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激光扫描显微镜的基本原理
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目次
1. レーザー顕微鏡の原理
1-1. コンフォーカル光学系
1-2. 2次元走査
1-2-1. 音響光学偏向素子(AOD)
1-2-2. ポリゴンミラー
1-2-3. 共振動型ガルバノミラー
1-3. 共焦点効果とエクステンドフォーカス画像
1-4. 3次元画像
2. レーザー顕微鏡の分解能
2-1. CTF(contrast transfer function)
3. レーザー顕微鏡の計測精度
3-1. 平面方向の計測
3-2. 高さ方向の計測（3次元計測）
4. レーザー顕微鏡のソフトウェア
4-1. 画像処理
4-2. 解析(計測)
4-3. 表示
5. オリンパスの工業用レーザー顕微鏡の原理的な特長
5-1. 405nmレーザースキャン
5-2. 405nm専用対物レンズ
5-3. 高速で低歪率の2次元スキャンと優れた平面分解能
5-4. CFOサーチ
5-5. レーザー微分干渉(DIC)
5-6. 反射率の異なる素材を含む複合サンプルや急斜面の検出力の向上
5-7. 非接触、非破壊な観察、検査、測定
5-8. 極小レーザースポットによる、微細な凹凸の測定
5-9.「正確性」と「繰り返し性」の２つの性能保証とトレーサビリティの確保
6. アプリケーション事例