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Analyse rapide des défauts

Analyse de wafers utilisés dans la conception de dispositifs à haute fréquence

Les semi-conducteurs composés peuvent fonctionner à des vitesses élevées et sous haute tension, ce qui les rend parfaitement adaptés aux applications 5G. Puisqu’il s’agit de composants de dispositifs électroniques essentiels, il est important de vérifier qu’ils ne comportent aucun défaut.

Analyse de wafers utilisés dans la conception de dispositifs à haute fréquence

Enjeux relatifs à l’analyse de wafers de semi-conducteurs

La présence de défauts sur les wafers est généralement contrôlée à l’aide de microscopes métallographiques. Un problème couramment rencontré est qu’il est facile de passer à côté d’un défaut lorsqu’on passe à un objectif à plus fort grossissement pour voir l’échantillon de plus près.

Imagerie polyvalente pour l’analyse rapide de wafers

Le microscope numérique DSX1000 permet de changer de mode d’observation (par exemple, de passer en contraste interférentiel) d’une simple pression sur un bouton. De plus, le zoom optique du microscope permet une transition en douceur d’une imagerie à l’échelle macroscopique vers une imagerie à l’échelle microscopique afin que vous ne perdiez de vue aucun défaut.

Observation de wafers en contraste interférentiel (CID)

Observation de wafers en contraste interférentiel (CID)

Observation de wafers en contraste interférentiel (CID) :
Méthode d’observation permettant de détecter la présence d’irrégularités, de corps étrangers et de rayures à l’échelle nanométrique

Microscope numérique DSX1000

Microscope numérique DSX1000

Observation de résidus de résine sur matériaux semi-conducteurs

La résine photosensible joue un rôle important dans le processus de gravure au cours de la fabrication de circuits intégrés. Le processus de lithographie pour la formation de circuits intégrés consiste à appliquer de la résine, à la masquer, à l’exposer, puis à la retirer. Les résidus de résine encore présents après le retrait peuvent poser des problèmes.

Observation de résidus de résine sur matériaux semi-conducteurs

Enjeux relatifs à l’inspection au microscope optique

Même lorsqu’un microscope optique est utilisé, des résidus de résine peuvent passer inaperçus. Il est important de choisir un microscope ayant les bonnes caractéristiques pour cette application.

Détection facile des résidus de résine

Le microscope métallurgique droit BX53M étant compatible avec une observation en fluorescence, il permet de détecter facilement les résidus de résine organiques ayant des propriétés électroluminescentes. Il est possible de distinguer les résidus de résine des autres contaminants puisque leurs caractéristiques d’émission sont différentes.


Mode d’observation MIX (fluorescence et champ sombre) :

Détection facile des résidus de résine

Résine présente sur un motif de circuit intégré

Détection facile des résidus de résine

Résidu de résine photosensible sur un échantillon de wafer

Microscope métallographique droit BX53M

Microscope métallographique droit
BX53M

Observation de l’état de moulage des guides d’ondes utilisés dans les communications optiques

Les fabricants doivent vérifier l’état de moulage des guides d’ondes optiques, qui sont des composants utilisés dans les communications optiques. Puisqu’un guide d’onde optique est entouré de verre, l’observation à l’aide de l’épi-illumination (lumière réfléchie) d’un microscope est impossible. Un éclairage par transmission est essentiel pour cette application.

Observation de l’état de moulage des guides d’ondes utilisés dans les communications optiques

Enjeux relatifs aux contrôles effectués à l’aide d’un microscope numérique ou de mesure

Il est possible d’observer des guides d’ondes optiques à l’aide d’un microscope de mesure à lumière transmise ou d’un microscope numérique classique. Toutefois, l’image observée sera généralement floue ou imprécise.

Observation claire de l’état du moulage

Lorsque le microscope métallographique droit BX53M est utilisé conjointement avec la caméra pour microscope numérique DP74, ses performances optiques élevées et sa fonction d’observation en contraste interférentiel vous permettent d’observer l’état de moulage d’un guide d’ondes optique et d’acquérir des images haute résolution.

Observation claire de l’état du moulage

Microscope métallographique droit BX53M

Microscope métallographique droit
BX53M

Caméra pour microscope numérique DP74

Caméra pour microscope numérique
DP74

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