功能
Prüf- und Analysewerkzeuge
- Analysewerkzeuge der Spitzenklasse
- Modernstes Design für Konformität mit den Anforderungen von Reinräumen
Analysewerkzeuge der Spitzenklasse
Die Serie MX63 bietet vielfältige und flexible Mikroskopiefunktionen und liefert klare, scharfe Bilder, auf denen sich Defekte an Objekten zuverlässig erkennen lassen. Dank neuer Beleuchtungstechniken und Bildaufnahmeoptionen der PRECiV Bildanalyse-Software hat der Benutzer mehr Auswahlmöglichkeiten bei der Beurteilung von Objekten und der Dokumentation von Befunden.
Unsichtbares wird sichtbar: MIX-Beleuchtung und -Bildaufnahme
Die MIX-Beleuchtung liefert einzigartige mikroskopische Bilder durch Kombination der Dunkelfeldbeleuchtung mit einem anderen Kontrastverfahren, beispielsweise Hellfeld, Fluoreszenz oder Polarisation. Mit dem MIX-Verfahren lassen sich Defekte sichtbar machen, die mit herkömmlichen Mikroskopen schwierig zu erkennen sind. Die für die Dunkelfeldmikroskopie verwendete kreisförmige LED-Lichtquelle kann mit ihrer gerichteten Dunkelfeldfunktion zu einem gegebenen Zeitpunkt immer nur einen Quadranten zu beleuchten. Dies reduziert die Lichthofbildung und ist hilfreich bei der Visualisierung der Oberflächenbeschaffenheit von Objekten.
Struktur auf einem Halbleiter-Wafer
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Die integrierte Schaltung ist nicht klar sichtbar. | Die Farbe des Wafers ist nicht erkennbar. | Sowohl die Farbe des Wafers als auch die integrierte Schaltung werden deutlich dargestellt. |
Fotolackrückstände auf einem Halbleiter-Wafer
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Das Objekt ist nicht erkennbar. | Der Rückstand ist unscharf. | Sowohl das IC-Muster als auch der Rückstand sind deutlich erkennbar. |
Kondensor
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Die Oberfläche spiegelt. | Verschiedene Bilder mit gerichteter Dunkelfeldbeleuchtung aus verschiedenen Winkeln. | Durch das Zusammenfügen scharfer Bilder ohne Lichthofbildung entsteht ein scharfes Bild des Objekts. |
Einfaches Erstellen von Panoramabildern: Instant MIA
Mithilfe von Multiple Image Alignment (MIA) können Bilder durch einfaches Betätigen der XY-Knöpfe am manuell bedienbaren Tisch schnell und unkompliziert zusammengefügt werden – ein motorgesteuerter Tisch ist nicht erforderlich. PRECiV Software nutzt die Mustererkennung zur Erstellung von Panoramabildern, die dem Anwender ein größeres Sehfeld bieten.
Bild einer Münze mit Instant MIA
Scharfe Bilder des gesamten Objekts: EFI
Die Funktion Extended Focus Imaging (EFI) der PRECiV Software erfasst Bilder von Proben, deren Höhe über die Schärfentiefe des Objektivs hinausgeht, und stapelt sie zu einem einzigen Bild, das voll im Fokus ist. EFI kann mit einer manuellen oder einer motorgesteuerten Z-Achse ausgeführt werden und liefert Höhenkarten, die die Darstellung von Strukturen erleichtern. Die Erstellung von EFI-Bildern ist auch dann möglich, wenn der PRECiV Desktop offline ist.
Stud Bump auf einer integrierten Schaltung
Gleichzeitige Aufnahme von dunklen und hellen Bereichen mit HDR
Durch moderne Bildverarbeitung gleicht die HDR-Funktion Helligkeitsunterschiede in Bildern aus, um Lichtreflexe zu reduzieren. HDR verbessert die Bildqualität digitaler Bilder und unterstützt die Erstellung professionell aussehender Berichte.
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Einige Bereiche zeigen Lichtreflexe. | Sowohl dunkle als auch helle Bereiche werden mit HDR klar dargestellt. | Der TFT-Array erscheint im Vergleich zum hellen Farbfilter schwarz. | Mit HDR wird das TFT-Array deutlich dargestellt. |
Von einfachen Messungen zu anspruchsvollen Analysen
Messungen sind von entscheidender Bedeutung für Produktqualität, Prozesskontrolle und Prüfung. Daher bietet selbst die Einstiegsversion des PRECiV Softwarepakets ein umfassendes Menü von interaktiven Messfunktionen. Alle Messergebnisse werden zur weiteren Dokumentation zusammen mit den Bilddateien gespeichert. Darüber hinaus bietet die PRECiV Materials Solution eine intuitive, an Arbeitsabläufen orientierte Benutzeroberfläche für komplexe Bildanalysen. Alle Bildanalyseaufgaben können mit einem Mausklick schnell und präzise ausgeführt werden. Durch die deutliche Verkürzung der Verarbeitungszeit bei wiederholten Arbeitsschritten kann sich der Prüfer auf die aktuelle Prüfung konzentrieren.
Basismessung (Muster auf einer Platine) |
Software-Lösung zur Prüfung der Verteilung beim Elektroplattieren (Querschnitt durch eine Durchgangsbohrung in einer Leiterplatte) |
Software-Lösung Automatische Messung (Wafer-Struktur) |
> Erfahren Sie mehr über PRECiV
Effiziente Berichterstellung
Die Erstellung eines Berichts dauert oft länger als die Bildaufnahme und die Messungen selbst. Die PRECiV Software bietet intuitive Werkzeuge zur wiederholten Erstellung informativer und detaillierter Berichte mit vorformulierten Vorlagen. Die Bearbeitung ist einfach und die fertigen Berichte können in Microsoft Word oder PowerPoint exportiert werden. Darüber hinaus ermöglicht die Berichtfunktion der PRECiV Software digitales Zoomen und Vergrößern an aufgenommenen Bildern. Die Berichtdateien sind nicht übermäßig groß und lassen sich daher leicht per E-Mail versenden.
> Erfahren Sie mehr über PRECiV
Modernstes Design für Konformität mit den Anforderungen von Reinräumen
Die Serie MX36 ist für die Arbeit in Reinräumen konzipiert und reduziert das Risiko für eine Verunreinigung oder Beschädigung von Objekten. Das System hat ein ergonomisches Design, das auch bei längerer Verwendung komfortables Arbeiten ermöglicht. Die Serie MX63 entspricht internationalen Normen und Spezifikationen, darunter SEMI S2/S8, CE und UL.
Optionale Integration eines Wafer Loaders – das AL120 System*
Die Serie MX63 kann mit einem optionalen Wafer Loader ausgestattet werden, der sowohl Silizium- als auch Verbund-Halbleiter-Wafer aus einer Kassette auf den Mikroskoptisch transportiert, ohne dass Pinzetten oder Stäbe nötig sind. Die anerkannt leistungsfähigen und zuverlässigen Mikroskope ermöglichen eine sichere, effiziente Makro-Prüfung der Vorder- und Rückseite, der Loader erhöht die Produktivität im Labor.
MX63 kombiniert mit dem Wafer Loader AL120 (200 mm Modell)
* AL120 ist in der EMEA-Region nicht erhältlich.
Schnelle, saubere Prüfungen
Die Mikroskope der Serie MX63 ermöglichen die kontaminationsfreie Prüfung von Wafern. Alle motorgesteuerten Komponenten befinden sich einem geschützten Gehäuse, Mikroskopstativ, Tuben, Atemschutz und sonstige Teile bestehen aus antistatisch behandelten Materialien. Die Drehung des motorgesteuerten Objektivrevolvers erfolgt schneller und sicherer als bei manuellen Objektivrevolvern, sodass sich die Zeit zwischen den Prüfungen verkürzt. Gleichzeitig bleiben die Hände des Prüfers immer unterhalb des Wafers, was das Risiko von Kontaminationen reduziert.
Antistatischer Atemschutz |
Motorgesteuerter Objektivrevolver |
Systemdesign für effiziente Prüfungen
Dank der Kombination aus integrierter Kupplung und XY-Knöpfen kann der Kreuztisch sowohl grobe als auch feine Bewegungen ausführen. Der Tisch ermöglicht die effiziente mikroskopische Untersuchung auch von großen Objekten, beispielsweise 300 mm Wafern.
Durch den weiten Schwenkbereich des Beobachtungstubus kann der Prüfer in bequemer Haltung am Mikroskop sitzen.
Tischgriff mit integrierter Kupplung |
Der schwenkbare Beobachtungstubus erlaubt eine komfortable Sitzhaltung |
Geeignet für alle Wafer-Größen
Wafer-Halterung und Glasplatten | Das System arbeitet mit verschiedenen Typen von Wafer-Halterungen und Glasplatten für Wafer-Größen von 150–200 mm und 200–300 mm. Ändert sich die Größe der Wafer auf der Produktionsstraße, kann das Stativ zu minimalen Kosten angepasst werden. Mit Mikroskopen der Serie MX63 können verschiedene Tische verwendet werden, die für 75-mm-, 100-mm-, 125-mm- und 150-mm-Wafer auf der Prüfungslinie geeignet sind. |
