Evident LogoOlympus Logo
洞见博客

Arbeitsschritte bei der technischen Sauberkeitsprüfung - Teil 6: Überprüfen von Ergebnissen und Berichterstellung

作者  -
Technical cleanliness

Identifizierung von Partikelaufnahmen, die gelöscht, zusammengelegt oder unterteilt werden sollen und Berichterstellung

In diesem abschließenden sechsten Teil dieser Artikelserie werden die Mittel für das Überprüfen von Ergebnissen und das Erstellen von Berichten verschiedener Daten untersucht. Gesamtübersicht der Arbeitsschritte der technischen Sauberkeitsprüfung mit Überprüfung der Ergebnisse und Berichterstellung:

  • Vorbereitungen
    • Extraktion
    • Filtration
    • Trocknen und Wiegen
  • Prüfung
    • Bilderfassung
    • Partikelerkennung
    • Größenmessung und Klassifizierung von Partikeln
    • Extrapolation der Partikelanzahl und Normalisierung
    • Berechnung des Verunreinigungsgrad
    • Definition des Sauberkeitscodes
    • Max. Abnahmeüberprüfung
    • Trennung von reflektiven und nicht reflektiven Partikeln
    • Faseridentifizierung
    • Überprüfung der Ergebnisse
    • Berichterstellung

Überprüfung der Ergebnisse

Die erkannten und klassifizierten Partikel können vor der Berichterstellung geprüft werden. Dies bietet Ihnen die Gelegenheit die Ergebnisse der Sauberkeitsprüfung genau zu überprüfen und zu bestätigen, bevor sie präsentiert werden. In der Regel werden die größten Partikel überprüft. Folgendes ist während der Überprüfung möglich:

  1. Löschen falsch identifizierter Partikel

    Fehler an der Filtermembran: z. B. durch falsches Trocknen entstandene Artefakte können falsche Partikel erkennen lassen. Diese fälschlicherweise identifizierten Partikel sollten gelöscht werden. Die falsche Partikelmarkierung sollte entfernt werden (Abbildung 1).

    Abbildung 1Abbildung 1Abbildung 1

    Abbildung 1: Artefakt fälschlicherweise markiert als Partikel (links). Gleiches Bild mit entfernter Markierung (Mitte). Gleiches Bild mit entfernter Artefaktmarkierung (rechts).

  2. Unterteilen von Partikel

    Wenn Partikel sehr nah zusammen sind, werden sie oft nicht einzeln erkannt und werden als ein großes Partikel erfasst. In diesem Fall sollten die Partikel als einzelne Partikel neu klassifiziert werden (Abbildung 2).

    Abbildung 2Abbildung 2Abbildung 2

    Abbildung 2: Mehrere Partikel fälschlicherweise als ein großes Partikel markiert (links). Gleiches Bild mit entfernter Markierung (Mitte). Gleiches Bild mit mehreren Partikeln, die als einzelne Partikel zu erkennen sind (rechts).

  3. Zusammenlegen von einzelnen Partikelfragmenten

    In anderen Fällen wird ein einzelnes Partikel fälschlicherweise als mehrere Partikel identifiziert. Dann sollten offensichtlich zusammengehörige Partikelfragmente zusammengelegt werden (Abbildung 3).

    Abbildung 3Abbildung 3Abbildung 3

    Abbildung 3: Zwei Partikelfragmente fälschlicherweise als einzelne Partikel markiert (links). Gleiches Bild mit entfernter Markierung (Mitte). Gleiches Bild mit richtig markiertem Partikel (rechts).

  4. Ändern der Partikelklassifizierung

    Stellen Sie eine falsche Klassifizierung des Partikels fest (z. B. ein reflektiver Partikel wurde fälschlicherweise als nicht reflektiver Partikel eingestuft), sollte die Klassifizierung geändert werden.

Berichterstellung

Ein Bericht einer technischen Sauberkeitsprüfung enthält alle Messergebnisse und Daten einer Filtermembran in standardisierter Form (Abbildung 4). Je nach Sauberkeitsnorm müssen spezifische Ergebnisse oder Messangaben (z. B. Kamera-Belichtungszeit, geprüfter/erfasster Probenbereich usw.) erfolgen. Einige Standards erfordern die Beschreibung gewisser Prüfparameter, wie Standardname und abgedeckter Partikelbereich.

Das Berichtformat ist nach Anforderungen der Messungen und der Spezifikationen des Zielunternehmens änderbar. Klassifizierungs-Tabellen und Bilder der größten angezeigten Partikel. Diese Informationen können in den verfügbaren Berichtsvorlagen der Prüfsoftware festgelegt werden.

Abbildung 4

Abbildung 4: Prüfberichte des OLYMPUS CIX100 Prüfsystems für technische Sauberkeit.

Die technische Sauberkeitsprüfung beinhaltet als zentrale Komponente, wie die meisten industriellen Herstellungsverfahren, Vorbereitungen und Arbeitsschritte, die wir in dieser sechsteiligen Artikelserie näher erläutern. Hoffentlich hat Ihnen diese Artikelserie die technischen Sauberkeitsprüfung verdeutlicht und Ideen geliefert, wie Arbeitsschritte optimiert und dauerhaft zuverlässige Prüfergebnisse gewährleistet werden können.

Ähnliche Artikel

Arbeitsschritte bei der technischen Sauberkeitsprüfung - Teil 1

Arbeitsschritte bei der technischen Sauberkeitsprüfung - Teil 2

Arbeitsschritte bei der technischen Sauberkeitsprüfung - Teil 3

Arbeitsschritte bei der technischen Sauberkeitsprüfung - Teil 4

Arbeitsschritte bei der technischen Sauberkeitsprüfung - Teil 5

Product Applications Manager, Olympus Corporation of the Americas, Scientific Solutions Group

A member of the Olympus team since 2016, Hamish provides product and application support for Olympus industrial microscope systems throughout the Americas. He is an expert in inspection applications, image analysis, measurement, and reporting, as well as custom optical solutions, with an emphasis on technical cleanliness and semiconductor equipment.

十一月 13, 2018
Sorry, this page is not available in your country
InSight Blog Sign-up
Sorry, this page is not available in your country
Let us know what you're looking for by filling out the form below.
Sorry, this page is not available in your country