La serie MX63 se ha diseñado para que los clientes puedan seleccionar una serie de componentes ópticos y adaptarse a las inspecciones individuales y las necesidades de aplicación. El sistema puede usar todos los métodos de observación. Es posible seleccionar entre una variedad de paquetes pertenecientes al software de análisis de imágenes PRECiV con el fin de aprovechar las funciones del que mejor se adapta a sus necesidades de análisis y adquisición de imágenes individuales.
El sistema de microscopio MX63 puede acomodar obleas de hasta 200 mm, mientras que el sistema MX63L puede aceptar obleas de hasta 300 mm respetando el mismo y pequeño espacio de ocupación que el sistema MX63. La configuración modular facilita la personalización del microscopio para requisitos específicos.
MX63 | MX63L |
La observación del infrarrojo puede llevarse a cabo con las lentes de objetivo IR, que permiten a los operadores inspeccionar de forma no destructiva el interior de los chips IC empaquetados y montados en una PCB, mediante el uso de las características del silicio transmitidas por el infrarrojo. Los objetivos de infrarrojos (IR) de 5X a 100X están disponibles con la corrección de las aberraciones cromáticas de las longitudes de onda de luz visible a través del infrarrojo cercano. Especialmente con una lente de objetivo de 20X o más, la aberración causada por la capa de silicio que cubre el objeto de observación se puede corregir mediante el collar de corrección para obtener una imagen clara.
Lentes de objetivo IR | Sin corrección de la aberración | Con corrección de la aberración |