概述
高品質な小型コンポーネント顕微鏡BXCシリーズは、装置組み込みに適したコンパクトな光学検査モジュールです。このコンポーネント顕微鏡は、既製品のまま、装置に組み込むことができます。 |
ニーズに応じて、自由な装置設計を当社のBXシリーズの一つであるBXCシリーズは、コンパクトで、装置に組み込みやすく設計されています。モジュール化されており、多目的に対応できるため、ウエハーの位置合わせやバンプ測定、および画像貼り合わせでの検査やイメージングなどのさまざまな装置に適しています。 BXCシリーズの構成例
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高性能対物レンズ
画像のフラットネス向上 MPLFLN シリーズのMPLFLN2.5X、MPLFLN5X、MPLFLN5XBDのフラットネス性能を改善し、低倍率で画像貼り合わせのスループットが向上しました。さらに、暗視野観察のスループット向上のため、2.5倍の明視野/暗視野レンズ—MPLFLN2.5XBDを導入しました。
波面収差の制御 MXPLFLNシリーズの製造プロセスにおいては、対物レンズの波面収差を測定し、理想の状態に近づけるようにコントロールしています。これにより、光学性能のバラツキを極めて⼩さく抑え、安定した品質を実現しています。
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装置の設計や自動化に適したオプション顕微鏡観察の可能性を引き出すMIXスライダー 暗視野観察は、光学顕微鏡の分解能をはるかに超える小さなキズや欠陥の存在を認識でき、サンプル表面の微細なキズや欠陥の検出、ウエハーなど鏡面の表面検査に適した観察方法です。16個のLEDを独立に制御できるMIXスライダーの照明により、サンプルに照射する光の方向を制御できるため、大型の専用投光管を使用せずに暗視野観察が可能です。さらに、明視野、簡易偏光観察、蛍光観察との同時観察も可能です。
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技术规格
BXCシリーズの構成例
BXC-CBRML system | BXC-CBB system | |||
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Entry 明視野観察のみで、 省スペースを実現 | Versatile 基本機能を備えた コンパクトな顕微鏡 | Advanced クリーンルーム対応の フル電動顕微鏡 | ||
構成例 | BXFM-F, BXFM-ILHS, U-SWATLU, U-KMAS, BX3M-LEDR, CMP-LLHECBL, BXC-CBRML, STM7-MMOBAD BD-M-AD, SLMPLN20X | BXFM-F, BXFM-ILHS, U-SWATLU, U-KMAS, BX3M-LEDR, CMP-LLHECBL, U-D5BDREMC, BXC-REMECBL, U-MIXR-2, U-MIXRECBL, BXC-CBRML, MPLFLN5XBD2, LMPLFLN20XBD, LMPLFLN50XBD | BXC-FSU, BXC-RLI, U-SWATLU, BX3M-LEDR, U-D5BDREMC-VA, BXC-CBB, BXC-CBE1, BXC-LCBL1M, BXC-LCBL3M, MPLFLN2.5XBD, MPLFLN5XBD2, MPLFLN10XBD-2, MXPLFLN20XBD, MXPLFLN50XBD | |
対物レンズ | 20X (NA: 0.25, WD: 25mm) |
5X NA: 0.15, WD: 12mm
20X NA: 0.4, WD: 12mm 50X NA: 0.5, WD: 10.6mm |
2.5X NA: 0.08, WD: 8.7mm
5X NA: 0.15, WD: 12mm 10X NA: 0.3, WD: 6.5mm 20X NA: 0.55, WD: 3mm 50X NA: 0.8, WD: 3mm | |
最小分解能 @λ=550nm | 利用可能1.34μm (20倍対物レンズ) | 0.67μm (50倍対物レンズ) | 0.42μm (50倍対物レンズ) | |
最大焦点深度 @λ=550nm | ± 4.4μm (20倍対物レンズ) | ± 12.2μm (5倍対物レンズ) | ± 43μm (2.5倍対物レンズ) | |
重量 — BXFM-F、スタンド、コントローラーを除く | 3.4kg | 4kg | 8.3kg | |
観察方法 | BF | BF, DF, MIX | BF, DF | |
Zストローク | 30mm(手動) | 30mm(手動) | ハードウェアはお客様でご用意 | |
オートフォーカスのサポート | — | — | 利用可能 | |
フィルタースライダースロット | 3 | 3 | 1 | |
レボルバー | 電動機能 | — | 利用可能 | 利用可能 |
クリーンルーム対応コンタミ吸引機能 | — | — | 利用可能 | |
対物レンズ取り付け穴数 | 1 | 5 | 5 | |
視野数 (mm) | 26.5 | 26.5 | 26.5 | |
開口絞り | — | — | 利用可能 | |
寸法 — BXFM-F、スタンド、コントローラーを除く (W × D × H) | 108mm × 249mm × 215mm | 108mm × 249mm × 230mm | 132mm × 404mm × 277mm |
* 構成は一例です。 ご要望に応じたコンポーネントを選択いただくために、最寄りの代理店にご相談ください。 |