功能
Strumenti di osservazione e analisi
- Strumenti di analisi all'avanguardia
- Progettazione all'avanguardia per supportare la conformità alla camera sterile
Strumenti di analisi all'avanguardia
Le versatili funzionalità di osservazione della serie MX63 permettono di ottenere delle immagini chiare e nitide in modo che gli utenti possano rilevare in modo affidabile i difetti nei propri campioni. Le nuove tecniche di illuminazione e le opzioni di acquisizione delle immagini del software di analisi delle immagini PRECiV offrono agli utenti maggiori possibilità per la valutazione dei campioni e la documentazione dell'esito dell'analisi.
L'invisibile diventa visibile: Osservazione e acquisizione MIX
La tecnologia di osservazione MIX produce delle eccezionali immagini delle osservazioni combinando un altro metodo di osservazione come il campo chiaro, la fluorescenza o la polarizzazione. L'osservazione MIX permette agli utenti di osservare i difetti che sono difficili da vedere con microscopi convenzionali. L'illuminatore circolare a LED usato per l'osservazione a campo scuro ha una funzione direzionale a campo scuro dove viene illuminato solamente un quadrante alla volta. Questo permette di ridurre l'alone del campione, risultando utile per la visualizzazione della tessitura superficiale del campione.
Struttura su wafer semiconduttore
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Lo schema IC non è chiaro. | Il colore del wafer non è visibile. | Il colore del wafer e lo schema IC sono chiaramente rappresentati. |
Residuo di fotoresist su un wafer semiconduttore
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Il campione non è visibile. | Il residuo non è chiaro | Lo schema IC e il residuo sono chiaramente rappresentati. |
Condensatore
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La superficie è riflessa. | Alcune immagini con campo scuro direzionale da diversi angoli. | Unendo insieme delle immagini chiare senza aloni viene creata una nitida singola immagine del campione. |
Facile creazione di immagini panoramiche: MIA istantanea
Attraverso la funzionalità Multiple image alignment (MIA) gli utenti possono unire insieme immagini in modo facile e veloce, semplicemente spostando le manopole KY sul tavolino manuale (un tavolino motorizzato non è necessario). Il software PRECiV utilizza la funzione di riconoscimento dello schema per generare un'immagine panoramica fornendo agli utenti un campo visivo più ampio.
Immagine MIA istantanea di una moneta
Creazione di immagini completamente a fuoco
La funzione Extended Focus Imaging (EFI) del PRECiV permette di acquisire immagini di campioni con altezze che superano la profondità di campo dell'obiettivo e di unirle insieme per creare un'immagine completamente a fuoco. La funzione EFI può essere eseguita mediante un asse Z manuale o motorizzato, inoltre crea una mappatura delle altezze facilitando la visualizzazione strutturale. In aggiunta è possibile costruire un'immagine EFI mentre si è offline con PRECiV Desktop.
Stud bump su un chip IC
Acquisizione delle aree chiare e scure mediante HDR
Mediante operazioni di elaborazione di immagini avanzata, la funzione HDR (High Dynamic Range - elevato campo dinamico), regola le differenze di luminosità di un'immagine per ridurre i riflessi. La funzione HDR migliora la qualità delle immagini digitali, facilitando la generazione di report dall'aspetto professionale.
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Alcune aree sono riflettenti. | Aree chiare e scure hanno un'esposizione ottimale mediante l'HDR. | La serie di TFT appare nera a causa della luminosità del filtro del colore. | La serie di TFT ha un'esposizione ottimale mediante l'HDR. |
Dalla misura di base all'analisi avanzata
La misura è essenziale a fini di assicurazione qualità, gestione del processo e ispezione. Tenendo in considerazione questo aspetto, anche il pacchetto software di base PRECiV include un menu completo di funzioni di misura interattive con tutti i risultati di misura salvati con file di immagini per successive operazioni di documentazione. Inoltre la soluzione PRECiV Materials offre un'interfaccia intuitiva e orientata sul flusso di lavoro per l'analisi di immagini complesse. Cliccando su un pulsante le operazioni di analisi delle immagini possono essere eseguite in modo veloce e preciso. Con una riduzione significativa dei tempi per le operazioni ripetute, gli operatori possono concentrarsi sull'ispezione.
Misura di base (pattern o circuito stampato) |
Soluzione Throwing power (sezione trasversale di un foro passante di un PCB) |
Soluzione Automatic measurement (struttura Wafer) |
> Maggior informazioni sul software PRECiV
Efficiente creazione di report
I tempi di creazione di un report possono risultare spesso maggiori rispetto a quelli necessari per l'acquisizione di immagini e la presa di misure. Il software PRECiV permette la creazione intuitiva dei report per produrre in continuo dei report efficienti e avanzati basati su modelli predefiniti. La modifica risulta semplice e i report possono essere esportati nei software Microsoft Word o PowerPoint Inoltre la funzione di creazione di report del software PRECiV permette di effettuare zoom digitali e ingrandimenti sulle immagini acquisite. I file dei report sono di dimensioni contenute per semplificare la condivisione dei dati per email.
> Maggior informazioni sul software PRECiV
Progettazione all'avanguardia per supportare la conformità alla camera sterile
La serie MX63 è progettata per operare in una camera sterile e integra funzionalità che aiutano a minimizzare il rischio di campioni alterati o contaminati. Il sistema ha un design ergonomico che aiuta a assicurare agli utenti un'operatività confortevole, anche se prolungata. La serie MX63 è conforme con le specifiche e le norme internazionali, includendo SEMI S2/S8, CE, and UL.
Integrazione di opzionale caricatore di wafer ― Sistema AL120*
Alla serie MX63 può essere fissato un opzionale caricatore di wafer per trasferire, in modo sicuro, dei wafer semiconduttori, in silicio e composti, da un caricatore al tavolino del microscopio, senza l'uso di pinzette o bacchette. Prestazioni e affidabilità riconosciute permettono di eseguire delle ispezioni macroscopiche anteriori e posteriori in modo sicuro e efficiente, mentre il caricatore aiuta a migliorare la produttività in laboratorio.
MX63 combinato con il caricatore di wafer AL120 (versione da 200 mm)
* AL120 non è disponibile in EMEA.
Ispezioni veloci e pulite
La serie MX63 permette di effettuare delle ispezioni senza contaminazione. Tutte le componenti motorizzate sono integrate in una struttura protetta e un trattamento antistatico viene applicato allo stativo, ai tubi, al breath shield e a altre componenti. La velocità di rotazione del revolver motorizzato è più veloce e sicura rispetto ai revolver manuali. Questo consente una diminuzione del tempo tra ispezioni e il mantenimento delle mani dell'operatore sotto al wafer, riducendo quindi la contaminazione potenziale.
Breath shield antistatico |
Revolver motorizzato |
Design del sistema per delle efficienti osservazioni
Il tavolino XY è in grado di effettuare spostamenti del tavolino micrometrici e macrometrici, grazie alla frizione integrata e alle manopole XY. Il tavolino aiuta a svolgere osservazioni in modo efficiente, anche per campioni di grandi dimensioni come i wafer da 300 mm.
L'ampio angolo applicabile del tubo di osservazione inclinabile permette agli operatori di sedersi davanti al microscopio in una postura confortevole.
Impugnatura del tavolino con frizione integrata |
Tubo di osservazione inclinabile per una postura confortevole |
Compatibilità di tutte le dimensioni dei wafer
Supporti del wafer e piattelli in vetro | Il sistema funziona con diversi tipi di supporti per wafer da 150-200 m/200-300 mm e piattelli in vetro. Nel caso in cui nella linea di produzione cambino le dimensioni dei wafer, lo stativo può essere modificato con costi minimi. Con la serie MX63, possono essere usati diversi tavolini per accogliere wafer da 75 mm, 100 mm, 125 mm e 150 mm sulla linea di ispezione. |
