности, основана на условиях проверки качества, заданных Olympus.

Скорость

Мгновенные результаты: высокоскоростное сканирование

Алгоритм сканирования, заложенный в микроскопе, обеспечивает более высокую точность данных и производительность для снижения времени сканирования, упрощения рабочего процесса и повышения эффективности работы.

Пиковый алгоритм

Стандартный образец высотой 80 нм VLSI (MPLFLN10XLEXT)

Микроскоп OLS5000 имеет встроенный пиковый алгоритм сканирования для построения 3D-изображений. Данный алгоритм позволяет получить высокоточные данные при большом и малом увеличении и значительно сокращает время сбора данных.

Пропуск сканирования

При измерении формы выступов на образце, содержащем почти вертикальные плоскости (например, электронный компонент или МЭМС), можно сократить время сбора данных, пропустив ненужный диапазон сканирования в направлении оси Z.
Выступ 700 мкм может быть измерен приблизительно за 15 секунд без ущерба для точности (при использовании объектива MPLAPON20x).

Другие технологии повышения скорости сканирования

Полосовое сканирование
Построчный сбор данных

Простота

Эффективность работы: простые рабочие операции

Система оснащена функцией автоматического сбора данных, поэтому нет необходимости в настройке параметров. Даже неопытные пользователи смогут получить точные данные.

Беспрепятственное измерение заданной области

Простая функция анализа позволяет измерить высоту выступа, ширину линии, шероховатость поверхности, площадь и объем только в обозначенных зонах измерения. Причины вариативности в результатах измерений, такие как, выделение краев (границ) изображения и уровень опорных плоскостей в объемном анализе, автоматически детектируются для обеспечения стабильных результатов, не зависящих от уровня подготовки оператора.

Высота

Измерение разницы высот и расстояния между двумя конкретными зонами.

Угол

Измерение разницы углов между двумя конкретными зонами.

Объем

Измерение площади/объема конкретной зоны; опорные плоскости определяются автоматически, поэтому нет необходимости задавать пороговые значения.

Шероховатость

Измерение шероховатости поверхности в конкретной зоне.

Ширина

Измерение ширины путем автоматического определения границ конкретной зоны.

Сфера

Измерение радиуса и высоты от опорной плоскости на базе автоматического распознавания круглой формы в конкретной зоне.

Автоматическая коррекция изображения

Функция Smart Judge автоматически устраняет помехи измерений, сохраняя при этом точность данных, а функция Smart Leveling определяет основную горизонтальную плоскость (опорную плоскость) в положении нулевой высоты. Обе функции активируются одним нажатием.

Экономия времени благодаря шаблонам

Все операции и процедуры, включенные в отчет, можно сохранить в качестве шаблона.
Использование данного шаблона при выполнении повторяющихся измерений позволяет получить аналитический отчет по следующему набору данных, использующихся для аналогичных процедур.
Способность точного обозначения процедур обработки и точек измерения, без вмешательства оператора, обеспечивает быстрый и достоверный анализ с минимальными вариациями.

Экономия времени благодаря шаблонам 1

Экономия времени благодаря шаблонам 2

Экономия времени благодаря шаблонам 3

Экономия времени благодаря шаблонам 4

Выполнение контроля/измерений.

Формирование отчета и сохранение шаблона.

При следующем сборе данных откройте сохраненный шаблон.

Мгновенный вывод отчета на базе шаблона.

Другие технологии, обеспечивающие простоту эксплуатации системы

Создание макрокарты в режиме реального времени
Непрерывный автофокус
Интеллектуальное сканирование Smart Scan II
Макрос-функция

Большие образцы

Адаптивность: возможность работы с крупными образцами

Совместимость с образцами высотой до 210 мм

Удлиняемая рама микроскопа OLS5000 позволяет разместить образцы высотой до 210 мм, а объектив со сверхдлинным фокусным расстоянием упрощает измерение вогнутых поверхностей глубиной до 25 мм.
В обоих случаях, все что от вас требуется – это поместить образец на предметный столик.

Соединительный стержень

Инструмент

Поршневая головка

Специальные объективы LEXT с длинным фокусным расстоянием

Компания Olympus предлагает ряд объективов с увеличением от 10x до 100x, способных сократить аберрации в диапазоне длины волны 405 нм. Объективы с длинным фокусным расстоянием и малой светосилой также доступны в данной серии. Все специализированные объективы LEXT гарантируют оптимальную производительность измерений, поэтому вы можете смело выбрать наиболее подходящий для вас объектив.

Стандартный образец шероховатости 528, предоставленный Rubert & Co., Ltd. (Pt = 1,5 мкм)

Универсальная линза (50x)

Специальная линза LEXT (50x)

Объективы со сверхдлинным фокусным расстоянием

В линейку специальных объективов LEXT входят объективы с коэффициентом увеличения 10х и объективы с длинным фокусным расстоянием, оптимизирующие производительность измерений, выполняемых микроскопом.

Приложения

Автомобильная/металлообрабатывающая промышленность
Материаловедение
Электронные компоненты
Другое

Автомобильная/металлообрабатывающая промышленность

Измерение внутренней текстуры/шероховатости поверхности (MPLAPON20XLEXT / 3 x 3, сшитое)

Топливная форсунка (реплика)/измерение шероховатости поверхности (LMPLFLN50XLEXT)

Поршневое кольцо/измерение шероховатости поверхности (MPLAPON50XLEXT)

Шарик подшипника/измерение профиля (MPLAPO50XLEXT)

Материаловедение

Коррозия на нержавеющей стали/измерение высоты (MPLAPON20XLEXT / 3 x 3, сшитое)

Медная пластина/измерение шероховатости поверхности (MPLAPON50XLEXT)

Диффузионная пластина/измерение профиля (MPLAPON50XLEXT / 3 x 3, сшитое)

Губка/измерение профиля (MPLAPON20XLEXT / 3 x 3, сшитое)

Электронные компоненты

Никелевый контактный вывод/измерение высоты (MPLAPON20XLEXT)

Ультразвуковой МЭМС-преобразователь (MPLAPON50XLEXT)

Фоторезист/измерение высоты (MPLAPON100XLEXT)

Проволочный вывод (MPLAPON100XLEXT)

Другое

Микроигла/измерение профиля (MPLAPON50XLEXT / 6 x 6, сшитое)

Кожа (реплика)/измерение шероховатости поверхности (MPLAPON20XLEXT / 5 x 5, сшитое)
Изображения предоставлены лабораторией функционального проектирования факультета научного моделирования Университет Бунка Гакуэн

Точильный камень/измерение профиля (MPLAPON20XLEXT)

Место крепления шарика шариковой ручки/измерение шероховатости поверхности (LMPLFLN20XLEXT)

Характеристики

Главный модуль

Модель		OLS5000-SAF	OLS5000-SMF	OLS5000-LAF	OLS5000-EAF	OLS5000-EMF
Общий коэффициент увеличения		54x - 17280x
Поле обзора		16 мкм - 5120 мкм
Принцип измерения	Оптическая система	Отражательный конфокальный лазерный сканирующий микроскоп Отражательный конфокальный лазерный сканирующий ДИК-микроскоп Цвет Цвет-ДИК
Принцип измерения	Фотодетектор	Лазер: Фотоумножитель (2-канальный) Цвет: Цветная камера с КМОП-матрицей
Измерение высоты	Разрешение экрана	0,5 нм
Измерение высоты	Динамический диапазон	16 бит
Измерение высоты	Воспроизводимость σ_n-1^{1 2 *5}	5X：0,45 мкм, 10X：0,1 мкм, 20X : 0,03 мкм, 50X : 0,012 мкм, 100X : 0,012 мкм
Измерение высоты	Погрешность ^{1 3 *5}	0,15+L/100 мкм (L: измеряемая длина [мкм])
Измерение высоты	Погрешность для сшитого изображения ^{1 3 *5}	10X：5,0+L/100 мкм, 20X или больше : 1,0+L/100 мкм (L: длина сшивки [мкм])
Измерение высоты	Помехи при измерении (Sq) ^{1 4 *5}	1 нм
Измерение ширины	Разрешение экрана	1 нм
Измерение ширины	Воспроизводимость 3σ_n-1 ^{1 2 *5}	5X : 0,4 мкм, 10X : 0,2 мкм, 20x : 0,05 мкм, 50X : 0,04 мкм, 100X : 0,02 мкм
Измерение ширины	Погрешность ^{1 3 *5}	Значение измерения +/- 1,5 %
Измерение ширины	Погрешность для сшитого изображения ^{1 3 *5}	10X : 24+0,5L мкм, 20X : 15+0,5L мкм, 50X : 9+0,5L мкм, 100X : 7+0,5L мкм (L: длина сшивки [мм])
Максимальное количество точек измерения в одном измерении		4096 x 4096 пикселей
Максимальное количество точек измерения		36 мегапикселей
Конфигурация с двухосевым предметным столиком	Модуль измерения длины	•	Н/П	Н/П	•	Н/П
Конфигурация с двухосевым предметным столиком	Рабочий диапазон	100 x 100 мм (с электроприводом)	100 x 100 мм (механический)	300 x 300 мм (с электроприводом)	100 x 100 мм (с электроприводом)	100 x 100 мм (механический)
Максимальная высота образца		100 мм	30 мм	37 мм	210 мм	140 мм
Источник лазерного излучения	Длина волны	405 нм
Источник лазерного излучения	Максимальная выходная мощность	0,95 мВт
Источник лазерного излучения	Класс лазера	Класс 2 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014)
Источник цветного света		Белый светодиод
Электропитание		240 Вт	240 Вт	278 Вт	240 Вт	240 Вт
Масса	Корпус микроскопа	Прибл. 31 кг	Прибл. 32 кг	Прибл. 50 кг	Прибл. 43 кг	Прибл. 44 кг
Масса	Блок управления	Прибл. 12 кг

*1 Гарантируется при эксплуатации в условиях постоянной температуры окружающей среды( температура: 20˚C±1˚C, влажность: 50%±1%), как указано в ISO554(1976), JIS Z-8703(1983).
*2 Значение 20х или больше достигается при выполнении измерения с объективами серии MPLAPON LEXT.
*3 При выполнении измерения со специализированным объективом LEXT.
*4 Стандартное значение при выполнении измерения с объективом MPLAPON100XLEXT, может отличаться от гарантируемого значения.
*5 Гарантировано системой сертификации Olympus.

** Лицензия на ОС Windows 10 была выдана для блока управления микроскопа (ПК), поставляемого Olympus. В связи с чем применяются условия лицензионного соглашения Microsoft, с которыми вы автоматически соглашаетесь. Условия лицензионного соглашения Microsoft см. далее.
https://www.microsoft.com/en-us/Useterms/Retail/Windows/10/UseTerms_Retail_Windows_10_japanese.htm

Технические характеристики объективов

Серия	Модель	Числовая апертура (ЧА)	Фокусное расстояние (РД) (мм)
Линза объектива UIS2	MPLFLN2.5x	0,08	10,7
Линза объектива UIS2	MPLFLN5x	0,15	20
Специальный объектив LEXT (10х)	MPLFLN10xLEXT	0,3	10,4
Специальный объектив LEXT (высокопроизводительный)	MPLAPON20xLEXT	0,6	1
	MPLAPON50xLEXT	0,95	0,35
	MPLAPON100xLEXT	0,95	0,35
Специальный объектив LEXT (с длинным фокусным расстоянием)	LMPLFLN20xLEXT	0,45	6,5
	LMPLFLN50xLEXT	0,6	5
	LMPLFLN100xLEXT	0,8	3,4
Объектив со сверхдлинным фокусным расстоянием	SLMPLN20x	0,25	25
	SLMPLN50x	0,35	18
	SLMPLN100x	0,6	7,6
Длиннофокусный объектив с ЖК-линзой	LCPLFLN20xLCD	0,45	8.3-7.4
	LCPLFLN50xLCD	0,7	3.0-2.2
	LCPLFLN100xLCD	0,85	1.2-0.9

Прикладное ПО

Стандартное ПО	OLS50-BSW	Приложение для сбора данных
Стандартное ПО	OLS50-BSW	Приложение для анализа (простой анализ)
Пакет приложений для предметного столика с электроприводом*1	OLS50-S-MSP
Приложение для расширенного анализа*2	OLS50-S-AA
Приложение для измерения толщины пленки	OLS50-S-FT
Приложение для автоматического измерения контуров изображения	OLS50-S-ED
Приложение для анализа частиц	OLS50-S-PA
Приложение для мультианализа данных	OLS50-S-MA
Приложение для анализа угла скоса поверхности сферы/цилиндра	OLS50-S-SA

*1 Включает функции сбора данных с автоматическим сшиванием и сбора данных из нескольких зон.
*2 Включает анализ профиля, анализ различий, анализ высоты ступени, анализ поверхности, анализ площади/объема, анализ шероховатости линии, анализ шероховатости поверхности и анализ гистограммы.