Herramientas de observación y análisis

• Herramientas de análisis vanguardistas
• Configuración avanzada para cumplir con la normativa de la sala blanca

Herramientas de análisis vanguardistas

Las versátiles capacidades de observación de la serie de microscopios MX63 permiten adquirir imágenes claras y nítidas para que los usuarios puedan detectar defectos en sus muestras de manera fiable. Las nuevas técnicas de iluminación y opciones de adquisición de imágenes que alberga el software de análisis de imágenes PRECiV facilitan a los usuarios más opciones para evaluar sus muestras y documentar sus hallazgos.

Lo invisible se hace visible: Observación y adquisición MIX

La tecnología de observación MIX produce imágenes excepcionales mediante la combinación del campo oscuro con otro método de observación, como el campo claro, la fluorescencia o la polarización. La observación combinada (MIX) permite que los usuarios visualicen defectos difíciles de detectar con los microscopios convencionales. En el caso de la observación de campo claro, el iluminador circular LED actúa en modo direccional para habilitar la iluminación exclusiva de un cuadrante en determinado momento. Esto reduce los problemas de halo en las muestras y es útil para distinguir sus texturas superficiales.

Estructura en oblea semiconductora

Residuo fotorresistente en una oblea semiconductora

Condensador

Fácil creación de imágenes panorámicas: MIA instantánea

Gracias a la alineación de imágenes múltiples (MIA), los usuarios pueden unir imágenes con rapidez y facilidad al girar solamente las perillas KY en la platina manual; no es necesaria una platina motorizada. El software PRECiV usa un reconocimiento de patrones para generar una imagen panorámica que da a los usuarios un campo visual más amplio que un único fotograma.

Imagen instantánea de una moneda tratada con la función MIA

Creación de imágenes totalmente enfocadas: EFI

La función de imágenes de enfoque extendido (EFI) del PRECiV captura imágenes de muestras cuya altura es superior a la de la profundidad de enfoque del objetivo y las apila para crear una imagen que está totalmente en el foco. La función EFI puede ejecutarse bien con el eje Z manual o motorizado; además, crea un mapa para una disfrutar de una visualización de estructura clara. También es posible construir una imagen EFI, estando fuera de línea, con la función PRECiV Desktop.

Golpe de perno en un chip IC

Captura tanto áreas claras como oscuras: HDR

Al usar el procesamiento de imágenes avanzado, el alto rango dinámico (HDR, por sus siglas en inglés) ajusta las diferencias en el brillo dentro de una imagen para reducir los destellos (o deslumbramiento). El HDR mejora la calidad visual de las imágenes digitales y, por lo tanto, ayuda a generar informes de aspecto profesional.

De la medición básica al análisis avanzado

La medición es esencial en la inspección y el control de calidad y procesos. Conscientes de ello, el paquete Entry del software PRECiV alberga un menú completo dotado de funciones de medición interactivas y cuyos resultados se almacenan junto a los archivos de imagen para una documentación más completa o adicional. Cabe agregar también que la solución para la ciencia de materiales del software PRECiV ofrece una interfaz intuitiva y orientada al flujo de trabajo para análisis de imágenes complejos. Con un clic de botón, las tareas analíticas de imágenes pueden ejecutarse de forma rápida y precisa. Es más, la reducción significativa en el tiempo de procesamiento para tareas repetidas, permite a los operadores concentrarse en la inspección en cuestión.

> Más información sobre el software PRECiV

Eficiente generación de informes

A menudo, la creación de un informe puede llevar más tiempo que capturar la imagen y adquirir las medidas. El software PRECiV ofrece una herramienta intuitiva para la creación de informes a fin de generar informes sofisticados y detallados basados en plantillas predeterminadas. La edición es sencilla y los informes pueden exportarse a los softwares Microsoft Word o PowerPoint. La función de generación de informes del software PRECiV permite el aumento digital y la magnificación en las imágenes adquiridas. Asimismo, el tamaño de los informes es razonable para su fácil distribución por correo electrónico.

> Más información sobre el software PRECiV

Configuración avanzada para cumplir con la normativa de la sala blanca

Los microscopios de la serie MX63 están desarrollados para funcionar en salas blancas; tienen características y funciones que permiten minimizar el riesgo de contaminación o daño en las muestras. El sistema posee un diseño ergonómico que ayuda a mantener a los usuarios cómodos, incluso durante un uso prolongado. La serie de microscopios MX63 cumple con las especificaciones y los estándares internacionales, como SEMI S2/S8, CE y UL.

Integración opcional del cargador de obleas: Sistema AL120* 

Es posible conectar un cargador de obleas opcional a la serie de microscopios MX63 para transferir de manera segura obleas de semiconductores compuestos y de silicio desde un casete a la platina del microscopio sin usar pinzas o varillas. El rendimiento y la fiabilidad reconocidos permiten macro inspecciones frontales y posteriores seguras y eficientes, mientras que el cargador ayuda a mejorar la productividad en el laboratorio.

Microscopio MX63 en combinación con el cargador de obleas AL120 (versión de 200 mm)

* AL120 no está disponible en EMEA.

Inspecciones rápidas y limpias

La serie de microscopios MX63 permite la inspección de obleas sin contaminación. Todos los componentes motorizados se alojan en una estructura blindada y el procesamiento antiestático se aplica al estativo del microscopio, los tubos, la protección para la respiración y otras partes. La velocidad de rotación del portaobjetos es más rápida y segura que la de los portaobjetos manuales, lo que reduce el tiempo entre inspecciones y mantiene las manos del operador debajo de la oblea, lo que reduce cualquier contaminación potencial.

Configuración de sistema para observaciones eficientes

La platina XY es capaz de efectuar desplazamientos gruesos o finos gracias a la combinación de un embrague incorporado y perillas XY. La platina permite que las observaciones sean eficientes, incluso en muestras grandes, como las obleas de 300 mm.
La amplia gama del tubo de observación inclinable permite a los operadores sentarse frente al microscopio manteniendo una postura cómoda.

Soporta todos los tamaños de obleas

Controles microscópicos intuitivos: Uso cómodo y fácil

La configuración del microscopio es fácil de determinar, lo que facilita a los usuarios el ajuste y la reproducción de los parámetros del sistema.

Halle el enfoque con rapidez: Ayuda en el enfoque

La ayuda de enfoque integrada en una trayectoria óptica permite un enfoque fácil y preciso en muestras de bajo contraste, como obleas básicas.

Imagen izquierda: Cuadrícula que indica desenfoque en la imagen. / Imágenes del centro: Cuadrícula que ayuda a enfocar. / Imagen derecha: Se puede obtener una imagen enfocada con facilidad.

Fácil recuperación de la configuración del microscopio: Hardware (instrumentación codificada)

Las funciones codificadas integran los ajustes del hardware de la serie MX63 con el software de análisis de imágenes PRECiV. El software registra automáticamente el método de observación, la intensidad de iluminación y el aumento, y almacena todos estos parámetros con las imágenes asociadas. Debido a que los parámetros pueden reproducirse con facilidad, cualquier nivel de operador puede efectuar las mismas inspecciones de calidad con una formación mínima previa.

Controles ergonómicos para una operación más rápida y cómoda

Los controles para alternar el objetivo y ajustar el tope de apertura están ubicados en la parte baja y en la parte frontal del microscopio para que los usuarios no tengan que soltar los tornillos (o perillas) de enfoque o alejar el cabezal de los oculares durante el uso.

Observaciones más rápidas a través del administrador de intensidad de luz y el control automático de apertura

En los microscopios convencionales, los usuarios deben ajustar la intensidad de la luz y la apertura en función del tipo de observación. La serie de microscopios MX63 permite a los usuarios configurar la intensidad de la luz y las condiciones de apertura con respecto a las diferentes magnificaciones y los métodos de observación. Estos ajustes pueden recuperarse con facilidad, lo que ayuda a los usuarios a ahorrar tiempo y mantener una óptima calidad de imagen.

Control de intensidad de luz

Control automático de apertura

Completamente personalizable

La serie MX63 se ha diseñado para que los clientes puedan seleccionar una serie de componentes ópticos y adaptarse a las inspecciones individuales y las necesidades de aplicación. El sistema puede usar todos los métodos de observación. Es posible seleccionar entre una variedad de paquetes pertenecientes al software de análisis de imágenes PRECiV con el fin de aprovechar las funciones del que mejor se adapta a sus necesidades de análisis y adquisición de imágenes individuales.

Dos sistemas se adaptan a diversos tamaños de muestra 

El sistema de microscopio MX63 puede acomodar obleas de hasta 200 mm, mientras que el sistema MX63L puede aceptar obleas de hasta 300 mm respetando el mismo y pequeño espacio de ocupación que el sistema MX63. La configuración modular facilita la personalización del microscopio para requisitos específicos.

Compatibilidad IR

La observación del infrarrojo puede llevarse a cabo con las lentes de objetivo IR, que permiten a los operadores inspeccionar de forma no destructiva el interior de los chips IC empaquetados y montados en una PCB, mediante el uso de las características del silicio transmitidas por el infrarrojo. Los objetivos de infrarrojos (IR) de 5X a 100X están disponibles con la corrección de las aberraciones cromáticas de las longitudes de onda de luz visible a través del infrarrojo cercano. Especialmente con una lente de objetivo de 20X o más, la aberración causada por la capa de silicio que cubre el objeto de observación se puede corregir mediante el collar de corrección para obtener una imagen clara.

La serie de microscopios MX63 está destinada a una variedad de aplicaciones de microscopía de luz reflejada. Las siguientes aplicaciones son un ejemplo de las formas de uso que puede llevar el sistema en las inspecciones industriales.

Imagen de luz infrarroja en una sección de electrodo

La luz infrarroja se usa para observar defectos internos en los chips de circuitos integrados y otros dispositivos fabricados con silicio sobre vidrio.

Película
Izquierda: campo claro. Derecha: luz polarizada.

La luz polarizada se usa para desvelar la textura de un material y el estado de los cristales. Es adecuada en la inspección de estructuras de obleas y paneles LCD.

Disco duro
Izquierda: campo claro. Derecha: DIC

El contraste de interferencia diferencial (DIC) se usa para ver muestras con diferencias sutiles de altura. El método es idóneo para inspeccionar muestras con diferencias minúsculas de altura, como cabezales magnéticos, discos duros, obleas pulidas.

Patrón de circuito integrado en una oblea de semiconductor
Izquierda: campo oscuro. Derecha: MIX (campo oscuro + campo claro)

El campo oscuro se usa para detectar rasguños o defectos minúsculos en una muestra o para inspeccionar muestras dotadas de superficies con efecto espejo, como las obleas. La iluminación MIX permite a los usuarios visualizar tanto los patrones como los colores.

Residuo fotorresistente en una oblea semiconductora
Residuo fotorresistente en una oblea semiconductora

La fluorescencia se usa en el caso de muestras que emiten luz cuando son iluminadas con un cubo de filtros especialmente desarrollado. Esta técnica permite detectar la contaminación y los residuos fotorresistentes. La iluminación combinada (MIX) permite la observación tanto de residuos fotorresistentes como de patrones de circuito integrado. 

Filtro de color LCD
Izquierda: luz transmitida. Derecha: MIX (luz transmitida + campo claro)

Esta técnica de observación es apropiada para muestras transparentes, tales como los LCD o materiales de plástico y vidrio.  La iluminación combinada (MIX) permite la observación tanto del color de filtro como el patrón de circuito.