超越传统的能力展现适用于大型和重型样品的LEXT OLS5100激光扫描显微镜的所有先进功能 |
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LEXT OLS5100激光扫描显微镜将卓越的精度和光学性能与使该系统易于使用的智能工具相结合。 来自定制解决方案团队的针对性产品使OLS5100系统的先进功能能够检测更广泛的部件。 |
定制您的OLS5100
OLS5100-TM激光扫描显微镜—实现大型样品的纳米级测量
OLS5100有多种定制选项，可以对大型电子产品，如硅晶圆和PCB，以及包括汽车零部件在内的重型部件进行纳米级测量。这些选项包括：
- 用于检测大型和重型样品的高达300 × 300 mm的电动载物台
- 载物台的承载能力更强，最高可达30 kg
- 手动Z轴运动，便于测量不同高度的样品
OLS5100大型桥式支架—满足超大样品测量的高稳定性要求稳定性是对部件进行高分辨率检测的关键因素，如硅晶圆、电子器件或大型汽车部件。可定制的大型桥式支架的设计是为了确保用LEXT OLS5100显微镜进行测量时的精度和准确性。它具有以下特点：
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高稳定性可定制工作站—最大限度地提高测量精度在对电子器件等样品进行纳米级检测时，要实现理想的测量精度，需要有设备能够尽可能降低外部振动的影响。 我们的高稳定性工作站能够实现难得的纳米级检测。该工作站包括：
这些工作站组件可用于定制一个整体解决方案，或根据您的要求单独购买。 |
稳定的石顶架—优化工作环境在对电子器件或其他物体进行纳米级检测时，达到合适的环境条件以获得理想精度可能会很困难。 石顶架确保操作人员能够实现可靠的高分辨率测量。
主动防振装置可无缝集成到显微镜支架中—这是一个高度紧凑的解决方案—或根据您的检查需要安装防振台面装置。 |
主动防振台面装置—消除小振动以获得更高的精度对于需要纳米级分辨率的应用，如晶圆检测，即使是轻微的脚步声或轻微的噪音也会影响测量精度。 主动防振台面装置设计用于消除外部振动，并具有提高稳定性和测量精度的多种功能：
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环境控制箱—检查洁净室的强大工具在使用标准LEXT系统时，显微镜屏蔽提供了一个适合的工作环境—提高了测量精度，减少了扫描声音。为了帮助用户在屏蔽的情况下保持高效的检查工作流程，环境控制箱具有多种创新的设计功能：
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微孔真空吸盘—为易损样品提供理想夹具对微薄灵活的物品，如RFID薄膜、太阳能电池板和硅晶圆的准确检查，需要样品固定器提供均匀的夹持力并尽可能减少样品变形。 微孔真空吸盘在检查过程中保持了精细样品的平整度和完整性。这是通过微孔的均匀吸力而不是吸孔或凹槽来实现的。
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可旋转的真空晶圆固定器—稳定而安全的晶圆夹具样品固定器必须提供方便的样品导航和稳定的夹持能力，以确保高效的硅晶圆检测。 真空晶圆固定器具有多种功能，可以简化晶圆检测工作流程。
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可旋转的晶圆固定器—简化晶圆检测可旋转的晶圆固定器为不需要真空吸力的样品固定提供了一种简单和经济的选择。
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螺孔夹具—使用定制夹具轻松检测在检查过程中，经常需要定制夹具来固定管道、立方体或其他不规则物体。 具有68个均匀分布的M3螺纹孔，尺寸为150 mm × 110 mm × 5.5 mm，带螺孔的插件可以适配各种定制的特征，以实现多功能的样品固定 |
应用注释汽车关键部件的面积粗糙度自动化测量内燃机部件必须按照严格的公差和准确的表面光洁度标准进行制造，以获得理想的发动机性能。 LEXT OLS5100 3D激光扫描显微镜可以进行高精度、非接触式的表面区域粗糙度测量。因此，它非常适合用于汽车零部件的质量控制。 |
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一家发动机部件制造商找到了Evident公司，要求改进其表面粗糙度测量工作流程。Evident与该制造商合作，利用LEXT显微镜共同创建了一个高度自动化的定制解决方案。 这套完整的解决方案实现了以下任务的自动化：
这一工作流程的自动化极大地提高了生产力，减少了操作员的错误。 此外，精密测量必须在受控环境条件下进行。对于这一应用场景，制造商还要求自动记录本地温度和背景振动，并存储在其MES服务器中。Evident确保将这一功能集成到他们的系统中。 |
