Mikroskoplösungen für
die Herstellung von Halbleitern
Dicing
Ein mit hoher Drehzahl rotierendes Sägeblatt zerteilt den Wafer in einzelne Chips.
Prüfung der Größe der Ausbrüche nach dem Wafer-Dicing
Nach dem Wafer-Dicing mit einem Sägeblatt prüfen die Bediener die zerteilten Kanäle auf übermäßige Absplitterungen und andere Schäden. Visuelle Prüfungen mit dem menschlichen Auge sind jedoch schwierig, und die Rasterelektronenmikroskopie (REM) ist zeitaufwändig.
Unsere Lösung
Unsere Digitalmikroskope der DSX-Serie und die konfokalen Lasermikroskope der OLS-Serie können die Chip-Größe messen. Die OLS-Serie wird für Prüfer empfohlen, die detaillierte und präzise Messungen der aufgeteilten Bereiche, der Größe der Ausbrüche und des Dice-Zustandes benötigen.
Digitalmikroskop der DSX-Serie | Laser-Scanning-Mikroskop der OLS-Serie | Digitales Mikroskopbild |
Anwendungsbeispiele
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