Speciální infračervené (IR) objektivy nabízejí řešení na klíč pro digitální zobrazování v blízkém infračerveném spektru
Typický protokol pro analýzu chyb v mikroelektronice vyžaduje schopnost nedestruktivní kontroly stavu obvodů přes křemíkovou vrstvu, přičemž musí být zachována mechanická neporušenost hotového výrobku. Neinvazivní techniky, jako je mikroskopické zobrazování v blízkém infračerveném spektru, umožňují kontrolu přímo přes křemík až do tloušťky 650 μm. Využití zahrnuje kontrolu krátkých obvodů v rámci výrobku (vypálené značky, známky namáhání apod.), vyrovnání pojení (analýza vyrovnávacích značek mezi těsně spojenými obvody), kontrolu po elektrickém testování (jakýkoli typ vady) a poškození čipů (vady materiálu, kontaminace atd.).
Požadavky většiny zkušebních a výzkumných laboratoří na měření vad, vytváření zpráv a archivaci snímků vyžadují digitální řešení. Vzhledem k povaze tohoto použití je nativní kontrast minimální a musí být optimalizován pomocí softwaru pro obrazovou analýzu. Funkce nejednotnosti osvětlení vede k efektu vinětace či úbytku jasu v rozích obrazů směrem ke středu, který je nutné ze živého zobrazení či zaznamenaného snímku digitálně odstranit. Zatímco mikroskopie v odraženém světle je ideální pro osvětlení vzorku shora, využití přenášeného IR světla umožňuje přenos světla přes křemík ze spodní strany vzorku, což zajišťuje vyšší kontrast. Přenášené světlo je tak zejména užitečné při kontrole vyrovnání tvaru a vyrovnávacích značek přes křemíkovou vrstvu.
Zcela digitální systém mikroskopie využívající blízké infračervené spektrum
Naše řada UIS2 speciálních IR objektivů nabízí řešení na klíč pro digitální zobrazování v blízkém infračerveném spektru. Nejnovější generace speciálních IR objektivů UIS2 pro blízké infračervené spektrum přináší zvýšenou propustnost v blízkém infračerveném spektru a poskytuje korekční prvky (pro objektivy se zvětšením 20x, 50x a 100x) nastavitelné pro konkrétní tloušťku křemíkové vrstvy za účelem maximalizace propustnosti a výkonu.
Digitální kamera Olympus XM10-IR poskytuje vysoce kontrastní snímky v celém rozsahu blízkého IR spektra až do 1 100 nm, přičemž zachovává velké zorné pole díky velkému 2/3palcovému snímači CCD. Na rozdíl od jiných řešení IR zobrazování
OLYMPUS Stream®software pro obrazovou analýzu zcela ovládá kameru XM10-IR a poskytuje korekci stínů v reálném čase s cílem maximalizovat jednotnost celého zorného pole. Kromě toho může uživatel snadno maximalizovat kontrast obrazu jak v živém zobrazení, tak v uložených snímcích. Software OLYMPUS Stream rovněž nabízí možnost provádění přesných měření kdekoli v rámci zorného pole obrazu, automatického vytváření zpráv a archivace snímků a souvisejících dat.
Naše zcela digitální řešení v blízkém IR spektru, které je ideální pro vysoce kvalitní zobrazování a kontrolu přes křemíkovou vrstvu, zahrnuje následující součásti:
- vzpřímený modulární IR mikroskop (řada BX) nebo speciální modulární IR mikroskop pro kontrolu křemíkových desek (řada MX) (IR mikroskopy řady MX umožňují současné pozorování v odraženém a procházejícím světle v IR spektru),
- objektivy UIS2-IR,
- digitální kamera XM10-IR, 1,4 MP, CCD, FireWire, s vysokou citlivostí
- software pro obrazovou analýzu OLYMPUS Stream.
Okamžité výsledky
Náš digitální systém na klíč využívající blízké IR spektrum přináší možnost pořizovat vysoce kvalitní snímky přes křemíkovou vrstvu, provádět přesná měření, sestavovat přesvědčivé zprávy a archivovat snímky – to vše bez poškození hotového výrobku. Kromě toho je díky použití digitálního snímače v blízkém IR spektru odstraněno charakteristické zpožďování obrazu i stopy z analogové kamery se zářivkou využívající sulfid olovnatý. Toto kompletní řešení je také uživatelsky přívětivé – obsluze stačí základní znalosti mikroskopie, aby získala okamžité výsledky při zobrazování.
Snímky pořízené pomocí různých objektivů UIS2-IR, vzpřímeného modulárního mikroskopu BX2M-IR, digitální kamery XM10-IR a softwaru OLYMPUS Stream:
 |
| Objektiv UIS2-IR se zvětšením 10x |
 |
| Objektiv UIS2-IR se zvětšením 20x |
 |
| Objektiv UIS2-IR se zvětšením 50x |
 |
| Objektiv UIS2-IR se zvětšením 100x |
