概述
Sestavy vysoce kvalitních kompaktních mikroskopůŘada BXC nabízí vysoce kvalitní komponenty mikroskopů, které potlačují odchylky a poskytují stabilní kvalitu zobrazování. Tyto sestavy kompaktních mikroskopů lze rychle a snadno integrovat do vašeho systému s řadou doplňků. Stáhněte si informace potřebné pro integraci zařízení z našeho centra zdrojů řady BXC. |
Vysoce výkonné objektivy
Zlepšená plochost obrazu Plochost obrazu objektivů MPLFLN 2.5X, 5X a 5X pro světlé/tmavé pole byla vylepšena, čímž je urychleno získání spojených snímků při malých zvětšeních. Pro vyšší propustnost při pozorování v tmavém poli jsme zavedli 2.5X objektiv MPLFLN2.5XBD pro světlé/tmavé pole.
Řízení aberace vlnoplochy K výrobě objektivů řady MXPLFLN se používají špičkové výrobní procesy – například výběr sestav čoček s řízenou aberací vlnoplochy. Tento proces snižuje odchylky ve výkonu zařízení na minimum.
|
Jakou konfiguraci si sestavíte?Řada BXC, která je součástí naší řady mikroskopů BX™, má širokou škálu příslušenství pro každou část, včetně objektivu, revolverových hlavic objektivů a světelných zdrojůosvětlovačů. Řada je navržena tak, abyste si mohli svobodně vybrat podle svého konkrétního použití. Všestrannost a modulární provedení činí z těchto komponentů dobrou volbu pro použití při kontrolách a zobrazování, například v přístrojích určených ke kontrole vyrovnání waferů, měření struktury povrchu a spojování obrazů. Příklady konfigurací mikroskopu řady BXC
|
Pokročilé možnosti pro návrh a automatizaci systémůVšestranné směrové tmavé pole Technika tmavého pole se používá k pozorování světla rozptýleného nebo ohnutého na vzorku – například na škrábancích nebo vadách – u odrazných ploch nebo polovodičových waferů. Pomocí posuvníku MIX lze metodu tmavého pole používat bez velkého, speciálního optického vybavení. Klasická technika tmavého pole je navíc vylepšena 16 individuálně ovládanými LED diodami, které umožňují ovládat směr světla dopadajícího na vzorek. NavícKromě toho lze tuto techniku směrového tmavého pole, dosaženou použitím posuvníku MIX, kombinovat s technikou světlého pole, s pozorováním při jednoduché polarizaci i fluorescenčním pozorováním.
|
技术规格
Technické parametry řady BXC
Systém BXC-CBRML | Systém BXC-CBB | |||
---|---|---|---|---|
Základní Šetří místo použitím jen jednoho BF objektivu | Všestranné Základní, kompaktní sestavy | Pokročilé Plně motorizované sestavy pro čisté místnosti | ||
Příklady konfigurací | BXFM-F, BXFM-ILHS, U-SWATLU, U-KMAS, BX3M-LEDR, CMP-LLHECBL, BXC-CBRML, STM7-MMOBAD BD-M-AD, SLMPLN20X | BXFM-F, BXFM-ILHS, U-SWATLU, U-KMAS, BX3M-LEDR, CMP-LLHECBL, U-D5BDREMC, BXC-REMECBL, U-MIXR-2, U-MIXRECBL, BXC-CBRML, MPLFLN5XBD2, LMPLFLN20XBD, LMPLFLN50XBD | BXC-FSU, BXC-RLI, U-SWATLU, BX3M-LEDR, U-D5BDREMC-VA, BXC-CBB, BXC-CBE1, BXC-LCBL1M, BXC-LCBL3M, MPLFLN2.5XBD, MPLFLN5XBD2, MPLFLN10XBD-2, MXPLFLN20XBD, MXPLFLN50XBD | |
Objektiv | 20X (NA: 0,25, WD: 25 mm) |
5X NA: 0,15, WD: 12 mm
20X NA: 0,4, WD: 12 mm 50X NA: 0,5, WD: 10,6 mm |
2.5X NA: 0,08, WD: 8,7 mm
5X NA: 0,15, WD: 12 mm 10X NA: 0,3, WD: 6,5 mm 20X NA: 0,55, WD: 3 mm 50X NA: 0,8, WD: 3 mm | |
Minimální rozlišení při λ=550 nm | 1,34 μm (objektiv 20X) | 0,67 μm (objektiv 50X) | 0,42 μm (objektiv 50X) | |
Maximální hloubka ostrosti při λ=550 nm | ± 4,4 μm (objektiv 20X) | ±12,2 μm (objektiv 5X) | ± 43 μm (objektiv 2.5X) | |
Hmotnost – bez BXFM-F, stativu, řídicí jednotky | 3,4 kg (7,5 libry) | 4 kg (8,8 libry) | 8,3 kg (18,3 libry) | |
Režimy pozorování | Světlé pole (BF) | Světlé pole (BF), tmavé pole (DF), MIX | Světlé pole (BF), tmavé pole (DF) | |
Zdvih ve směru Z | 30 mm (ruční) | 30 mm (ruční) | Hardware dodaný integrátorem | |
Podpora automatického ostření | — | — | K dispozici | |
Sloty posuvníku filtru | 3 | 3 | 1 | |
Hlavice objektivů | Motorizovaná | — | K dispozici | K dispozici |
Podtlak | — | — | K dispozici | |
Maximální počet objektivů | 1 | 5 | 5 | |
Polní číslo (mm) | 26,5 | 26,5 | 26,5 | |
Velikost apertury | — | — | K dispozici | |
Rozměry – bez BXFM-F, stativu, řídicí jednotky (Š × H × V) |
108 mm × 249 mm × 215 mm
(4,3 in. × 9,8 in. × 8,5 in.) |
108 mm × 249 mm × 230 mm
(4,3 in. × 9,8 in. × 9 in.) |
132 mm × 404 mm × 277 mm
(5,2 in. × 15,9 in. × 10,9 in.) |
*Tyto konfigurace jsou uvedeny jako příklad. S výběrem vhodných komponent, které budou splňovat vaše požadavky, vám poradí váš místní zástupce. |