Evident LogoOlympus Logo
洞见博客

分步讲解技术清洁度检测的工作流程,第三部分:颗粒尺寸分类和颗粒计数外推法和归一化

作者  -

颗粒尺寸分类(差分和累计)及颗粒计数

在这个由六篇博客组成的博客系列的第三篇中,我们将探讨颗粒尺寸分类和颗粒计数外推法和归一化。我们先来看看整个技术清洁度检测工作流程都包含哪些环节以及粒径分类、颗粒计数外推法和归一化处于其中的位置:

  • 准备工作
    • 提取
    • 过滤
    • 烘干和称重
  • 检测
    • 图像获取
    • 颗粒探测
    • 颗粒尺寸测量和分类
    • 颗粒计数外推法和归一化
    • 污染水平计算
    • 清洁度代码定义
    • 最大审核值
    • 反光颗粒和非反光颗粒的区分
    • 纤维鉴别
    • 结果复核
    • 报告创建

颗粒尺寸分类

该系列第二部分的颗粒探测结果是一张包含每个探测颗粒结果的表格。列举了每个颗粒尺寸(通常为最大费雷特直径)。所有颗粒均按照尺寸分为不同的组。这使得后续报告更简短,同时也使得测量值的对比更加方便。

您可以界定尺寸类别。分类参数和等级如何划分在各种国际标准中均有所界定。尺寸类别主要有两组。

差分类别:最小和最大颗粒尺寸界定了尺寸类别。每个颗粒只能计数到一个类别中。

累计类别:最小颗粒尺寸界定了尺寸类别。结果,有可能颗粒会被计数到不止一个类别中。

颗粒尺寸分类

扫描滤膜上限定区域并检测颗粒。下面限定了不同的滤膜区域(图1)。

滤膜分解成图框
图1: 颗粒计数外推法中使用的过滤面积。

滤膜尺寸: 标准尺寸滤膜的直径为47 mm,总滤膜面积为1735 mm2

溢流区域:滤膜不会被颗粒完全覆盖。过滤过程中,颗粒只会存在于冲洗液穿过滤膜所在区域。该溢流区域可由操作员设置,且必须是直径小于42 mm的中心圆区域。

最大扫描区域:最大扫描区域的直径为42 mm,总最大扫描面积为1385 mm2

检测区域:用户可界定实际扫描区域。通常来说,最大可能扫描区域用于扫描,但检测区域可以更小。检测区域更小时,图像会更少,因此会加快检测滤膜所需的时间。

当溢流区域完全位于检测区域内时,所有颗粒均会被探测到。若检测区域小于溢流区域,系统需要外推探测到的颗粒数。必须在检测软件中设置溢流区域,且溢流区域将用于颗粒计数归一化。

颗粒计数归一化

必须根据参考值归一化颗粒的绝对计数或外推计数。

根据所使用的标准和被测滤膜,颗粒数量被归一为一个比较值。这样即使所检样本尺寸不同,也可以对比多个测量值。

方法不同,使用的归一化值不同:

冲洗区域:探测的颗粒从样本表面进行冲洗时,冲洗表面区域会进行归一。最后颗粒计数会被归一到面积为1000 cm2的区域上。

冲洗容量:探测的颗粒从更大结构化样本进行冲洗时,会对经冲洗的样本量进行归一。最后颗粒计数会被归一到体积为100 cm3的区域上。

冲洗部位:探测的颗粒从很多相似样本进行冲洗时,冲洗样本部位会进行归一。最后颗粒计数会被归一到单一样本。

过滤液体:若分析过滤液体本身且样本上探测到的颗粒并未冲洗,须对过滤液体量进行归一。最后颗粒计数会被归一到1 ml或100 ml过滤液体中。

注意单位"cm3"用于冲洗容量,单位"ml"用于过滤液体。使用不同单位以防冲洗样本量值和过滤液体值混淆。

颗粒尺寸分类和颗粒计数外推法和归一化之后,检查每个颗粒尺寸类别的污染量。请参阅我们“分步讲解技术清洁度检测的工作流程”博客系列的第四部分“污染水平的计算”。

相关内容

分步讲解技术清洁度检测的工作流程,第一部分:准备工作

分步讲解技术清洁度检测的工作流程,第二部分:图像获取和测量

整体清洁度检测系统的价值

Product Applications Manager, Olympus Corporation of the Americas, Scientific Solutions Group

A member of the Olympus team since 2016, Hamish provides product and application support for Olympus industrial microscope systems throughout the Americas. He is an expert in inspection applications, image analysis, measurement, and reporting, as well as custom optical solutions, with an emphasis on technical cleanliness and semiconductor equipment.

三月 1, 2018
Sorry, this page is not available in your country
InSight Blog Sign-up
Sorry, this page is not available in your country
Let us know what you're looking for by filling out the form below.
Sorry, this page is not available in your country