Une méthode intelligente de contrôle de la contamination appliquée à la métrologie et à l'inspection à haute cadence

La conception d'instruments de métrologie permettant des inspections à haute cadence représente un défi courant dans les industries de fabrication de semi-conducteurs, d'écrans plats et de diodes électroluminescentes organiques (OLED).

En tant que fournisseur de premier plan de composants optiques pour les FEO, Olympus offre des composants de microscopes de haute qualité aux concepteurs d'instruments qui développent des équipements optiques adaptés aux domaines de l'inspection, de la production et de la recherche. Pour l’inspection de la qualité dans l'industrie manufacturière, la conception réfléchie de ces unités permet d'améliorer le rendement (autrement dit, le pourcentage d'articles non défectueux sur l'ensemble des articles produits).

Par exemple, les unités de microscopie intégrées dans un dispositif d'inspection à haute cadence nécessitent souvent des commandes à distance intuitives afin que les utilisateurs de tous niveaux puissent effectuer des inspections facilement et avec précision. Avec des commandes simples, vous pouvez régler la mise au point, la position d’observation de l'échantillon, les méthodes d'observation et le grossissement de façon à obtenir rapidement une image appropriée pour l'inspection. Nous proposons diverses unités à commande motorisée, telles qu'un microscope avec axe Z motorisé, un illuminateur motorisé, un analyseur motorisé, un boîtier de commande et un interrupteur de commande manuelle.

Nous proposons également une tourelle porte-objectifs motorisée avec fonction d'aspiration (U-D5BDREMC-VA) capable d'améliorer la propreté tout en offrant vitesse et durabilité. Pour ceux qui n'en ont jamais manipulé, une tourelle porte-objectifs comprend plusieurs objectifs offrant différents grossissements. En fonction des besoins, les utilisateurs peuvent observer un échantillon selon un grossissement différent en faisant tourner la tourelle.

_{Tourelle porte-objectif motorisée}

Contrôle des contaminations dans les industries des semi-conducteurs, des écrans plats et des diodes OLED

Pour les inspecteurs des industries de fabrication de semi-conducteurs, d'écrans plats et de diodes OLED, la propreté est une préoccupation majeure pour la production de produits au fonctionnement optimal. Ainsi, les équipements d'inspection sont utilisés dans des environnements contrôlés, tels que des salles blanches. Aucune poussière ne doit s'échapper de la tourelle porte-objectifs et tomber sur un échantillon, tel qu'un wafer de semi-conducteur. Même un minuscule grain de poussière peut contaminer le wafer, compromettre sa fonctionnalité et affecter le rendement du produit.

Notre tourelle porte-objectifs motorisée avec fonction d'aspiration (U-D5BDREMC-VA) applique une aspiration basse pression pour réduire la quantité de particules fines qui tombent lors de la rotation de la tourelle porte-objectifs, ainsi que pour capturer le gaz ou la poussière générés par la graisse utilisée pour lubrifier le système. Du fait de sa fonction d'aspiration, la tourelle porte-objectifs convient pour une utilisation dans un environnement contrôlé en salle blanche. La tourelle porte-objectifs peut être utilisée comme module de microscope intégré dans les équipements d'inspection de semi-conducteurs et d'écrans plats.

_{Tourelle porte-objectifs avec fonction d'aspiration pour contrôler les contaminations}

Diverses tourelles porte-objectifs destinées notamment à l'inspection de wafers de semi-conducteurs

Nous proposons tout une gamme de tourelles porte-objectifs intégrables dans des systèmes utilisés pour l'inspection, la production et la recherche. Notre sélection comprend des options manuelles et motorisées.

• Tourelle porte-objectifs manuelle : notre gamme peut être utilisée pour diverses méthodes d'observation (fond clair, fond noir et contraste interférentiel différentiel [DIC]), peut accueillir quatre à sept objectifs, est conforme aux spécifications pour les ESD, et plus encore.
• Tourelle porte-objectifs avec fonction de codage : ce type de tourelle porte-objectifs manuelle peut détecter la position du trou de montage de l'objectif de la tourelle. À l'aide d'un logiciel, vous pouvez associer le grossissement de l'objectif avec sa position sur la tourelle, ce qui vous permet d'ajouter plus rapidement le grossissement à l'image prise tout en réduisant le risque d'erreurs de saisie manuelle.
• Tourelle porte-objectifs motorisée : ce type de tourelle porte-objectifs déplace cinq ou six objectifs de manière électrique. Une tourelle porte-objectif motorisée avec fonction d'aspiration est également disponible.
• Tourelle porte-objectifs avec fonction de centrage : ce type de tourelle porte-objectifs vous permet de centrer l'axe optique de l'objectif manuellement ou électriquement. Ce centrage change la position du trou de la tourelle porte-objectifs pour s'adapter aux légers décalages de chaque objectif. Tous les objectif installés peuvent ainsi être alignés. Ce réglage vous permet d’observer exactement la même position centrale avant et après le changement d’objectif.
• Adaptateur de monture d'objectif : cet adaptateur (STM7-MMOBAD) vous permet de n'utiliser qu’un seul objectif. Il s'agit d'une option économique si vous n'avez pas besoin de plusieurs objectifs pour votre application. Notez que l'adaptateur n'est fourni qu'avec la vis RMS W26 et n’a aucun trajet optique pour l’éclairage en fond noir.

_{L'adaptateur de monture d'objectif (STM7-MMOBAD) vous offre une certaine flexibilité en vous permettant de fixer un seul objectif à un système qui peut en accueillir plusieurs. À gauche : un seul objectif est fixé à l'aide de l'adaptateur de monture d'objectif. Au centre : avant de fixer la tourelle porte-objectifs. À droite : plusieurs objectifs sont fixés à l'aide d'une tourelle porte-objectifs.}

Pour en savoir plus sur nos solutions pour les FEO, visitez le centre de ressources OEM sur notre site dédié aux sciences de la vie. Vous pouvez y télécharger les fiches techniques de nos dispositifs ainsi que les données CAO 3D pour connaître les caractéristiques techniques de nos tourelles porte-objectifs.

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