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Analisi rapida dei difetti
Analisi dei wafer per semiconduttori utilizzati nei dispositivi ad alta frequenzaI semiconduttori compositi possono eseguire elaborazioni ad alta velocità e alta tensione, condizioni perfette per le applicazioni 5G. Poiché si tratta di componenti per dispositivi elettronici importanti, l'ispezione dei difetti è fondamentale. Complessità di misurazione dei semiconduttori di waferL'ispezione dei wafer in genere è eseguita con i microscopi metallografici. Una delle comuni problematiche è la perdita di inquadratura di un difetto al cambio dell'obiettivo di ingrandimento. | Imaging flessibile per una rapida misurazione del waferIl microscopio digitale DSX1000 consente il passaggio da un tipo di osservazione a un altro, come il contrasto d'interferenza differenziale, semplicemente premendo un tasto. Inoltre, lo zoom ottico del microscopio consente il passaggio continuo da imaging macro a micro per non perdere l'inquadratura del difetto. Osservazione DIC di difetto del wafer:
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Osservazione di residui fotoresistenti nei materiali dei semiconduttoriI materiali fotoresistenti hanno un ruolo importante nell'incisione per la formazione Complessità nell'ispezione con microscopia otticaAnche con un microscopio ottico è possibile la mancata individuazione di residui fotoresistenti. È importante scegliere un microscopio con caratteristiche adeguate a tale scopo. | Rilevamento semplificato dei residui fotoresistentiIl microscopio metallografico verticale BX53M supporta l'osservazione in fluorescenza e rappresenta una semplice soluzione per il rilevamento dei residui organici fotoresistenti con proprietà di emissione luminosa. Per distinguere i residui fotoresistenti da altre contaminazioni si osservano le differenze delle caratteristiche di emissione.
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Osservazione della condizione della stampa di guide d'onda ottiche di comunicazioneI produttori devono convalidare la condizione dello stampaggio delle guide d'onda ottiche, componenti utilizzati nelle comunicazioni ottiche. Poiché la guida d'onda ottica è circondata da vetro, non è possibile l'osservazione tramite illuminazione epi (luce riflessa) del microscopio. Per questa applicazione è indispensabile l'illuminazione trasmessa. Complessità dell'ispezione tramite microscopio digitale o di misuraÈ possibile osservare le guide d'onda ottica utilizzando un microscopio di misura a luce trasmessa o un microscopio digitale tradizionale, ma l'immagine osservata in genere risulta sfocata o poco chiara. | Osservazione nitida della condizione dello stampatoSe utilizzato con la fotocamera per microscopio digitale DP74, la funzione di interferenza differenziale e le elevate prestazioni ottiche del microscopio metallografico verticale BX53M consentono la chiara osservazione e acquisizione di immagini in alta risoluzione della condizione dello stampato di una guida d'onda ottica.
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