レーザー顕微鏡による微細形状測定
バリ
アプリケーション
金属部品や加工品はその用途にあったシーンで使用するために様々な工作機械や加工方法を用い、金属に切削や研磨施すことで形成されます。例えば円筒や円盤状の工作物を回転させて加工する旋削や、工具を回転させて工作物を切削するフライス加工は金属加工において代表的ですが、その際に加工面のエッジにバリと呼ばれる突起が残ることがあります。バリは言わば金属の残材部分で本来は不要なものです。このバリが残っていることで固定したり繋げたりする部品としての機能が十分に発揮できなかったり、出来上がった工作物に触れた際に怪我をするなど様々な弊害が起きる可能性があるため、工程ではバリ除去をすることが必須となります。この際に、適正にバリが取れているかどうかを評価するために、正確に形状を把握する必要が出てきます。
オリンパスのソリューション
オリンパスの3D測定レーザー顕微鏡LEXTは405nmの半導体レーザーとコンフォーカル光学系の採用で、機械加工により生じた微細なバリも簡単に3D化することができるので、バリの有無の確認はもちろん、高さの計測も正確に行えます。斜面の検出能力にも優れており、急峻な形状を持つバリもありのままを画像化することができます。
画像
| 標準的な顕微鏡画像 |
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