功能
Herramientas de observación y análisis
- Herramientas de análisis vanguardistas
- Configuración avanzada para cumplir con la normativa de la sala blanca
Herramientas de análisis vanguardistas
Las versátiles capacidades de observación de la serie de microscopios MX63 permiten adquirir imágenes claras y nítidas para que los usuarios puedan detectar defectos en sus muestras de manera fiable. Las nuevas técnicas de iluminación y opciones de adquisición de imágenes que alberga el software de análisis de imágenes PRECiV facilitan a los usuarios más opciones para evaluar sus muestras y documentar sus hallazgos.
Lo invisible se hace visible: Observación y adquisición MIX
La tecnología de observación MIX produce imágenes excepcionales mediante la combinación del campo oscuro con otro método de observación, como el campo claro, la fluorescencia o la polarización. La observación combinada (MIX) permite que los usuarios visualicen defectos difíciles de detectar con los microscopios convencionales. En el caso de la observación de campo claro, el iluminador circular LED actúa en modo direccional para habilitar la iluminación exclusiva de un cuadrante en determinado momento. Esto reduce los problemas de halo en las muestras y es útil para distinguir sus texturas superficiales.
Estructura en oblea semiconductora
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El patrón de CI no está claro. | El color de la oblea es invisible. | Tanto el color de la oblea como el patrón IC están claramente representados. |
Residuo fotorresistente en una oblea semiconductora
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La muestra en sí es invisible. | El residuo no es claro. | Tanto el patrón de CI como el residuo están claramente representados. |
Condensador
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La superficie se refleja. | Varias imágenes con campo oscuro direccional desde diferentes ángulos. | Al unir imágenes claras sin halo mediante la aplicación mosaico, se crea una única imagen nítida de la muestra. |
Fácil creación de imágenes panorámicas: MIA instantánea
Gracias a la alineación de imágenes múltiples (MIA), los usuarios pueden unir imágenes con rapidez y facilidad al girar solamente las perillas KY en la platina manual; no es necesaria una platina motorizada. El software PRECiV usa un reconocimiento de patrones para generar una imagen panorámica que da a los usuarios un campo visual más amplio que un único fotograma.
Imagen instantánea de una moneda tratada con la función MIA
Creación de imágenes totalmente enfocadas: EFI
La función de imágenes de enfoque extendido (EFI) del PRECiV captura imágenes de muestras cuya altura es superior a la de la profundidad de enfoque del objetivo y las apila para crear una imagen que está totalmente en el foco. La función EFI puede ejecutarse bien con el eje Z manual o motorizado; además, crea un mapa para una disfrutar de una visualización de estructura clara. También es posible construir una imagen EFI, estando fuera de línea, con la función PRECiV Desktop.
Golpe de perno en un chip IC
Captura tanto áreas claras como oscuras: HDR
Al usar el procesamiento de imágenes avanzado, el alto rango dinámico (HDR, por sus siglas en inglés) ajusta las diferencias en el brillo dentro de una imagen para reducir los destellos (o deslumbramiento). El HDR mejora la calidad visual de las imágenes digitales y, por lo tanto, ayuda a generar informes de aspecto profesional.
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Algunas áreas son deslumbrantes. | Tanto las áreas oscuras como las brillantes están claramente expuestas mediante el HDR. | La matriz del transistor de película fina (TFT) se oscurece debido al brillo del filtro de color. | La matriz del TFT es expuesta mediante el HDR. |
De la medición básica al análisis avanzado
La medición es esencial en la inspección y el control de calidad y procesos. Conscientes de ello, el paquete Entry del software PRECiV alberga un menú completo dotado de funciones de medición interactivas y cuyos resultados se almacenan junto a los archivos de imagen para una documentación más completa o adicional. Cabe agregar también que la solución para la ciencia de materiales del software PRECiV ofrece una interfaz intuitiva y orientada al flujo de trabajo para análisis de imágenes complejos. Con un clic de botón, las tareas analíticas de imágenes pueden ejecutarse de forma rápida y precisa. Es más, la reducción significativa en el tiempo de procesamiento para tareas repetidas, permite a los operadores concentrarse en la inspección en cuestión.
Medida básica (patrón en una placa de circuito impreso) |
Solución de poder de penetración (corte transversal de un agujero pasante de una tarjeta de circuito impreso de PCB) |
Solución de medición automática (estructura de oblea) |
> Más información sobre el software PRECiV
Eficiente generación de informes
A menudo, la creación de un informe puede llevar más tiempo que capturar la imagen y adquirir las medidas. El software PRECiV ofrece una herramienta intuitiva para la creación de informes a fin de generar informes sofisticados y detallados basados en plantillas predeterminadas. La edición es sencilla y los informes pueden exportarse a los softwares Microsoft Word o PowerPoint. La función de generación de informes del software PRECiV permite el aumento digital y la magnificación en las imágenes adquiridas. Asimismo, el tamaño de los informes es razonable para su fácil distribución por correo electrónico.
> Más información sobre el software PRECiV
Configuración avanzada para cumplir con la normativa de la sala blanca
Los microscopios de la serie MX63 están desarrollados para funcionar en salas blancas; tienen características y funciones que permiten minimizar el riesgo de contaminación o daño en las muestras. El sistema posee un diseño ergonómico que ayuda a mantener a los usuarios cómodos, incluso durante un uso prolongado. La serie de microscopios MX63 cumple con las especificaciones y los estándares internacionales, como SEMI S2/S8, CE y UL.
Integración opcional del cargador de obleas: Sistema AL120*
Es posible conectar un cargador de obleas opcional a la serie de microscopios MX63 para transferir de manera segura obleas de semiconductores compuestos y de silicio desde un casete a la platina del microscopio sin usar pinzas o varillas. El rendimiento y la fiabilidad reconocidos permiten macro inspecciones frontales y posteriores seguras y eficientes, mientras que el cargador ayuda a mejorar la productividad en el laboratorio.
Microscopio MX63 en combinación con el cargador de obleas AL120 (versión de 200 mm)
* AL120 no está disponible en EMEA.
Inspecciones rápidas y limpias
La serie de microscopios MX63 permite la inspección de obleas sin contaminación. Todos los componentes motorizados se alojan en una estructura blindada y el procesamiento antiestático se aplica al estativo del microscopio, los tubos, la protección para la respiración y otras partes. La velocidad de rotación del portaobjetos es más rápida y segura que la de los portaobjetos manuales, lo que reduce el tiempo entre inspecciones y mantiene las manos del operador debajo de la oblea, lo que reduce cualquier contaminación potencial.
Protección antiestática para la respiración |
Portaobjetivos motorizado |
Configuración de sistema para observaciones eficientes
La platina XY es capaz de efectuar desplazamientos gruesos o finos gracias a la combinación de un embrague incorporado y perillas XY. La platina permite que las observaciones sean eficientes, incluso en muestras grandes, como las obleas de 300 mm.
La amplia gama del tubo de observación inclinable permite a los operadores sentarse frente al microscopio manteniendo una postura cómoda.
Empuñadura de platina con embrague incorporado |
Tubo de observación inclinable que proporciona una postura cómoda |
Soporta todos los tamaños de obleas
Porta obleas y placas de vidrio | El sistema funciona con varios tipos de soportes para obleas y placas de vidrio de 150 a 200 mm/ de 200 a 300 mm. Si el tamaño de las obleas cambia en la línea de producción, el estativo del microscopio puede modificarse a un costo mínimo. Gracias a la serie de microscopios MX63, es posible usar diferentes platinas para acomodar obleas de 75 mm, 100 mm, 125 mm y 150 mm en la línea de inspección. |
