Schaltkreisstruktur-Prüfung bei Wafer-Proben

Wafer-Probe

Anwendung

Wenn sowohl die Schaltkreisstruktur als auch die Farbe einer Wafer-Probe mikroskopisch untersucht werden sollen, ist bei der konventionellen Methode eine Dunkelfeldbeleuchtung für die erste und eine Hellfeldbeleuchtung für die zweite Untersuchung erforderlich, wobei wiederholt zwischen den beiden Verfahren umgeschaltet werden muss. Dieses Mikroskopieverfahren ist zeitaufwendig, da bei der Erstellung eines Berichts für jedes Verfahren eine Bilderfassung erforderlich ist.

Die Lösung von Olympus

Die MX63/MX63L Mikroskope für die industrielle Prüfung von Halbleitern/FPD bieten eine effiziente Alternative zu herkömmlichen Mikroskopieverfahren: die MIX-Beleuchtungsfunktion. Mit der MIX-Beleuchtung können Schaltkreisstrukturen und Farbinformationen von Wafern gleichzeitig untersucht werden. Die Schärfe und Klarheit des MIX-Bildes trägt zur Verbesserung der Arbeitseffizienz und der Berichterstellung bei.

Merkmale der Produkte

• Rationellerer Arbeitsablauf
  Die MX63/MX63L Mikroskope verfügen über Funktionen, die den Arbeitsablauf bei der Prüfung von Anfang bis Ende erleichtern und auch in einer Reinraumumgebung weiterhin effizient sind.
• Benutzerfreundlich
  Die Einstellungen der MX63/MX63L Mikroskope lassen sich dank der Funktionen zur Unterstützung von Scharfeinstellung, Lichtstärke und Blendensteuerung einfach vornehmen. Die vereinfachte Bedienung der MX63/MX63L Mikroskope ermöglicht es auch weniger erfahrenen Mitarbeitern, Prüfungen unter den richtigen Beobachtungsbedingungen durchzuführen.
• Erweiterte Bildgebungstechnologie
  Die auf jahrzehntelangen Erfahrungen im Bereich der Optik beruhenden MX63/MX63L Mikroskope liefern klare, scharfe Bilder und damit zuverlässige Messergebnisse.
• Modularität
  Dank des modularen Aufbaus der MX63/MX63L Mikroskope können die Benutzer aus einer breiten Palette optischer Komponenten entsprechend den Anforderungen ihrer speziellen Anwendungen wählen. Das gewünschte System kann ohne übermäßige Investitionskosten aufgebaut werden.

MIX-Beleuchtung (Hellfeld- und Dunkelfeld-Beleuchtung)
Sowohl Wafer-Schaltkreisstruktur als auch Farbinformationen können scharf und deutlich erkannt werden.