短波長405nmのレーザー光と高N.A.の専用対物レンズの採用により、最大0.12μmの平面分解能を実現。サンプル表面のサブミクロンの測定が可能になります。さらに、高精度リニアスケールと、IZカーブを利用したCFOサーチ（23ページ参照）の採用により、10ナノメートル以下の高さの違いを検知することが可能です。

OLS4100は、コンフォーカル光学系を2系統搭載したデュアルコンフォーカルシステムを採用。高感度ディテクター（検出器）と組み合わせることで、極端に異なる反射率をもつサンプルでも、信頼性の高い測定ができます。

OLS4100に搭載したマルチレイヤー機能では、複数のレイヤー（層）の反射光量のピークを認識し、それぞれの層を焦点位置として採用することができるようになりました。 

マルチレイヤー機能を使えば、透明サンプルの最表面にある透明膜の観察や測定が可能になります。樹脂がコーティングされているようなサンプルでも、透明体の各層の粗さ測定、さらに面膜厚の測定も可能となります。

測定機器としての性能は二つの異なった用語で表現されます。それが「正確性」と「繰り返し性」です。「正確性」とは、真の値にどれだけ近づいているかを表し、「繰り返し性」とは、複数回の測定においてどれだけ変動が少ないかを表すものです。OLS4100は、レーザー顕微鏡で業界で初めて^＊この二つの性能を保証しました。

* レーザー顕微鏡において（2008年12月1日現在）。当社調べ。
LEXT専用対物レンズMPLANAPO100XLEXT,50XLEXT,２0XLEXTにおける性能保証です。

OLS4100では、すべての部品が厳格なシステムの基で製造されています。対物レンズから本体までを自社工場で一貫製造し、厳格な検査基準を経て出荷。納品時の校正と最終調整は、実際に使用される環境で専任の技術者が行います。

段差測定

断面プロファイル上の任意の２点間の段差を測定することができます。

表面粗さ測定

ワンラインの線粗さ測定、面全体の面粗さ測定が可能です。

面積/体積測定

断面プロファイル上で任意のしきい値を設定することにより、その上部または下部の体積を測定することができます。

粒子測定

セパレータ機能による粒子の自動分離、しきい値の設定、ROIによる検出範囲の設定が可能です。

幾何測定

画像上の任意の２点間の距離を測定することができます。また、任意のエリアによる面積測定も可能です。

膜厚測定 (オプション)

合焦位置を検出することにより、透明体の膜厚を測定することができます。

エッジ自動検出測定 (オプション)

画像内のエッジを自動で検出し、線幅・円の測定をすることができます。オペレーターによる測定誤差を軽減できます。

触針式表面粗さ測定機では、スタイラスの先端径より微細な凹凸を測定することはできません。レーザー顕微鏡は、レーザーのスポット径が微小なため、微細形状を高分解能に粗さ測定することができます。

非接触測定

触針式表面粗さ測定機では、柔らかいサンプルはスタイラスにより傷がつけられ形状が変わってしまいます。また、粘着性のあるサンプルではスタイラスに引っ張られ正確な測定結果が出ません。レーザー顕微鏡は非接触のため、表面状態に影響されず、正確な粗さ測定をすることができます。

高分子膜の3D画像

粗さ測定の結果

触針式表面粗さ測定機では、スタイラスを微小領域に下ろすことができず測定することができません。レーザー顕微鏡では位置を正確に特定し、狙った微小エリアの粗さ測定を簡単に行うことができます。

OLS4100は白色LEDを採用。色再現に優れた撮像素子と組み合わせることにより、クリアで自然な色合いのカラー画像を生成することができます。

微分干渉観察は、レーザー顕微鏡の分解能をさらに超えた、ナノメーターレベルの微小凹凸を可視化する観察方法です。このレーザーDICにより、OLS4100は、低倍率のライブ観察でも電子顕微鏡の分解能に迫る画像を得ることができます。

露出を変えつつ複数枚の画像を撮影し、これらを合成することで白飛びや黒つぶれの少ない幅広いダイナミックレンジの画像（ハイダイナミックレンジイメージ）を生成します。露出を変えた複数の画像の合成時には、表面形状の明るさ、コントラスト、テクスチャーと鮮やかさをそれぞれ最適に自動調整します。OLS4100では、コントラストが乏しいサンプルの微細形状も鮮明にライブ画像で観察することができます。

アルゴリズム

OLS4100は、外部からの影響を抑え測定およびイメージング環境を安定させるために、本体にコイルスプリングとダンピングラバーによる｢ハイブリッド除振機構｣を内蔵しています。このため、専用の除振台を用意することなく、測定が可能です。

OLS4100では、マクロマップ機能を搭載しているので「今どこにいるか」を画面上で示すことができます。電動レボルバを搭載しているので、低倍率時の広範囲サンプル画像を自動で表示します。
さらに、貼合わせ（ステッチング）機能を使用すれば従来に比べて最大441倍の広視野のマクロマップを作成することができるようになりました。

マクロマップの範囲指定を行うには、ライブ感覚で取り込みができるマニュアルと、自動的に取り込みを行うオートの2つのモードがあります。オートでの画像の取り込みはワンクリックで開始され、より広い範囲を瞬時に取り込むことができます。またオートの貼合わせのサイズは、5種類（3x3、5x5、7x7、9x9、21x21）から選択することができます。

OLS4100のバンドスキャン機能では、サンプルのスキャン範囲を限定することにより、従来の約1/8という高速な測定が可能です。

画面上のカーソルで取得不要の箇所を指定し、複雑な形状のサンプルを効率的に画像取得することができます。

スマートスキャンを使用することで、画像の取り込みがワンクリックで開始できます。スマートスキャンモードではZ方向の設定が自動的に行われるため、Z方向の取り込み範囲を限定することで、さらに大幅な時間短縮につながります。

観察・測定結果の素早いレポート作成も、レーザー顕微鏡の大切な役割です。OLS4100は、測定終了後にワンクリックでレポートの作成が可能。個々のテンプレートのカスタマイズが自由自在にできるなど、充実の編集機能も備えています。

簡単に測定を一括で行える、カスタマイズ可能なウィザード機能を搭載しています。マニュアルを読む手間やトレーニングの時間を費やすことなく、測定結果を出力できます。