Evident LogoOlympus Logo
洞见博客

Jak kontrolovat povlak leptacích komor ve výrobě polovodičů

作者  -
Křemíkové wafery ve výrobě polovodičů

Výroba polovodičů je mnohooborový a komplexní proces o mnoha krocích, kde je nejdůležitějším faktorem přesnost a hnací silou inovace. Klíčovou fází výrobního procesu je leptání, které je zásadní pro definici složitých vzorů a struktur nezbytných pro moderní elektronická zařízení.

Zde se budeme procesem leptání podrobně zabývat a popíšeme si snadný způsob kontroly tloušťky povlaku v leptacích komorách.

Jak funguje leptání ve výrobě polovodičů

Leptání se při výrobě polovodičů využívá k selektivnímu odstraňování vrstev materiálu ze substrátu (například křemíkového waferu) za účelem vytvoření potřebného vzoru či struktury. Proces probíhá v leptacích komorách s kontrolovaným prostředím, kde na polovodičový wafer působí leptadlo, což je chemická látka nebo plazma, která selektivně odstraňuje materiál z povrchu waferu. Leptací komora je konstruována tak, aby udržovala přesnou teplotu, tlak a koncentraci této chemikálie, což pomáhá zajistit rovnoměrné a přesné leptání po celé ploše waferu.

V procesu leptání jsou nezbytné speciální povlaky, které chrání součásti komory před korozivními leptadly a zvyšují účinnost celého procesu. Pro tyto aplikace je vhodné yttrium, a to díky svojí mimořádné chemické odolnosti, tepelné stabilitě a kompatibilitě s polovodičovými materiály. Tyto vlastnosti pomáhají prodloužit životnost leptací komory a přispívají ke konzistenci a spolehlivosti výroby polovodičových součástek.

Kontrola tloušťky vrstvy yttria se tak stává klíčovým problémem, který vyžaduje pečlivou pozornost a vyspělá technologická řešení.

Čtyři důvody pro monitoring tloušťky yttria ve výrobě polovodičů

Sledování tloušťky vrstvy yttria v procesu leptání ve výrobě polovodičů je důležité z několika důvodů:

1. Řízení procesu

Tloušťka povlaku yttria má přímý vliv na funkci leptací komory. Díky monitoringu tloušťky povlaku je možné ověřit, zda komora pracuje v rámci stanovených parametrů, optimalizovat proces leptání a udržet tak stabilní kvalitu produktů.

2. Rovnoměrnost

Pro dosažení stabilních výsledků leptání je naprosto nezbytné ověřovat rovnoměrnou tloušťku yttria na stěnách leptací komory.

3. Prevence narušení povlaku

Povlak yttria může postupně degradovat vlivem různých faktorů, jako je působení chemikálií nebo tepelné cykly. Monitoring tloušťky povlaku umožňuje odhalit ztenčení nebo degradaci včas a provést údržbu dříve, než dojde k poškození povlaku. Díky tomu je možné prodloužit životnost leptací komory a minimalizovat prostoje.

4. Nižší náklady

Pravidelný monitoring tloušťky yttria umožňuje proaktivní údržbu a repasování namísto reaktivních oprav či výměny. To vede k úspoře nákladů, protože je možné předejít nečekaným prostojům a prodloužit životnost součástí leptací komory.

Přenosné XRF analyzátory pro přesný monitoring tloušťky povlaku yttria

Jednoduchý způsob, jak sledovat tloušťku povlaku yttria v leptacích komorách, nabízí přenosná rentgenová fluorescenční technologie (XRF).

Přenosné XRF analyzátory využívají rentgenové záření k analýze materiálů přímo v terénu bez poškození vzorku. Tato nedestruktivní zkušební metoda je vhodná pro kontrolu kvality ve výrobě polovodičů, protože analyzátor měří tloušťku povlaku yttria, aniž by při tom narušil integritu leptací komory nebo vzorku polovodiče.

Proces je navíc velmi jednoduchý. Analyzátor vysílá rentgenové záření, které dopadá na vzorek a vyvolává na něm fluorescenci. Přístroj potom detekuje vracející se rentgenové záření a na základě těchto dat vypočítává tloušťku povlaku yttria (Y). Výsledek tak máte během několika sekund. Další informace o tom, jak funguje měření povlaků, naleznete v příspěvku na našem blogu Význam tloušťky plastu: použití XRF k měření tloušťky povrchové vrstvy.

Technik měří tloušťku povlaku yttria ručním XRF analyzátorem Vanta™.

Výsledná tloušťka povlaku yttria (Y) na obrazovce ručního XRF analyzátoru Vanta.

Díky pokročilým algoritmům a kalibračním postupům umožňují přenosné XRF analyzátory přesné měření tloušťky povlaku yttria během pouhých sekund.

Výsledky z ručního XRF analyzátoru Vanta po měření tloušťky povlaku yttria odpovídají přesně výsledkům laboratorních měření.

Přenosné XRF analyzátory jsou univerzální přístroje. Umožňují měřit tloušťku yttria na široké škále materiálů a povlaků. Jejich kompaktní a uživatelsky přívětivé provedení je ideální pro měření v terénu, protože umožňuje technikům snadno a efektivně provádět kontrolu kvality.

Další informace o měření tloušťky povlaků pomocí přenosného XRF analyzátoru získáte od našeho týmu, na který se můžete obrátit s jakýmikoli dotazy nebo si domluvit předváděcí schůzku.

Související obsah

Význam tloušťky plastu: použití XRF k měření tloušťky povrchové vrstvy

Jak přidat model povlaku do analyzátoru Vanta

Informační grafika: Metoda měření povlaku přístrojem Vanta

业务专员, 分析仪器

Vladimir Vermus has a bachelor’s degree from Moscow Mining University and 10 years’ experience in portable XRF and XRD analysis at Olympus. He started as a sales engineer with four years in direct sales, then later managed the development of XRF and XRD analytical instrument sales in the Commonwealth of Independent States (CIS). Vladimir currently specializes in marketing, sales, and applications for XRF and XRD analyzers in Europe, the Middle East, and Africa (EMEA).

七月 9, 2024
Sorry, this page is not available in your country
InSight Blog Sign-up
Sorry, this page is not available in your country
Let us know what you're looking for by filling out the form below.
Sorry, this page is not available in your country