オリンパス株式会社(社長：笹 宏行)
は、研究・開発や品質管理の場面で使用される工業用レーザー顕微鏡として、微細な電子デバイスや高機能素材などの表面形状を3次元（3D）で観察・測定する3D測定レーザー顕微鏡「LEXT
OLS4100」を6月3日より全世界で同時発売します。また、レーザー顕微鏡の機能に加え、より高倍率のナノ領域の観察・測定が可能なナノサーチ顕微鏡「LEXT
OLS4500」を6月3日より日本国内と中国、韓国、タイで発売します。
3D測定レーザー顕微鏡「LEXT
OLS4100」は、対象物をレーザーでスキャン（下図参照）することで、電子デバイスなどの複雑な表面形状を非接触にて3Dの測定ができます。当社従来機と同様に、“繰り返し性”※1と“正確さ”※2の両方を保証し、さらに広い領域での高解像観察と高精度測定が可能となりました。また、ワンクリックで自動的に3D画像を取得する機能や、画像取得速度が従来機に比べ約2倍になるなど、操作性能を向上させています。
また、ナノサーチ顕微鏡「LEXT OLS4500」は、レーザー顕微鏡と走査型プローブ顕微鏡（SPM : Scanning Probe
Microscope）※3を組み合わせた複合顕微鏡で、1台で数十倍～百万倍以上の広範囲な倍率で観察・測定することができます。なお、本製品は株式会社島津製作所と共同開発した製品です。
両製品は、2013年6月5日（水）から7日（金）に東京ビッグサイトで開催される「JPCA2013Show」で展示を行います。
※1 複数回の測定値のばらつきの小ささを示す、測定分野の専門用語。
※2 測定値がいかに真値に近いかを示す、測定分野の専門用語。
※3 微小なプローブ（探針）を対象のサンプル表面に近づけることで、ナノ領域の観察と測定を行うことができます。
- 主な特長
3D測定レーザー顕微鏡「LEXT OLS4100」／ナノサーチ顕微鏡「LEXT OLS4500」共通新機能
1. より広い領域で高解像観察と高精度測定が可能
2. 自動で3D画像を取り込む機能など、初心者でも扱える使いやすさを追求
3. 従来機の約2倍の速さで3D画像取得が可能
ナノサーチ顕微鏡「LEXT OLS4500」の特長
1台で光学顕微鏡、レーザー顕微鏡、SPMの機能が使用可能
- 発売の背景
近年、携帯情報端末や産業機器が小型化・高性能化されるに伴い、機器に内蔵される電子デバイスやセンサーも小型化・高性能化が必要条件となっています。これに伴い、部品も厳密な品質管理が必要となり、表面形状や段差、表面粗さを測定できる、信頼性の高い三次元形状測定機が求められています。
また、微細表面形状の数値管理が求められる分野は自動車や高機能素材など、ますます広がりを見せています。このため、観察対象の形状も複雑な形状をもつサンプルや粘着性のあるサンプルなどに多様化し、特に研究開発から、より生産に近い場面で使用できる測定機への期待が高まっています。
オリンパスの3D測定レーザー顕微鏡LEXTシリーズは、数百ミクロンからサブミクロン領域の3次元表面形状を観察・測定できる顕微鏡として、産業および学術研究の分野にて広く使用されてきましたが、より高精度でより広範囲な測定・観察の要望に応えるため、後継2機種を発売します。
- 主な特長
3D測定レーザー顕微鏡「LEXT OLS4100」／ナノサーチ顕微鏡「LEXT OLS4500」共通の新機能
1. より広い領域で高解像観察と高精度測定が可能
通常、広い領域を観るためには低倍率観察をしますが、画像の鮮明さには限界があります。今回発売する新製品では、微細な部分を高解像で確認できるよう、高倍率で観察した画像を、最大625枚貼り合わせるステッチング機能により、広い領域での高解像観察・高精度測定を可能にしています。今までレーザー顕微鏡は、研究開発部門などで微小な対象物を観察することに使用されることが多かったのですが、広い領域を高精度に確認できるので、工場などにおいて品質管理ツールとしての活躍も期待できます。
2. 自動で3D画像を取り込む機能など、初心者でも扱える使いやすさを追求
従来、3D画像を取り込む際は、複雑な設定（明るさ、上限・下限位置）が必要でしたが、今回新たに搭載されたスマートスキャン機能により、ワンクリックで簡単に3D画像の取り込みができます。初心者でも熟練者と同じ結果を得られる使いやすさを追求しました。
3. 従来機の約2倍の速さで3D画像取得が可能
新しく搭載された超高速モードを用いることで、従来の高速モードの約2倍、高精細モードの約9倍の速さで3D画像の取得が可能です。スピーディな形状観察・測定が可能となり、検査効率の向上が期待できます。
ナノサーチ顕微鏡「LEXT OLS4500」の特長
1台で光学顕微鏡、レーザー顕微鏡、SPM※4の機能が使用可能
「LEXT
OLS4100」の機能にSPM技術を組み合わせ、倍率で数十倍から百万倍の幅広い観察・測定が可能です。ミリ単位の比較的大きなものから、ナノレベル※5の超微小なものまで、多様なサンプルの3D測定ができます。
また、光学顕微鏡またはレーザー顕微鏡で見つけた観察対象を見失うことなく、素早く正確に百万倍の超高倍率のSPMで観察ができます。例えば、研究機関で新素材の形状測定を行う際、サンプルを載せかえることなく多様な観察と、最適な倍率での測定が可能です。
※4
走査型プローブ顕微鏡は、微小なプローブ（探針）を対象のサンプル表面に近づけることで、超微小なナノ領域の観察と測定を行うことができます。
※5 1ナノメートルは1x10-9メートル＝10億分の1メートル。
