Outils d’observation et d’analyse

• Outils d’analyse de pointe
• Conception avancée pour renforcer la conformité des salles blanches

Outils d’analyse de pointe

Les capacités d’observation polyvalentes de la série MX63 fournissent des images claires et nettes permettant ainsi aux utilisateurs de détecter de manière fiable les défauts présents dans leurs échantillons. Les nouvelles techniques d’éclairage et options d’acquisition d’images du logiciel d’analyse d’images PRECiV offrent aux utilisateurs davantage de possibilités pour évaluer leurs échantillons et documenter leurs résultats.

L’invisible devient visible : observation et acquisition MIX

Avec la combinaison d’un fond noir à une autre méthode d’observation, telle qu’un fond clair, la fluorescence ou la polarisation, la technologie d’observation MIX produit des images d’observation uniques. L’observation MIX permet aux utilisateurs de visualiser des défauts difficiles à voir avec des microscopes classiques. L’illuminateur circulaire à DEL utilisé pour l’observation sur fond noir dispose d’une fonction de fond noir directionnel où un seul quadrant est illuminé à un instant donné. Outre qu’il réduit le halo de l’échantillon, cet illuminateur est utile pour observer la texture de surface d’un échantillon.

Structure sur une plaquette de semi-conducteur

Résidu de résine photosensible sur un wafer semi-conducteur

Condenseur

Création simplifiée d’images panoramiques : image MIA instantanée

Avec l’alignement d’images multiples (MIA), les utilisateurs peuvent rapidement assembler des images en déplaçant les boutons KY sur la platine manuelle. Une platine motorisée n’est pas nécessaire. Le logiciel PRECiV utilise la fonction de reconnaissance de structures pour générer une image panoramique qui offre à l’utilisateur un champ d’observation plus étendu.

Image MIA instantanée d’une pièce de monnaie

Création d’images mises au point : imagerie à profondeur de champ étendue

La fonction d’imagerie à profondeur de champ étendue (EFI) du logiciel PRECiV saisit plusieurs images d’échantillons dont la hauteur dépasse la profondeur de mise au point de l’objectif et les superpose pour créer une image entièrement nette. La fonction EFI peut être exécutée avec un axe Z manuel ou motorisé et crée une carte de la hauteur pour faciliter la visualisation de la structure. Il est également possible de construire une image EFI en mode hors ligne avec Stream Desktop.

Bosse sur une puce électronique

Capture des zones lumineuses et des zones sombres avec la HDR

À l’aide du traitement avancé d’images, la fonction de grande plage dynamique (HDR) ajuste les différences de luminosité dans une image pour réduire les reflets. La fonction HDR améliore la qualité visuelle des images numériques et donne ainsi une qualité professionnelle aux rapports.

Des mesures de base à une analyse avancée

Les mesures sont essentielles pour le contrôle des processus et de la qualité, ainsi que pour l’inspection. Dans cette optique, même le logiciel PRECiV d’entrée de gamme comprend un menu complet de fonctions de mesure interactives, avec tous les résultats de mesure enregistrés avec les fichiers d’images pour une meilleure documentation. De plus, la solution PRECiV Materials offre une interface intuitive et orientée sur le flux de travaux pour l’analyse d’images complexes. Il suffit de cliquer sur un bouton pour exécuter avec précision des tâches d’analyse d’images. Le gain de temps apporté par le traitement des tâches répétitives permet aux opérateurs de se concentrer sur l’inspection à accomplir.

> En savoir plus sur le logiciel PRECiV

Création efficace de rapports

Générer un rapport peut souvent prendre plus de temps que la prise de vue et la réalisation des mesures. Le logiciel PRECiV offre une fonction de création de rapports intuitive qui permet de produire de façon répétée des rapports intelligents et sophistiqués s’appuyant sur des modèles prédéfinis. L’édition est simplifiée et les rapports peuvent être exportés vers les logiciels Microsoft Word ou PowerPoint. La fonction de création de rapports du logiciel PRECiV permet aussi de faire un zoom numérique et d’agrandir les images prises. La taille des fichiers des rapports est raisonnable et facilite ainsi l’échange de données par courriel.

> En savoir plus sur le logiciel PRECiV

Conception avancée pour renforcer la conformité des salles blanches

Conçue pour fonctionner dans une salle blanche, la série MX63 présente des caractéristiques qui réduisent au minimum le risque de contamination ou d’endommagement des échantillons. La conception ergonomique du système aide les utilisateurs à garder une position confortable, même lors d’une utilisation prolongée. La série MX63 est conforme aux spécifications et aux normes internationales, y compris SEMI S2/S8, CE et UL.

Intégration d’un chargeur de wafers en option ― système AL120* 

Un chargeur de wafers peut être monté en option sur la série MX63 pour transférer en toute sécurité des wafers de silicium et des composés semi-conducteurs, depuis la cassette jusqu’à la platine du microscope sans utiliser de pinces ou de manipulateurs. Ses performances et sa fiabilité reconnues permettent de réaliser des inspections macro avant et arrière sûres et efficaces, tandis que le chargeur améliore la productivité du laboratoire.

Microscope MX63 avec le chargeur de wafers AL120 (version 200 mm)

* Le AL120 n’est pas disponible dans la région EMEA.

Inspections rapides et propres

La série MX63 assure des inspections de wafers sans contamination. Tous les composants motorisés sont placés dans une structure blindée et un traitement antistatique est appliqué au statif, aux têtes, à l’écran anti-respiration, et à d’autres pièces. La vitesse de rotation des tourelles porte-objectifs motorisées est plus rapide et plus sûre que celle des tourelles manuelles, ce qui réduit le temps entre les inspections. L’opérateur peut également garder les mains sous le wafer et réduire ainsi le risque de contamination.

Système conçu pour permettre des observations efficaces

La platine XY est capable d’effectuer des mouvements à la fois grossiers et fins grâce à l’association d’un embrayage intégré et de boutons XY. La platine améliore l’efficacité des observations, même pour des échantillons de grande taille, comme des wafers de 300 mm.
La large plage d’inclinaison des têtes d’observation permet de travailler dans une position confortable.

Accepte toutes les tailles de wafers

Commandes intuitives du microscope : confort et facilité d’utilisation

Simples à utiliser, les réglages du microscope permettent aux utilisateurs d’effectuer des ajustements et de reproduire les paramètres du système.

Trouver rapidement le point focal : aide à la mise au point

L’insertion d’une aide à la mise au point dans le chemin optique permet d’effectuer une mise au point précise sur des échantillons à faible contraste, comme des plaquettes nues.

Image de gauche : Le quadrillage indique que l’image est floue. /
Images du centre : Le quadrillage aide à la mise au point. /
Image de droite : Il est facile d’obtenir une image mise au point.

Récupération facile des paramètres du microscope : matériel codé

Les fonctions codées intègrent les paramètres matériels de la série MX63 dans le logiciel d’analyse d’images PRECiV. La méthode d’observation, l’intensité d’éclairage et le grossissement sont automatiquement enregistrés par le logiciel et stockés avec les images correspondantes. Les réglages pouvant être facilement reproduits, n’importe quel opérateur peut effectuer les mêmes contrôles qualité avec une formation minimale.

Commandes ergonomiques pour une rapidité et un confort d’utilisation

Les commandes permettant de changer l’objectif et de régler l’ouverture du diaphragme sont placées en bas à l’avant du microscope afin que les utilisateurs n’aient pas besoin de lâcher les boutons de mise au point ou d’éloigner les yeux des oculaires pendant l’utilisation du microscope.

Observations plus rapides grâce au gestionnaire d’intensité lumineuse et à la commande d’ouverture automatique

Dans les microscopes traditionnels, les utilisateurs doivent régler l’intensité lumineuse et l’ouverture à chaque observation. La série MX63 leur permet de régler l’intensité lumineuse et les conditions d’ouverture pour différents grossissements et procédés d’observation. Ces réglages peuvent être facilement récupérés, d’où un gain de temps et une qualité d’image toujours optimale.

Gestionnaire d’intensité lumineuse

Contrôle d’ouverture automatique

Entièrement modulable

La série MX63 a été conçue pour permettre au client de choisir, parmi un grand nombre de composants optiques, ceux qui conviennent à ses besoins d’inspections et d’applications. Le système peut utiliser tous les procédés d’observation. Les utilisateurs peuvent aussi choisir parmi diverses solutions d’analyse d’images du logiciel PRECiV pour répondre à leurs besoins d’acquisition et d’analyse d’images.

Deux systèmes qui gèrent des tailles d’échantillon diverses

Le système MX63 peut accueillir des wafers pouvant atteindre 200 mm alors que le système MX63L peut prendre en charge des wafers pouvant atteindre 300 mm avec la même petite surface de contact que le système MX63. La conception modulaire facilite l’adaptation du microscope à vos besoins spécifiques.

Compatibilité IR

Une observation infrarouge peut être effectuée avec les lentilles d’objectif IR. Celles-ci permettent aux opérateurs d’inspecter de façon non destructive l’intérieur des puces à circuit intégré encapsulées et montées sur une carte de circuits imprimés en utilisant les caractéristiques du silicium qui transmet la lumière infrarouge. Des objectifs IR 5X à 100X sont disponibles, avec correction des aberrations chromatiques à partir des longueurs d’onde de la lumière visible jusqu’au proche infrarouge. En particulier avec un objectif de grossissement 20X ou plus, l’aberration causée par la couche de silicium recouvrant l’objet d’observation peut être corrigée par la bague de correction pour obtenir une image claire.

La série MX63 est utilisée dans tout un éventail d’applications de microscopie en réfléchi. Ces applications sont des exemples d’utilisation du système pour des inspections industrielles.

Image IR d’une section d’électrode

La lumière infrarouge (IR) est utilisée pour inspecter les défauts présents à l’intérieur des microcircuits intégrés (puces) ou d’autres dispositifs fabriqués avec du silicium sur du verre.

Film
(à gauche : fond clair / à droite : lumière polarisée)

La lumière polarisée est utilisée pour révéler la texture du matériau et l’état des cristaux. Elle convient pour inspecter des structures de wafers et de LCD.

Disque dur
(à gauche : fond clair / à droite : CID)

Le contraste interférentiel différentiel (CID) aide à observer des échantillons dont les différences de hauteur sont infimes. Il est idéal pour inspecter des échantillons présentant des différences de hauteur minuscules, comme des têtes magnétiques, des disques durs et des wafers polis.

Motif de CI sur un wafer semi-conducteur
(à gauche : fond noir / à droite : MIX [fond clair + fond noir])

Le fond noir est utilisé pour détecter de petites rayures ou des défauts de petite taille sur un échantillon et pour inspecter des échantillons dont les surfaces sont des miroirs, comme les wafers. L’éclairage MIX permet aux utilisateurs de voir à la fois les couleurs et les motifs.

Résidu de résine photosensible sur un wafer semi-conducteur
(à gauche : fluorescence/à droite : MIX [fluorescence + fond noir])

La fluorescence est utilisée pour des échantillons qui émettent de la lumière lorsqu’ils sont éclairés avec un cube filtre spécialement conçu à cet effet. Cette méthode permet de détecter une contamination et des résidus de photorésine. L’éclairage MIX permet d’observer des résidus de photorésine et des motifs de puces.

Filtre de couleurs LCD
(à gauche : lumière transmise / à droite : MIX [lumière transmise + fond clair])

Cette technique d’observation est adaptée à des échantillons transparents tels que les LCD, les plastiques et le verre. L’éclairage MIX permet d’observer la couleur du filtre et les motifs du circuit.