功能

Nástroje pro pozorování a analýzu

• Špičkové analytické nástroje
• Pokročilý design vyhovující práci v čistých prostorech

Špičkové analytické nástroje

Díky univerzálním možnostem pozorování mikroskopů řady MX63 dosáhnete zřetelných a ostrých snímků, ze kterých mohou uživatelé spolehlivě vypozorovat vady ve vzorcích. Nové techniky osvětlení a možnosti pořizování snímků v softwaru PRECiV pro obrazovou analýzu poskytují uživatelům více možností pro vyhodnocování vzorků a dokumentování zjištěných nálezů.

Neviditelné se stává viditelným: pozorování a záznam MIX

Technika pozorování MIX přináší unikátní možnost pozorování kombinací tmavého pole s další metodou pozorování, jako je světlé pole, fluorescenční pozorování nebo pozorování v polarizovaném světle. Pozorování technikou MIX umožňuje uživatelům vidět vady, které by byly klasickými mikroskopy jen těžko pozorovatelné. Kruhový osvětlovač s LED diodou používaný pro pozorování ve tmavém poli nabízí funkci směrového tmavého pole, se kterou je v daný okamžik osvětlen pouze jeden kvadrant. To omezuje halaci vzorku a usnadňuje vizualizaci povrchové textury vzorku.

Struktura polovodičového wafru

Usazenina fotorezistu na polovodičovém wafru

Kondenzor

Snadné vytváření panoramatických snímků: okamžitá funkce MIA

Díky funkci MIA (Multiple Image Alignment) mohou uživatelé snadno a rychle spojit snímky dohromady jednoduše pomocí otočných voličů XY na ručním stolku – není zapotřebí motorizovaný stolek. Software PRECiV využívá funkci rozeznání vzorů k vytvoření panoramatických snímků a nabízí tak uživatelům širší zorné pole.

Obraz mince s použitím okamžité funkce MIA

Vytváření snímků se zaostřením na každý jeho bod: EFI

Funkce EFI (Extended Focus Imaging) softwaru PRECiV zachycuje snímky vzorků, jejichž výška přesahuje hloubku ostrosti objektivu, a automaticky je poskládá dohromady tak, aby vznikl jeden snímek, který je celý zaostřený. Funkce EFI, kterou lze používat jak s ruční, tak i s motorizovanou osou Z, vytváří výškovou mapu pro snadnou vizualizaci struktury. Podle potřeby můžete také vytvořit obraz EFI v režimu offline pomocí nástroje PRECiV Desktop.

Knoflíková nerovnost na integrovaném obvodu

Zachycení světlého i tmavého pole za použití HDR

Za použití pokročilého zpracování obrazu dokáže funkce osvětlení s širokým dynamickým rozsahem (HDR) přizpůsobit rozdíly v jasu obrazu a omezit tak vznik světelné reflexe. HDR přináší zlepšení vizuální kvality digitálních snímků, které umožňuje vytvářet profesionální zprávy.

Od základního měření po pokročilou analýzu

Měření je základem pro řízení kvality a procesů i pro provádění kontroly. S ohledem na tuto skutečnost nabízí i základní balíček softwaru PRECiV kompletní nabídku funkcí pro interaktivní měření, při kterém se veškeré výsledky měření ukládají společně s obrazovými soubory pro potřeby další dokumentace. Navíc řešení PRECiV Materials Solution nabízí intuitivní rozhraní orientované na pracovní postupy pro komplexní analýzu snímků. Analýzu obrazu lze rychle a přesně spustit jediným kliknutím na tlačítko. Díky výrazné úspoře času při provádění opakujících se úkonů se může obsluha soustředit na právě prováděnou inspekci.

> Získejte o softwaru PRECiV další informace

Efektivní tvorba protokolů

Vytvoření protokolu může častokrát trvat déle než samotné pořízení snímku a provedení měření. Software PRECiV nabízí možnost intuitivního vytváření protokolů, díky níž lze opakovaně generovat chytré a propracované protokoly na základě předem definovaných šablon. Provádění úprav je snadné a protokoly lze exportovat do formátů programů Microsoft Word nebo PowerPoint. Kromě toho funkce tvorby protokolů PRECiV umožňuje digitálně měnit měřítko a zvětšovat obrazy. Soubory protokolů mají rozumnou velikost, aby bylo možné data snadno sdílet prostřednictvím e-mailu.

> Získejte o softwaru PRECiV další informace

Pokročilý design vyhovující práci v čistých prostorech

Řada MX63 je navržena pro práci v čistých prostorech a nabízí funkce, se kterými omezíte riziko kontaminování nebo poškození vzorků. Systém se pyšní ergonomickým designem, se kterým je práce pro uživatele pohodlná i po delší době. Řada MX63 splňuje mezinárodní požadavky a normy, včetně standardu SEMI S2/S8, CE a UL.

Volitelná integrace nakladače wafrů – Systém AL120*

Volitelný nakladač wafrů je možné připevnit k výrobkům řady MX63 a bezpečně s jejich pomocí přenášet silikonové i kompozitní polovodičové wafry z pouzdra na pracovní stolek mikroskopu bez nutnosti používat pinzetu či hůlky. Díky proslulé efektivitě a spolehlivosti produktů můžete bezpečně a účinně provádět inspekci předních i zadních makro snímků a nakladač vám pomůže zlepšit produktivitu v laboratoři.

MX63 v kombinaci s nakladačem wafrů AL120 (200mm verze)

*AL120 není v EMEA k dispozici.

Rychlé a čisté inspekce

Mikroskopy řady MX63 umožňují kontrolu wafrů bez obav ze znečištění. Všechny motorizované součásti jsou umístěny ve stíněném pouzdře a rám mikroskopu, tubusy, kryt na ochranu před výdechem i ostatní části jsou ošetřeny antistatickým filmem. Otáčení motorizovaných otočných držáků objektivů je rychlejší a bezpečnější než v případě ručně ovládaných otočných držáků, což umožňuje snížit prodlevu mezi kontrolami; obsluha má přitom ruce pod úrovní wafru, což snižuje riziko znečištění.

Návrh systému umožňující efektivní pozorování

Pracovní stolek XY nabízí možnost hrubého i jemného posunu, a to díky kombinaci integrované spojky a otočných voličů XY. Pracovní stolek pomáhá zefektivnit pozorování i rozměrnějších vzorků, jako například wafrů o velikosti 300 mm.
Široký rozsah náklonu pozorovacího tubusu umožňuje obsluze zaujmout u mikroskopu pohodlnou polohu.

Kompatibilita s wafry všech velikostí