Evident LogoOlympus Logo
洞见博客

Rozbor pracovního postupu k zajištění technické čistoty, část 4: Výpočet úrovně kontaminace

作者  -
Píst

Porovnání standardních měření čistoty

Ve čtvrté části této šestidílné série blogů zjistíme, jak se provádí výpočet úrovní kontaminace, včetně stanovení kódů čistoty a testování maximálních schválení. Výpočet úrovně kontaminace se uplatní v celkovém procesu inspekce technické čistoty v následujících případech:

  • Příprava
    • Extrakce
    • Filtrace
    • Sušení a vážení
  • Inspekce
    • Pořizování snímků
    • Detekce částic
    • Měření velikosti částic a klasifikace
    • Extrapolace a normalizace počtu částic
    • Výpočet úrovně kontaminace
    • Stanovení kódu čistoty
    • Kontrola maximálního limitu
    • Separace reflexních a nereflexních částic
    • Identifikace vláken
    • Posouzení výsledků
    • Vytváření protokolů

Výpočet úrovně kontaminace

U většiny norem čistoty platí, že místo skutečného počtu měřených (nebo extrapolovaných) částic se zobrazuje abstraktní číslo. Dále se kontroluje úroveň kontaminace u každé třídy velikosti částic. Toto je druhá úroveň klasifikace, ale tentokrát nejsou částice klasifikovány podle své velikosti. Třídy jsou stanoveny podle počtu částic v dané třídě. Tyto úrovně kontaminace umožňují jednoduché a rychlé porovnání různých měření čistoty, i když se někdy jedná o přílišné zjednodušení.

Typické úrovně kontaminace jsou stanoveny v normě ISO 16232:

  • Úroveň 00: žádné částice na ploše povrchu 1000 cm2
  • Úroveň 0: méně než 1 částice na ploše povrchu 1000 cm2
  • Úroveň 1: více než 1, ale méně než 2 částice na ploše povrchu 1000 cm2
  • Úroveň 12: více než 2000, ale méně než 4000 částic na ploše povrchu 1000 cm2

Tyto třídy kontaminace jsou stanoveny pro většinu mezinárodních norem. Lze stanovit až 26 různých úrovní, které budou měřeny u každé třídy velikosti částic. Tyto úrovně kontaminace jsou obvykle podobné u každé třídy velikosti (např. pro ISO 16232) (obr. 1), ale mohou být stanoveny odlišně u každé třídy (např. pro SAE AS4059).

Obrázek 1: Příklad úrovní kontaminace pro ISO 16232 (A). Úrovně kontaminace jsou zobrazeny červeně.
Obrázek 1: Příklad úrovní kontaminace pro ISO 1632 (A). Úrovně kontaminace jsou zobrazeny červeně.

Stanovení kódu čistoty

Některé normy omezují reprezentaci naměřených údajů o produktu pouze na krátký popis. Tento kód čistoty závisí na normě a sestává z tříd velikostí a úrovní kontaminace nalezených částic. Níže (obr. 2) je příklad kódu čistoty pro ISO 16232 (A), který zahrnuje následující kroky:

  • Krok 1: detekce a měření částic
  • Krok 2: normalizace a klasifikace částic
  • Krok 3: kontrola úrovně kontaminace

Mějte na paměti, že tento formulář kódu čistoty platí pouze pro normu ISO 16232. Jiné normy stanovují odlišný kód čistoty. První „A“ označuje normalizaci na plochu povrchu vzorku 1000 cm2. Sousedící třídy se stejnou úrovní kontaminace je možné kombinovat.

Obrázek 2: Příklad kódu čistoty pro ISO 16232 (A). Výsledný kód čistoty komponenty (CCC) u tohoto příkladu je A (B12/C10/DE8/F3/G2/HIJ00)
Obrázek 2: Příklad kódu čistoty pro ISO 16232 (A). Výsledný kód čistoty komponenty (CCC) u tohoto příkladu je A (B12/C10/DE8/F3/G2/HIJ00).

Kontrola maximálního limitu

Skutečným účelem inspekce čistoty je změření kontaminace a popis výsledků podle vybrané normy. Schválení a kontrola maximální hodnoty je pouze možností a ne vždy je součástí procesu inspekce čistoty.

Maximální limit je určen v konfiguraci inspekce. Může to být absolutní počet částic nebo maximální kód čistoty. Tato hodnota je kontrolována během zkoumání filtrační membrány a je zobrazena okamžitě, když je překročena maximální povolená hodnota. Obsluha má možnost zcela zastavit proces měření a prozkoumat zdroj kontaminace.

Následující příklad (obr. 3), vytvořený pomocí inspekčního softwaru pro technickou čistotu OLYMPUS CIX, ukazuje test maximálního limitu během skenování filtrační membrány.

Okno grafenu VantaOkno grafenu Vanta

Obrázek 3: Snímek vlevo ukazuje stav vzorku po 2 minutách skenování, přičemž každý výsledek je dosud v pořádku. Snímek vpravo ukazuje výsledek skenování o 2 minuty později. Nyní se vyskytuje příliš mnoho částic ve třídách velikostí B, H a I. Proto je celkové schválení „NOK“.

Dalším krokem je separace kovových a nekovových částic a identifikace vláken. Vraťte se zpět na „Reflexní/nereflexní částice a identifikaci vláken“, tedy pátou ze šesti částí v naší sérii blogů „Rozbor pracovního postupu k zajištění technické čistoty“.

Související obsah

Rozbor pracovního postupu k zajištění technické čistoty, část 1

Rozbor pracovního postupu k zajištění technické čistoty, část 2

Rozbor pracovního postupu k zajištění technické čistoty, část 3

Product Applications Manager, Olympus Corporation of the Americas, Scientific Solutions Group

A member of the Olympus team since 2016, Hamish provides product and application support for Olympus industrial microscope systems throughout the Americas. He is an expert in inspection applications, image analysis, measurement, and reporting, as well as custom optical solutions, with an emphasis on technical cleanliness and semiconductor equipment.

四月 19, 2018
Sorry, this page is not available in your country
InSight Blog Sign-up
Sorry, this page is not available in your country
Let us know what you're looking for by filling out the form below.
Sorry, this page is not available in your country