Řada MX63 je navržena tak, aby zákazníkovi umožnila vybrat si různé optické komponenty, vyhovující potřebám konkrétních kontrol a oblastí použití. Systém dokáže využívat všechny metody pozorování. Uživatelé si také mohou vybrat z řady různých balíčků PRECiV pro analýzu obrazu tak, aby balíček vyhovoval konkrétním potřebám pořizování a analýzy obrazů.
Systém MX63 dokáže zpracovat wafry do velikosti až 200 mm a systém MX63L wafry do velikosti až 300 mm se stejným využitím místa, jako u systému MX63. Modulární design usnadňuje přizpůsobení mikroskopu vašim konkrétním požadavkům
MX63 | MX63L |
Pozorování v infračerveném světle je možné provádět při použití IČ objektivů – operátoři tak mohou nedestruktivním způsobem kontrolovat vnitřní části čipů s integrovanými obvody usazených na desce plošných spojů, přičemž se využívá schopnost křemíku propouštět infračervené záření. IČ objektivy s pěti až 100násobným zvětšením jsou dostupné s korekcí chromatické aberace od viditelné vlnové délky až po blízkou IČ oblast. Zejména u objektivů se zvětšením 20x a více lze aberaci způsobenou vrstvou křemíku korigovat korekčním kroužkem a získat tak zřetelný obraz.
IČ objektivy | Bez korekce aberace | S korekcí aberace |