Častou výzvou v průmyslu výroby polovodičů, plochých displejů (FPD) a organických diod emitujících světelné záření (OLED) je návrh metrologických nástrojů podporujících vysokokapacitní kontroly (tj. počet kontrol, které lze provést za požadovanou dobu).
Společnost Olympus, přední dodavatel OEM optiky a komponent, poskytuje vysoce kvalitní mikroskopové jednotky pro návrháře, kteří vyvíjejí optické vybavení pro oblasti provádění kontrol, výroby a výzkumu. Pokud se tyto jednotky používají pro kontrolu kvality ve výrobě, dokáží zlepšit výtěžnost (tj. procento výrobků bez vady z celkového počtu vyrobených výrobků), a to díky tomu, že jsou navrženy pro vysokokapacitní použití.
Například mikroskopové jednotky integrované do vysokokapacitního zařízení pro provádění kontroly často vyžadují intuitivní vzdálené ovládání, aby uživatelé s různými úrovněmi byli schopni provádět kontroly snadno a přesně. Pomocí jednoduchých ovladačů můžete nastavit zaostření, místo pozorování vzorku, metodu pozorování a zvětšení tak, abyste rychle získali obraz vhodný pro provedení kontroly. Nabízíme různé jednotky, které umožňují motorizované ovládání, například mikroskopovou jednotku s motorizovaným pohonem ve směru osy Z, motorizovaný osvětlovač, motorizovaný analyzátor, řídící skříňku a ruční spínač.
Na trh uvádíme také motorizovaný revolverový držák objektivů s funkcí podtlaku (U-D5BDREMC-VA), jehož použitím lze zlepšit čistotu a který přitom nabízí potřebnou rychlost a odolnost. Pro ty, kteří s tímto tématem nejsou podrobněji obeznámeni: v revolverovém držáku objektivů (známém také jako revolverový nosič objektivů nebo revolverová hlavice pro objektivy) je umístěno několik čoček (objektivů) s rozdílným zvětšením. Otáčením tohoto revolverového držáku se uživatel může podívat na vzorek s různým zvětšením, podle potřeby.
Motorizovaný revolverový držák objektivů
Řízení kontaminace v odvětví polovodičů, FPD a OLED
Hlavní starostí pracovníků provádějících kontrolu v odvětví výroby polovodičů, FPD a OLED je čistota, která je nutná pro výrobu správně fungujících produktů. V důsledku požadavku na čistotu je vybavení pro provádění kontrol používáno v kontrolovaném prostředí, například v čisté místnosti. Je nepřípustné, aby z revolverového držáku objektivů padal na vzorek, například na polovodičový wafer, prach. Wafer může být kontaminován i velmi drobným smítkem prachu, které dokáže zničit funkčnost waferu, což má dopad na výtěžnost výroby.
Náš motorizovaný revolverový držák objektivů s funkcí podtlaku (U-D5BDREMC-VA) využívá nízkotlaké sání ke snížení množství jemných částic padajících při otáčení revolverového držáku objektivů a také k zachycení veškerého plynu nebo prachu vytvářeného mazivem použitým k mazání systému. Díky funkci podtlaku je tento revolverový držák objektivů ideální do řízeného prostředí čistých místností. Revolverový držák objektivů je možné použít jako zabudovaný mikroskopový modul do vybavení pro provádění kontrol v odvětví polovodičů a FPD.
Revolverový držák objektivů s funkcí podtlaku pro řízení kontaminace
Různé revolverové držáky objektivů k provádění kontrol polovodičových waferů a mnoha dalších
Dodáváme širokou škálu revolverových držáků objektivů, které lze integrovat do systémů provádění kontroly, výroby a využít i v oblasti výzkumu. Naše nabídka zahrnuje jak ručně ovládané, tak motorizované možnosti.
- Ručně ovládaný revolverový držák objektivů: Naše řada podporuje pozorování metodami, jako je pozorování ve světlém poli, v tmavém poli a s diferenciálním interferenčním kontrastem (DIC); držáky jsou opatřeny čtyřmi až sedmi pozicemi pro umístění objektivu, splňují specifikace ESD a další.
- Revolverový držák objektivů s funkcí kódování: Tento typ ručně ovládaného držáku objektivů umí detekovat pozici otvoru držáku objektivů pro umístění objektivu. Pomocí softwaru můžete spojit informaci o zvětšení konkrétního objektivu s pozicí tohoto objektivu v revolverovém držáku objektivů a díky tomu rychleji přidávat k pořízenému snímku informaci o zvětšení použitého objektivu a současně přitom snížit riziko chyb spojených s ručním zadáváním údajů.
- Motorizovaný revolverový držák objektivů: U tohoto typu revolverového držáku objektivů je pohyb pěti až šesti objektivů ovládán elektricky. K dispozici je také motorizovaný revolverový držák objektivů s funkcí podtlaku.
- Revolverový držák objektivů s funkcí centrování: U tohoto typu revolverového držáku objektivů můžete vycentrovat optickou osu čočky objektivu, ručně nebo elektricky. Tím dojde ke změně polohy otvorů pro objektiv revolverového držáku objektivů tak, aby u jednotlivých objektivových čoček došlo k mírnému posunutí. Ve výsledku tak mohou být všechny instalované objektivové čočky vyrovnány. S tímto nastavením můžete pozorovat tu samou středovou polohu před i po změně objektivové čočky.
- Adaptér držáku objektivu: Tento adaptér (STM7-MMOBAD) umožňuje použití pouze jedné objektivové čočky. Jedná se o nákladově efektivní možnost pro případy, kdy při vašem konkrétním použití nepotřebujete používat více objektivových čoček. Poznámka: Adaptér je dodáván pouze s RMS šroubem W26 a není vybaven optickou dráhou pro pozorování v tmavém poli.
Pomocí adaptéru držáku objektivu (STM7-MMOBAD) můžete do systému pro více objektivů umístit pouze jednu objektivovou čočku, což vám poskytuje větší flexibilitu. Vlevo: Do adaptéru držáku objektivu je nasazena jedna objektivová čočka. Uprostřed: Před připojením revolverového držáku objektivů. Vpravo: Do revolverového držáku objektivů je umístěno několik objektivů.
Chcete-li se o našich OEM řešeních dozvědět více, navštivte naše středisko zdrojů OEM na našich stránkách věnovaných vědám o živé přírodě. Zde si můžete stáhnout informační listy a 3D CAD data našich přístrojů a získat tak technické údaje našich revolverových držáků objektivů.
Související obsah
Detekce výrobních vad polovodičových waferů pomocí digitálního mikroskopu
Kontrola schématu obvodu na vzorcích waferu
Kontaktujte nás
