新搭載の「MIX観察」機能で今まで見つけにくかった欠陥を検出 半導体・FPD検査顕微鏡 「MX63/ MX63L」を新発売2017年06月27日 オリンパス株式会社（社長：笹 宏行）は、科学事業の新製品として、半導体やFPD(フラットパネルディスプレイ)の検査用の工業顕微鏡「MX63/MX63L」を、2017年6月27日から全世界で発売します。 工業用顕微鏡は、多種多様な工業製品やその部品の観察や検査に用いられます。当社は、お客様の多様なニーズに最適なソリューションを提供すべく、優れた光学性能を持つ多彩なユニットや、画像解析ソフトウェアと組み合わせた、さまざまな工業用顕微鏡システムを販売しています。 今回発売する「MX63/MX63L」は、主に半導体・FPDなど、サイズが大きいサンプルの検査に特化した工業用顕微鏡で、MX63は200mm、MX63Lは300mmまでの大きさのウエハーに対応しています。MXシリーズとして初めて「MIX観察」対応ユニットを搭載したことで、これまでの観察方法では見つけにくかった欠陥などを、検出することが可能になりました。また、高輝度タイプの白色LED光源の採用により、省電力・長寿命であるだけでなく、観察時の光源の明るさを変えても、画像の色合いは変わることなく、常に安定した画像を得ることができます。さらに新搭載の「フォーカスエイド」機能を使えば、ピント合わせでのサンプル衝突が無く、迷わずにピントあわせが可能です。 ●発売の概要
●主な特徴
●主な特徴の詳細1. 従来の観察方法で見つけにくかった欠陥を検出可能にする「MIX観察」ユニットを新たに搭載 MXシリーズとしてはじめて、「MIX観察」対応ユニットを搭載しました。「MIX観察」は、色情報を含めた概観の観察に適した「明視野観察」や蛍光物質の検出に有効な「蛍光観察」と、細かい構造や傷の検出に優れた「暗視野観察」の方法を組み合わせ、それぞれの観察法のメリットを活かした新しい観察法で、従来の観察方法で見つけにくかった欠陥を検出可能になります。また、「暗視野観察」の専用照明は任意の4方向を選択できるため、対象物をより効果的に強調できます。 2. LED光源の採用により、光源の明るさに左右されない安定した観察が長期間持続 落射照明観察および透過照明観察の光源に、高輝度な白色LEDを採用しました。LEDの特徴である省電力・長寿命はもちろん、観察時の光源の明るさを変えても、画像の色合いが変わらないため、常に安定した画像を得ることができます。 3. サンプルへの衝突がなく、迷わずピント合わせが可能な「 フォーカスエイド」機能を新たに搭載 視野内に表示される格子パターンへピントを合わせればサンプルにもピントが合います。ベアウエハーやガラス、フィルムなどパターンがないサンプルで威力を発揮します。誤ってサンプルを対物レンズと衝突することを防止できます。 ●「MX63/ML63L」の主な仕様
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