Evident LogoOlympus Logo
资源库
应用说明
返回到资源库

Kontrola schématu obvodu na vzorcích waferu


vzorek_waferu
Vzorek waferu

Použití

V případě, že je pod mikroskopem nezbytné pozorovat jak schéma obvodu, tak barvu vzorku waferu, využívají konvenční metody pro první ze zmíněných pozorování v temném poli a pro druhé pak pozorování ve světlém poli, přičemž dochází k opakovanému přepínání mezi těmito dvěma technikami. Tato metoda pozorování je časově náročná, protože je při vytváření reportu nutno pořizovat snímky pro obě techniky.

Řešení Olympus

Průmyslové mikroskopy MX63/MX63L pro kontrolu polovodičů a matných panelových displejů (FPD) představují efektivní alternativu ke konvenčním metodám pozorování – funkci smíšeného (MIX) pozorování. Při smíšeném pozorování lze schémata obvodu i barvy waferů pozorovat současně. Ostrost a zřetelnost snímku pořízeného metodou smíšeného pozorování napomáhá zvyšovat efektivitu práce a tvorby reportu.

Přednosti produktů

  • Zjednodušení pracovního postupu
    Mikroskopy MX63/MX63L jsou vybaveny funkcemi, které vám pomohou zjednodušit celý postup provádění kontrol s úrovní výkonnosti, která je rovnocenně efektivní v čistých prostorách.
  • Uživatelská přívětivost
    Nastavení mikroskopů MX63/MX63L lze snadno upravovat díky funkcím, které nabízejí asistenci při zaostřování, nastavování intenzity světla a ovládání clony. Díky jednoduchosti obsluhy mikroskopů MX63/MX63L mohou kontroly při správných podmínkách pozorování provádět i méně zkušení pracovníci.
  • Pokročilá technologie zobrazování
    Díky desítkám let zkušeností s optikou naše mikroskopy MX63/MX63L poskytují zřetelné a ostré snímky, které pomáhají zajistit spolehlivost výsledků měření.
  • Modularita
    Modulární konstrukce mikroskopů MX63/MX63L umožňuje uživatelům vybírat z široké škály optických prvků, aby co nejvíce vyhověla požadavkům na jejich použití. Systém s požadovanými vlastnostmi lze sestavit bez nutnosti vynaložení nadměrných investičních nákladů.

DFMIX_BF

Pozorování ve světlém poli
Lze vidět barvu waferu, nicméně schéma obvodu je nezřetelné.

DFMIX_BF+DF

Pozorování v temném poli
Schéma obvodu je zřetelné, ale barva waferu není vidět.

DFMIX_DF

Smíšené pozorování (kombinace pozorování ve světlém a temném poli)
Schéma obvodu a barvu waferu lze pozorovat současně ve zřetelném a ostrém obrazu.

Olympus IMS

应用所使用的产品
Mikroskopové systémy MX 63 a MX63L nabízejí kvalitu pozorování pro wafry o velikosti 300 mm na těch největších plochých displejích, desek plošných spojů a jiných velkých vzorků, zároveň se vyznačují univerzálními funkcemi a ergonomickým, uživatelsky přívětivým provedením. Flexibilní modulární provedení poskytuje optimální pozorovací systémy pro rozličné účely provádění kontrol. Spojením se softwarem pro obrazovou analýzu PRECiV lze váš postup kontroly zjednodušit a zefektivnit, od pozorování až po tvorbu protokolů.
Sorry, this page is not available in your country
Let us know what you're looking for by filling out the form below.
Sorry, this page is not available in your country