Les lentilles d’objectif dédiées à l’infrarouge (IR) offrent une solution clés en main pour l’imagerie numérique dans le proche IR
Le protocole classique d’analyse des défaillances des composants microélectroniques nécessite l’inspection non destructive des pistes de circuits imprimés à travers le silicium, tout en conservant l’intégrité mécanique du produit fini. Les techniques non invasives, comme l’imagerie microscopique dans le proche IR, permettent de réaliser l’inspection directement à travers une épaisseur de silicium allant jusqu’à 650 µm. Les applications de cette technique comprennent la recherche de courts-circuits à l’intérieur d’un produit (traces de brûlure, de tension, etc.), la vérification de l’alignement des soudures (analyse des repères d’alignement entre des circuits reliés étroitement), l’inspection après les tests électriques (tous types de défaillances) et la recherche de signes d’endommagement des puces (défauts matériels, contamination, etc.).
La solution est nécessairement numérique pour répondre aux exigences de la plupart des laboratoires de R et D et d’analyse des défaillances en matière de mesure des défauts, de création de rapports et d’archivage d’images. En raison de la nature intrinsèque de cette application, le contraste natif est minimal et doit faire l’objet d’une optimisation au moyen d’un logiciel d’analyse d’images. La non-uniformité de l’éclairage crée un phénomène de vignettage ou d’assombrissement de la périphérie de l’image, qui doit être supprimé numériquement lors de l’acquisition d’images, que celles-ci soient enregistrées ou visualisées en temps réel. Bien que la microscopie à lumière réfléchie soit idéale pour éclairer un échantillon par le haut, la technologie IR à lumière transmise est conçue pour un éclairage par en dessous à travers la couche de silicium, ce qui permet un contraste plus élevé. La lumière transmise se révèle ainsi particulièrement utile pour l’inspection de l’alignement des pistes et des repères de calage à travers le silicium.
Un système proche IR numérique complet
Notre gamme d’objectifs UIS2 dédiés à l’IR offre une solution clés en main pour l’imagerie numérique dans le proche IR. Les objectifs UIS2 dédiés au proche IR de dernière génération offrent un facteur de transmission supérieur dans le proche IR et comprennent des bagues de correction (objectifs 20x, 50x et 100x) à régler selon l’épaisseur du silicium afin de maximiser le facteur de transmission et la performance. La caméra numérique XM10-IR d’Olympus permet d’obtenir des images à contraste élevé sur tout le spectre proche IR jusqu’à 1100 nm, tout en conservant un grand champ d’observation grâce au large capteur CCD de 2/3 po. La caméra XM10-IR est commandée au moyen du logiciel d’analyse d’images OLYMPUS Stream®, contrairement aux autres solutions d’imagerie IR, afin d’offrir une correction de l’ombre en temps réel pour maximiser l’uniformité de l’image sur tout le champ d’observation. De plus, l’utilisateur peut maximiser facilement le contraste à la fois sur les images IR en temps réel et sur les images IR enregistrées. Le logiciel OLYMPUS Stream offre également la possibilité de réaliser des mesures précises à n’importe quel endroit du champ d’observation de l’image, de créer automatiquement des rapports et d’archiver les images et les données pertinentes.
Idéale pour l’imagerie de haute qualité et l’inspection à travers le silicium, notre solution complète d’imagerie numérique dans le proche IR inclut :
- un microscope composé IR droit (série BX) ou un microscope composé dédié à l’inspection IR de wafers (série MX) (les microscopes IR de la série MX permettent une observation IR simultanée en lumière réfléchie et en lumière transmise),
- des objectifs UIS2-IR,
- une caméra numérique CCD 1,4 MP haute sensibilité FireWire XM10-IR,
- le logiciel d’analyse d’images OLYMPUS Stream.
Obtenez immédiatement des résultats
Notre système numérique proche IR clés en main permet d’obtenir des images de haute qualité à travers une couche de silicium, de réaliser des mesures précises, de créer des rapports convaincants et d’archiver des images, le tout sans endommager le produit fini. De plus, grâce à l’utilisation d’un capteur numérique proche IR, la rétention caractéristique de l’image des caméras analogiques à tube en sulfure de plomb est éliminée. Cette solution complète n’en est pas moins conviviale : toute personne ayant des connaissances de base en microscopie et en imagerie peut obtenir immédiatement des résultats concrets.
Images obtenues à l’aide de divers objectifs UIS2-IR, d’un microscope composé droit BX2M-IR, d’une caméra numérique XM10-IR et du logiciel OLYMPUS Stream :
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| Objectif UIS2-IR 10x |
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| Objectif UIS2-IR 20x |
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| Objectif UIS2-IR 50x |
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| Objectif UIS2-IR 100x |
