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时事报道
2017年 6月 27日

Repérer des défauts difficiles à voir sur des wafers de semi-conducteur ou des écrans plats avec les microscopes personnalisables et performants MX63/MX63L

Il peut être difficile d'inspecter des échantillons de grande taille, tels que des semi-conducteurs, des cartes de circuits imprimés et des écrans plats. Mais les nouveaux microscopes Olympus MX63 et MX63L proposent des fonctionnalités, une flexibilité et une facilité d’utilisation qui simplifient l’observation des échantillons industriels de grande taille. Grâce aux microscopes conçus pour réaliser des inspections de précision d'équipements électroniques, les utilisateurs peuvent choisir le microscope MX63 pour les wafers pouvant atteindre 200 mm ou le microscope MX63L pour les wafers pouvant atteindre 300 mm.

La conception modulaire des microscopes permet aux inspecteurs de choisir les composants dont ils ont besoin pour leur application. Les deux microscopes, conçus pour les salles blanches, sont conformes aux normes et spécifications SEMI S2/S8, CE et UL. Tous les composants motorisés sont placés dans une structure blindée et le statif, les têtes, l'écran anti-respiration et autres pièces sont soumis à un traitement antistatique.

De nouvelles fonctionnalités rendent le travail des inspecteurs plus efficace. Un illuminateur à LED blanche durable assure une température constante des couleurs afin d'obtenir une qualité d'image fiable et une reproduction précise des couleurs. Grâce à leurs capacités d'observation encore améliorées, les microscopes MX63 et MX63L sont les premiers de la série à pouvoir prendre en charge l'illumination MIX d'Olympus. MIX associe le fond noir à un autre procédé d'observation, tel que le fond clair, la fluorescence ou la polarisation. Dans de nombreuses applications, MIX peut aider les utilisateurs à visualiser des défauts qui sont difficiles à voir avec des microscopes conventionnels. Le réglage sur fond noir dispose également de son propre éclairage dédié avec un choix de quatre configurations d'éclairage pouvant être tournées pour mieux mettre en évidence l'objet observé. Afin d'inspecter des échantillons à faible contraste, une nouvelle fonction d'aide à la mise au point protège les échantillons de tout contact avec la lentille d'objectif.

Les microscopes ergonomiques disposent de commandes conviviales pour effectuer rapidement les paramétrages. Les commandes permettant de changer l'objectif et de régler le diaphragme d’ouverture sont placées en bas et à l'avant du microscope, de sorte que les utilisateurs peuvent continuer leurs observations en gardant les mains sur le bouton de mise au point. La tourelle porte-objectifs motorisée tourne rapidement, diminuant le temps entre les inspections tout en permettant à l'opérateur de garder ses mains sous le wafer. Le résultat est une réduction du risque de contamination.

Grâce à leurs puissantes fonctionnalités d'observation et à leur simplicité d’utilisation, les microscopes MX63 et MX63L permettent d'inspecter rapidement et efficacement des échantillons de grande taille.  

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六月 27, 2017
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