激光显微镜解决方案

►Merkmale eines Laser-Mikroskops

3D-Mikroskopie/-Messung im Submikrometerbereich

Untersuchung von Stufen im Nanometerbereich und Messung von Höhenunterschieden im Submikrometerbereich.

ISO25178-konforme Messung der Oberflächenrauheit

Messung der Linien- und Flächenrauheiten.

Berührungslos, zerstörungsfrei und schnell

Keine Probenvorbereitung erforderlich – einfach die Probe auf dem Tisch platzieren und messen.

Herkömmliche Messgeräte		Laser-Mikroskop
Lichtmikroskop, Digitalmikroskop
•Messung kleiner Strukturen ist nicht möglich •Geringe laterale Auflösung •Messergebnisse sind nicht rückverfolgbar		•3D-Präzisionsmessung •0,12 μm laterale Auflösung • Rückverfolgbare Messergebnisse
Tastschnittgerät zur Messung der Oberflächenrauheit
•Kann die Oberfläche der Probe beschädigen • Informationen nur von einer Linie •Schwierig, die Tastspitze an eine Zielposition zu setzen		• Berührungsfreie Messung, keine Beschädigung der Probe • Erfassen der Informationen einer vollständigen Ebene •Punktgenaue Messung
•Weißlichtinterferometer
• Probleme bei der Messung steiler Flanken • Geringe laterale Auflösung macht die Positionierung schwierig • Korrektur für ungünstige Neigung		• Genaue Messung rauer Oberflächen durch Erfassung großer Steigungen •0,12 μm laterale Auflösung • Platzieren Sie einfach Ihre Probe auf der Stage und starten Sie die Messung
Rasterelektronenmikroskop (REM)
• Keine Farbinformation • Proben müssen vorab zerstört und vorbereitet werden • 3D-Messung ist nicht möglich		• Hochauflösende Farbmikroskopie • Zerstörungsfrei, keine Vorbereitung der Probe erforderlich • Präzise 3D-Messung