Evident LogoOlympus Logo
知识

6. 应用示例

Лазерный сканирующий микроскоп используется во многих отраслях. Типичные примеры применения приведены в Табл. ниже.

Полупроводники

Электродная подложка для электростатического зеркала

Электродная подложка для электростатического зеркала Производительность такого устройства, как МЭМС, часто зависит от его формы. Соответственно, измерение формы является важным этапом контроля. Лазерные сканирующие микроскопы могут с высокой точностью определить трехмерный профиль устройства, измерить ступени или другие формы.

Микролинзы

Микролинзы Лазерные сканирующие микроскопы могут измерять форму прозрачных объектов, если поверхность образца имеет отражательную способность в несколько процентов. Данный образец представляет собой микролинзу диаметром 20 мкм и высотой 10 мкм.

Cтолбиковые выводы полупроводниковой пластины

Cтолбиковые выводы полупроводниковой пластины Размер столбиковых выводов п/п пластин в корпусах с высокой плотностью монтажа постоянно уменьшается. Обычно, измеряются высота, диаметр и шаг выводов п/п пластины, хотя объем выводов, шероховатость поверхности и другие элементы также отслеживаются в последнее время. На Рис. представлена схема контроля паяных выводов диаметром 12 мкм и высотой 3 мкм.

Электронные компоненты

ПЗС

ПЗС Микроскоп OLS5000 имеет оптическую функцию, позволяющую получать информацию о цвете и добавлять ее к полученным 3D-данным перед отображением на экране.

Эпоксидная смола на печатной плате (ПП)

Эпоксидная смола на печатной плате (ПП) OLS5000 используется для определения ширины тончайших медных проводников на печатных платах, а также для измерения площади поперечного сечения проводника и оценки коэффициента сопротивления медного провода. Также оценивается шероховатость поверхности участка подложки с паяными выводами CSP-корпуса. Обработка поверхности печатных плат и придание ей шероховатости улучшает адгезию и проводимость медной фольги. Лазерные сканирующие микроскопы все чаще используются для оценки данной технологии.

Гибкая печатная плата (ГПП) в районе разъема

Гибкая печатная плата (ГПП) в районе разъема Прочность участков ГПП в районах разъемов обеспечивает надежность электронных компонентов. Форма и глубина оттисков, которые служат фиксаторами для разъемов, а также глубина выемки, создаваемой при фактическом соединении измеряются с высокой точностью.

Материалы

Оптическая волноводная призма-отражатель

Оптическая волноводная призма-отражатель Недостаток традиционных оптических измерительных систем заключается в низкой отражательной способности уклонов и в том, что область вокруг поверхности стенки образца трудноразличима. С микроскопом OLS5000, возможность измерения поверхностей с крутым уклоном значительно улучшается, позволяя определить форму такого уклона на оптической волноводной призме-отражателе.

Матовое стекло

Матовое стекло OLS5000 может определить форму прозрачного образца, если поверхность образца имеет коэффициент отражения в несколько процентов. Поскольку OLS5000 способен получать 3D-данные и измерять шероховатость поверхности, можно контролировать степень шероховатости различных видов матовых стекол в условиях пескоструйной обработки.

Клейкая лента

Клейкая лента Раньше, для определения степени шероховатости использовались специальные измерители в виде стилуса, которые царапали поверхность мягкого образца. Лазерный сканирующий микроскоп обеспечивает бесконтактное измерение, позволяя измерять профиль вне зависимости от состояния поверхности образца (его вязкости, упругости и мягкости).

Углерод

Углерод OLS5000 может получить данные, если коэффициент отражения поверхности образца достигает несколько процентов. Следовательно, можно четко видеть состояние поверхности черного образца с низкой отражательной способностью (такого как углерод).

Автомобильные детали

Инородное тело на фильтре

Инородное тело на фильтре Лазерный сканирующий микроскоп позволяет получить изображение всего объекта в целом (в фокусе), даже при наличии больших неровностей. В данном случае, четко видно инородное тело на фильтре. Ширина инородного тела составляет около 30 мкм.

Механическая обработка

Лезвие бритвы

Лезвие бритвы Недостаток традиционных оптических измерительных систем заключается в низкой отражательной способности уклонов и в том, что область вокруг поверхности стенки образца трудноразличима. С микроскопом OLS5000, существенно улучшена возможность измерения наклонных поверхностей, позволяя измерять поверхности под углом 85°.

Резка металла/поверхность шлифа

Резка металла/поверхность шлифа Наименьший радиус пятна лазерного пучка в OLS5000 составляет около 0,2 мкм. Таким образом, OLS5000 способен получить данные мельчайших глубоких канавок, которые невозможно измерить с помощью контактного профилометра.

Сколы режущей части инструмента

Сколы режущей части инструмента Лазерные сканирующие микроскопы имеют лучшую разрешающую способность плоскости, по сравнению с оптическими микроскопами, что делает возможным получить изображение всего объекта в целом (в фокусе). Соответственно, можно выявлять трещины, износ или другие повреждения на крошечных сколах режущей части инструмента.

Очень тонкая проволока

Очень тонкая проволока Проволоку диаметром в несколько десятков микрон очень сложно измерить с помощью контактного профилометра. Лазерный сканирующий микроскоп упрощает позиционирование в таких крошечных зонах, позволяя измерять шероховатость поверхности.

Прочее

Поверхность зуба

Поверхность зуба Лазерные сканирующие микроскопы позволяют получить 3D-данные любого материала с отражающей способностью. Таким образом, лазерные сканирующие микроскопы можно использовать для наблюдения не только промышленных изделий, но и волос, зубов и кожи.
Другие области применения
Полупроводники LSI/IC
LD/LED
MEMS
Неизолированные пластины
Фотошаблоны
Резист
Выводы
Тонкая пленка
Микролинзы
Электронные компоненты Плоскопанельный дисплей
Органическая электроника
Пакеты
Проволочные межсоединения
FCB
Присоединение кристалла
Печатные платы
Выводные рамки
LD/LED
PSS
Кварцевые генераторы
Конденсаторы
Жесткие диски
Двигатели
Оптическое волокно
Материалы Железо и сталь
Цветные металлы
Волокно
Покрытие
Лакокрасочное покрытие
Адгезионные средства
Пленка
Смолы
Керамика
Ткань
Бумага
Пластины
Резина
Тонер
Магниты
Стекло
Автомобильные детали

Поршни и цилиндры
Коробки передач
Тормозные диски
Тормозные колодки
Автопокрышки
Металл кузова
Лакокрасочное покрытие кузова
Покрытие кузова
Ремни безопасности

Фильтры
Датчики
Механическая обработка Лопасти турбин
Режущие инструменты
Концевые фрезы
Абразивная ткань
Вставные резцы
Приводы
Винты
Пресс-формы
Инжекционное формование
Шлифовальные камни
Механические устройства Инжекционные иглы
Скальпели
Катетеры
Имплантанты
Стенты
Эндоскопы
Искусственное сердце
Протезы
Энергия Солнечные батареи
Литий-ионные батареи
Научные исследования Университеты
Государственные научно-исследовательские учреждения
Независимые научно-исследовательские центры
Прочее Косметика
Волосы
Кожа
Эритроциты
Таблетки
Эмульсии
Банкноты
Монеты

Заключение

Диапазон применения лазерного сканирующего микроскопа, предназначенного для 3D-измерений мельчайших объектов, будет расширяться за счет использования функций конфокального микроскопа и добавления новых функций в программное обеспечение. Также ожидается, что пользователям потребуется еще более высокий уровень точности и разрешающей способности устройства.

Справочная литература

  • Hirohisa Fujimoto: Outline of Nano-material Engineering Vol. 1 (отредактировано Kazuyuki Hirao и соавт.), pp. 604–612, FUJITECHNOSYSTEM, 2005.
  • Kentaro Yamazaki: O plus E, 26(8): pp. 901–906, 2004.
  • Shigeru Nishida: Science and Engineering of Materials, 40(5): pp. 220–224, 2003.
  • H. Miyajima, et al: Journal of Microlectromechanical Systems, 12(3): pp. 243–251, 2003.
  • Hirohumi Miyamoto, Takefumi Ito: The Tribology, 19(7): pp. 30–33, 2005.
  • Chikara Nagano: Latest Optical Technology Handbook (Edited by Junpei Tsujiuchi, et al.), pp. 685–705, Asakura Publishing, 2002.

> Узнать больше о лазерных сканирующих микроскопах OLS5000
> Узнать больше о научно-исследовательских микроскопах OLS4500

Sorry, this page is not available in your country
Let us know what you're looking for by filling out the form below.
Sorry, this page is not available in your country