OLS4100
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Le microscope numérique à balayage laser LEXT OLS4100 permet d’effectuer des observations en 3D et des mesures sans contact de caractéristiques de surface avec une résolution de 10 nanomètres. Ce microscope industriel OLS4100 est doté de fonctionnalités particulières pour l'acquisition rapide d’images et la production d'images microscopiques haute résolution sur une grande zone.
- Métrologie exceptionnelle
- Garantie double performance First* de l'Industrie
- Image de grande qualité
- Flux de travaux systématique via une interface graphique intuitive
Métrologie exceptionnelle
Gamme d'échantillons plus grande
Imagerie de pentes allant jusqu'à 85°
Le microscope numérique à balayage laser LEXT OLS4100 permet d’effectuer des observations en 3D et des mesures sans contact de caractéristiques de surface avec une résolution de 10 nanomètres. Ce microscope industriel est doté de fonctionnalités particulières pour l'acquisition rapide d’images et la production d'images microscopiques haute résolution sur une grande zone.
 Rasoir avec un angle aigu |  LEXT-Objectifs dédiés |  Aberrations minimisées avec un objectif dédié |
Mesures de micro profil avec une haute résolution de 10 nm
 (MPLAPON50XLEXT) STEP Hauteur standard Type B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Allemagne, détection 6 nm de la mesure de la hauteur | Les capacités de ce microscope permettent également de faire des mesures submicroniques de la surface d'un échantillon et des mesures de la micro rugosité d'une surface irrégulière. Une échelle linéaire précise de la résolution à 0,8 nanomètre et des algorithmes informatiques, tels que notre courbe I-Z d'origine, permettent de distinguer des différences de hauteur de 10 nanomètres. |
Surmonter les écarts de réflectance
 Outil diamant plaqué par électrolyse Lentille : MPlanApoN50xLEXT | Le microscope optique numérique OLS4100 utilise un système confocal double qui intègre des trajectoires optiques confocales. En association avec un détecteur de haute sensibilité pour des images 3D précises issues d'un échantillon constitué de matériaux de différentes caractéristiques de réflectance. (Pour en savoir plus sur la réflectance, la mesure d'échantillons transparents et les autres possibilités d’imagerie du microscope professionnel OLS4100, consulter notre galerie.) |
Applicable à des couches transparentes
 | Mode multicouches |
 | Observation / Mesure de couches multiples d'un matériau transparent |
Garantie double performance First* de l'Industrie
Précision et répétabilité
 | La performance d'un outil de mesure est généralement exprimée en utilisant deux termes différents : la « précision », qui indique la proximité d'une valeur de mesure de sa vraie valeur, et la « répétabilité », qui indique le degré de variations parmi des mesures répétées. Le OLS4100 est le premier microscope à balayage laser de l'industrie à garantir à la fois la précision et la répétabilité. |
Système de traçabilité
 | Un système rigoureux de production a été mis en place pour chacun des composants du microscope OLS4100. De la lentille à la tête laser, Olympus fournit uniquement des systèmes de la haute qualité grâce au respect des normes les plus exigeantes. Lors de la livraison, des ingénieurs qualifiés réalisent un réglage et un étalonnage final dans l'environnement de mesure réel. |
Large éventail de types de mesure
Mesure par pas Ce mode permet de mesurer un pas entre deux points choisis arbitrairement sur un profil de surface. Une mesure du profil est également disponible. | Mesure de la rugosité de surface Ce mode permet de mesurer la rugosité de ligne sur une ligne et la rugosité de plan sur toute la surface. | Mesure d'aire ou de volume Grâce à la définition, par l’utilisateur, d'un seuil pour un profil de surface, ce mode permet de mesurer le volume (ou l'aire) d'une géométrie au-dessus ou en dessous du seuil. |
Mesure de particules (en option) Avec la fonction de séparateur, ce mode permet de séparer automatiquement les particules, de régler le seuil et de paramétrer la plage de détection dans une zone d’étude. | Mesures géométriques Ce mode permet de mesurer la distance entre deux points choisis arbitrairement sur une image géométrique. La forme géométrique et l'angle pour les cercles, les rectangles, etc. sont mesurés. | Mesure de l'épaisseur d'un film (en option) Ce mode permet de mesurer l'épaisseur d'un film présent sur un corps transparent en détectant les changements de l'indice de réfraction. |
Détection / Mesure automatiques des bords (en option) Ce mode permet de mesurer la largeur d'une ligne ou un diamètre en détectant automatiquement les bords sur une image géométrique. Ce mode réduit les incertitudes en éliminant les erreurs de l’opérateur. |
OLYMPUS Stream (en option)
Solution de flux de travaux pour améliorer la performance de l'analyse d'images
Lorsqu’ils choisissent le microscope industriel OLS4100, un réglage et un étalonnage final sont effectués par des ingénieurs qualifiés dans l'environnement de mesure réel. De plus, les clients ont la possibilité d'ajouter directement au OLS4100 le logiciel de micro imagerie numérique OLYMPUS Stream, qui permet d'analyser la taille des grains et d'évaluer le taux des inclusions non métalliques.
Pour en savoir plus sur OLYMPUS Stream >
Amélioration de la mesure de la rugosité
Paramètres du LEXT OLS 4100
Spécialement conçu pour améliorer les mesures de la rugosité et l'analyse de surface, le microscope industriel LEXT OLS4100 est calibré de la même matière que les jauges de rugosité des surfaces de contact. Il dispose des paramètres de rugosité et des filtres requis par les normes ISO et JQA. Les utilisateurs de jauges de rugosité de surfaces de contact peuvent donc obtenir des résultats cohérents avec leurs instruments existants tout en profitant de mesures plus rapides et sans contact. Un mode spécifique à la rugosité de surface permet de mesurer un profil de rugosité pour des longueurs d’échantillon de maximum de 100 nm avec une fonction d'assemblage automatique en ligne.
| Profil primaire | Pp, Pv, Pz, Pc, Pt, Pa, Pq, Psk, Pku, Psm, PΔq, Pmr(c), Pδc, Pmr |
|---|---|
| Profil de rugosité | Rp, Rv, Rz, Rc, Rt, Ra, Rq, Rsk, Rku, Rsm, RΔq, Rmr(c),Rδc, Rmr, RZJIS, Ra75 |
| Profil d'ondulation | Wp, Wv, Wz, Wc, Wt, Wa, Wq, Wsk, Wku, Wsm, WΔq, Wmr(c), Wδc, Wmr |
| Courbe de l'aire d'appui | Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2 |
| Motif | R, Rx, AR, W, Wx, AW, Wte |
| Profil de rugosité (JIS 1994) | Ra(JIS1994), Ry, Rz(JIS1994), Sm, S, tp |
| Autres | R3z, P3z, PeakCount |
Prêt pour les paramètres de la prochaine génération
Le microscope OLS4100 est livré avec des paramètres de rugosité (3D) conformes à la norme ISO25178 pour effectuer une évaluation fiable de la zone plane.
| Paramètres d'amplitude | Sq, Ssk, Sku, Sp, Sv, Sz, Sa |
|---|---|
| Paramètres fonctionnels | Smr(c), Sdc(mr), Sk, Spk, Svk, SMr1, SMr2, Sxp |
| Paramètres volumétriques | Vv(p), Vvv, Vvc, Vm(p), Vmp, Vmc |
| Paramètres latéraux | Sal, Str |
Les performances du microscope OLS4100 peuvent être comparées aux résultats d'une jauge de rugosité de surface.
Micro rugosité
  | Les jauges de rugosité des surfaces de contact ne peuvent pas mesurer des micro-contours dont la taille est inférieure au diamètre de la pointe du stylet. Grâce à son point laser au diamètre réduit, le microscope professionnel OLS4100 est capable de mesurer la rugosité de surfaces de très petites géométries avec une haute résolution. |
Mesure sans contact
Les stylets durs en forme d'épingle utilisés par les jauges de rugosité de surface de contact risquent de griffer la surface de l'échantillon souple. Par contre, dans le cas d’échantillons adhésifs, le stylet peut s'accrocher à l'échantillon et être endommagé lors de son retrait. Le OLS4100 est un microscope industriel sans contact qui peut identifier correctement une position de mesure et effectuer facilement des mesures précises de la rugosité de surfaces de très petites zones, quelles que soient les conditions de texture de la surface.
 Échantillon souple  Échantillon adhésif |
|
Mesure des caractéristiques de l’ordre du micron
|  | Les jauges de rugosité des surfaces ne sont pas capables de mesurer des caractéristiques microniques, car leurs stylets ne peuvent pas accéder à ces zones. Le microscope OLS4100 peut identifier correctement une position de mesure et effectuer facilement des mesures de la rugosité d'une surface cible très petite. |
Image de grande qualité
Images en couleurs 3D parfaitement nettes
Trois types d'images intégrées
Le microscope industriel OLS4100 peut saisir trois types d'information en même temps : une image de microscope optique en couleur naturelle, une image de microscope laser et une carte des hauteurs. Les opérateurs peuvent aussi capturer une image au microscope optique composée uniquement de pixels mis au point et l'intégrer à une image prise au microscope optique en couleur naturelle qui contient les informations de hauteur pour obtenir des images 3D en couleur de la rugosité de surface parfaitement nettes.
Reproduction des couleurs naturelles
 Image 3D en couleur naturelle |  Image laser 3D confocale |  Cartographie de la hauteur |
 Image couleur 2D (points par jet d'encre sur papier, lentille d’objectif 20x) |  Image couleur 3D (points par jet d'encre sur papier, lentille d’objectif 20x) | Grâce à une lumière LED blanche et à une caméra CCD avec un excellent rendu des couleurs, le microscope industriel OLS4100 produit des images en couleur nettes d'aspect naturel comparables à celles obtenues avec des microscopes optiques haut de gamme. |
Reproduction réaliste de la surface, DIC laser (Contraste d'interférences différenciées)
 Image laser sans DIC (film polymère) | Reproduisant de manière réaliste la surface, le contraste d'interférences différenciées (DIC) est une méthode d'observation utilisée pour visualiser les contours de surfaces de l’ordre du nanomètre qui dépassent le pouvoir de résolution d'un microscope laser. Le mode laser DIC du microscope industriel OLS4100 vous permet d'obtenir des images en temps réel comparables à celles obtenues avec un microscope électronique et des grossissements relativement faibles. |
 Image laser avec DIC (film polymère) |  Image laser sans DIC (lentille d’objectif 5x) STEP Norme de la hauteur Type B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Allemagne |  Image laser avec DIC (lentille d’objectif 5x) STEP Norme de la hauteur Type B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Allemagne, Hauteur réelle de l'élément de mesure : 6 nm |
Optimisation de l'équilibre entre luminosité et contraste, imagerie HDR (High Dynamic Range - Plage dynamique élevée)
 Image en couleur sans HDR (tissu haute densité, lentille d’objectif 20x, zoom 1x) | En plus des capacités présentes dans la version antérieure, la fonction Plage dynamique élevée (HDR) du microscope OLS4100 combine plusieurs images capturées à différentes expositions. La luminosité, le contraste, la texture et la saturation sont contrôlés individuellement pour la plage dynamique élevée afin de créer des images dotée d’une large plage dynamique. Résultat : une visualisation nette d'une image en couleur, notamment dans les cas d’échantillons dépourvus de texture. |
 Image en couleur avec HDR (tissu haute densité, lentille d’objectif 20x, zoom 1x) |
Algorithme |
Stabilisation des mesures et environnements d'image
 Mécanisme hybride d'amortissement des vibrations | Afin d'éliminer les influences externes sur les mesures et l'imagerie, le microscope OLS4100 est équipé d'un mécanisme hybride d'amortissement des vibrations qui utilise des ressorts et du caoutchouc amortisseur pour stabiliser l'environnement opérationnel. Les supports dédiés d’amortissement des vibrations deviennent donc inutiles, ce qui permet d'effectuer des mesures sur n'importe quel bureau. |
Flux de travaux systématique via une interface graphique intuitive
Processus simple en trois étapes
Avec le microscope LEXT OLS4100, l'observation ou la mesure démarre dès que l'échantillon est placé sur la platine. Notre processus simple en trois étapes (« Imagerie, Mesures et Rapports ») facilite la maîtrise des procédures de mesure, même chez les novices de la microscopie laser.
Garder une trace de l'échantillon
Fonctionnalité de cartographie macro
 | Une fois que vous avez reçu votre microscope OLS4100, vous pouvez placer un échantillon sur la platine et commencer immédiatement les observations ou les mesures. Notre processus en trois étapes (« Imagerie, Mesures et Rapports ») permet de maîtriser rapidement les procédures de mesure, même chez les novices de la microscopie laser industrielle. Il leur suffit de sélectionner le mode de fonctionnement adapté à leur niveau d'expérience. |
Assemblage rapide de cartographie macro
 | Deux méthodes d'assemblage sont disponibles pour balayer de grandes zones : le mode manuel pour l'acquisition d’images en temps réel et le mode automatique pour l’acquisition plus rapide d’images. Le fonctionnement est rapide et simple. L'assemblage 2D se fait simplement en touchant un bouton, et des images de grandes zones sont capturées immédiatement. En mode automatique, les dimensions d'assemblage sont disponibles en cinq étapes en 3x3, 5x5, 7x7, 9x9 et 21x21. Les parties des images capturées qui ne sont pas utiles peuvent également être retirées manuellement à l'aide d'une souris ou d'un joystick. |
Smart Scan pour une imagerie 3D en toute simplicité
Acquisition automatique d'images 3D
Puisque le balayage 3D conventionnel exige des réglages difficiles pour les utilisateurs novices, Smart Scan les aide à acquérir en un clic des images 3D de la rugosité. En plus du paramétrage des limites inférieures et supérieures, la luminosité est automatiquement réglée par le système en fonction de l'image à capturer. Toutes ces fonctions accélèrent les processus d'imagerie, de mesure et de génération de rapports, en plus de les rendre fiables pour les mêmes utilisations par tous les opérateurs.
Contrôle automatique de la luminosité
Contrôle de la luminosité sur un plan Contrôle de la luminosité avec une gamme de hauteurs.
Réduction accrue du temps d'acquisition
Amélioration de la vitesse de balayage
Le nouveau mode ultra rapide permet l'acquisition d’images par balayage deux fois plus rapidement qu’avec le mode rapide conventionnel et environ neuf fois plus rapidement qu’avec le mode fin. Il est ainsi possible de mesurer des micro échantillons avec des angles très prononcés, tels que la pointe d'un couteau, difficiles à observer en raison du mouvement le long de l'axe Z et du grossissement important.
Nombre d'images acquises dans un temps défini :
Le temps de balayage réel varie en fonction du grossissement et de la plage d'acquisition selon l'axe Z.
Acquisition très rapide des zones requises uniquement
 Acquisition avec un balayage complet |  Acquisition avec balayage de bandes (1/8ème ) | Le microscope OLS4100 est également livré avec un mode de balayage de bandes pour mesurer des zones cibles limitées et produire des mesures 1/8ème plus rapidement qu’avec les modes conventionnels. |
Nouveau mode d'assemblage à grande vitesse
Spécifie des zones cibles à partir d'images assemblées sur des zones plus grandes.
Comme dans la cartographie macro, la zone à observer peut être spécifiée à partir d'une carte des zones étendues. En mode automatique, une carte des zones peut être générée automatiquement en environ deux fois moins de temps en paramétrant un assemblage rectangulaire de 625 images maximum. L'observation peut commencer dès que la zone cible est spécifiée sur la carte des zones.
 |
Zone d'assemblage : carré (21x3) 63 pièces |
Spécification manuelle des zones d'images requises
 | En mode Temps réel, la zone à observer peut être sélectionnée manuellement en traçant les régions requises à l'écran. C'est idéal lorsque l'échantillon a une forme irrégulière. |
Acquisition rapide d'images
 Mode Smart Scan |  Mode d'acquisition conventionnel | En mode Smart Scan, il suffit d'un clic sur un bouton. Puisque l'emplacement sur l'axe Z est réglé automatiquement, l'acquisition d’images dans la direction de l'axe Z peut être restreinte à la zone requise uniquement en vue d’obtenir une observation rapide et très puissante sur une zone étendue. |
Rapports personnalisables d’un clic sur un bouton
 | Après les mesures, le microscope professionnel OLS4100 génère des rapports personnalisables par simple clic sur un bouton. Une fonction de modification permet également à l'opérateur de personnaliser chaque modèle de rapport. Rien de plus simple, également, de copier et coller des résultats de mesure dans un document ou une feuille de calcul ou de récupérer des images ou des rapports à partir d'une base de données. |
Solutions en un clic
 | La fonction d'assistant, conçue par l'utilisateur, élimine la nécessité de suivre une longue formation et permet aux nouveaux opérateurs de l’utiliser rapidement. |